ตัวยึดแผ่นเวเฟอร์กราไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD

ตัวยึดแผ่นเวเฟอร์กราไฟต์ VET Energy เป็นตัวยึดที่มีความแม่นยำสูง ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ตัวยึดแผ่นเวเฟอร์กราไฟต์คุณภาพสูงนี้ทำจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความหนาแน่นสูง มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีเสถียรภาพทางมิติ และคุณลักษณะอื่นๆ ที่ยอดเยี่ยม สามารถให้แพลตฟอร์มรองรับที่มั่นคงสำหรับกระบวนการ PECVD และรับประกันความสม่ำเสมอและความเรียบของการเคลือบฟิล์ม

โต๊ะรองรับเวเฟอร์กราไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD ของ VET Energy มีลักษณะดังต่อไปนี้:

▪ความบริสุทธิ์สูง:มีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก ช่วยป้องกันการปนเปื้อนของฟิล์ม และรับประกันคุณภาพของฟิล์ม

▪ความหนาแน่นสูง:มีความหนาแน่นสูง มีความแข็งแรงเชิงกลสูง สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและความดันสูงในสภาพแวดล้อม PECVD ได้

▪มีเสถียรภาพด้านมิติที่ดี:การเปลี่ยนแปลงขนาดเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูง ช่วยให้กระบวนการมีความเสถียร

▪การนำความร้อนดีเยี่ยม:ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์ร้อนเกินไป

▪ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง:สามารถต้านทานการกัดกร่อนจากก๊าซกัดกร่อนและพลาสมาชนิดต่างๆ ได้

▪บริการที่ปรับแต่งตามความต้องการ:โต๊ะรองรับกราไฟต์ที่มีขนาดและรูปทรงแตกต่างกัน สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า

ข้อดีของผลิตภัณฑ์

▪ปรับปรุงคุณภาพของภาพยนตร์:ช่วยให้การเคลือบฟิล์มมีความสม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพของฟิล์มให้ดีขึ้น

▪ยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์:ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ PECVD

▪ลดต้นทุนการผลิต:ถาดกราไฟต์คุณภาพสูงสามารถลดอัตราของเสียและลดต้นทุนการผลิตได้