حامل رقاقة الجرافيت من VET Energy هو حامل دقيق مصمم خصيصًا لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD). يتميز هذا الحامل عالي الجودة بجودته العالية، فهو مصنوع من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، ويتمتع بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل، بالإضافة إلى ثبات أبعاده. يوفر هذا الحامل منصة دعم ثابتة لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما، ويضمن تجانس طبقة الترسيب واستوائها.
تتميز طاولة دعم رقائق الجرافيت المستخدمة في عملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) من شركة VET Energy بالخصائص التالية:
▪نقاء عالٍ:محتوى شوائب منخفض للغاية، لتجنب تلوث الفيلم، وضمان جودته.
▪كثافة عالية:يتميز بكثافة عالية وقوة ميكانيكية عالية، ويمكنه تحمل درجات الحرارة العالية والضغط العالي في بيئة الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما.
▪ثبات أبعاد جيد:تغيير طفيف في الأبعاد عند درجة حرارة عالية، مما يضمن استقرار العملية.
▪موصلية حرارية ممتازة:ينقل الحرارة بكفاءة لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪مقاومة عالية للتآكل:يمكنه مقاومة التآكل الناتج عن مختلف الغازات المسببة للتآكل والبلازما.
▪خدمة مخصصة:يمكن تخصيص طاولات الدعم المصنوعة من الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
مزايا المنتج
▪تحسين جودة الفيلم:ضمان ترسب الفيلم بشكل موحد وتحسين جودته.
▪إطالة عمر المعدات:مقاومة ممتازة للتآكل، مما يطيل عمر خدمة معدات PECVD.
▪خفض تكاليف الإنتاج:يمكن أن تقلل الصواني المصنوعة من الجرافيت عالي الجودة من معدل الهدر وتكاليف الإنتاج.
مادة الجرافيت من شركة SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ISO 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| مسامية مفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرو أوم متر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُممت هذه التقنية خصيصاً لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، وتدعم معالجة رقائق السيليكون كبيرة الحجم من نوع G12. يُحسّن تصميم الحامل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقمي |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب من الجرافيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب من الجرافيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيت 125-21 | 280 |
