حامل رقاقة ركيزة الجرافيت من VET Energy هو حامل دقيق مصمم لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المُحسَّن بالبلازما (PECVD). هذا الحامل عالي الجودة مصنوع من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، تتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل وثبات الأبعاد وغيرها من الخصائص. يوفر هذا الحامل قاعدة دعم ثابتة لعملية PECVD، ويضمن اتساق وتجانس ترسيب الأغشية.
تتمتع طاولة دعم رقاقة الجرافيت PECVD من VET Energy بالخصائص التالية:
▪نقاء عالي:محتوى شوائب منخفض للغاية، لتجنب تلوث الفيلم، وضمان جودة الفيلم.
▪كثافة عالية:كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، يمكنها تحمل درجة الحرارة العالية والضغط العالي في بيئة PECVD.
▪استقرار أبعادي جيد:تغير أبعادي صغير عند درجة حرارة عالية، مما يضمن استقرار العملية.
▪موصلية حرارية ممتازة:نقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪مقاومة قوية للتآكل:يمكن أن تقاوم التآكل بواسطة الغازات المسببة للتآكل والبلازما المختلفة.
▪خدمة مخصصة:يمكن تخصيص طاولات دعم الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
مزايا المنتج
▪تحسين جودة الفيلم:ضمان ترسب الفيلم بشكل موحد وتحسين جودة الفيلم.
▪إطالة عمر المعدات:مقاومة ممتازة للتآكل، وإطالة عمر خدمة معدات PECVD.
▪خفض تكاليف الإنتاج:يمكن أن تعمل صواني الجرافيت عالية الجودة على تقليل معدل الخردة وتقليل تكاليف الإنتاج.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ثانية |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، ويدعم معالجة رقائق G12 كبيرة الحجم. يُحسّن تصميم الناقل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقم |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب جريفيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب جريفيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيتي 125-21 | 280 |
