ฐานรองเวเฟอร์กราไฟต์สำหรับ PECVD

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder คือตัวพาที่มีความแม่นยำที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ตัวพากราไฟต์คุณภาพสูงนี้ผลิตจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความหนาแน่นสูง ซึ่งมีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีความเสถียรของมิติ และคุณสมบัติอื่นๆ ได้เป็นอย่างดี ตัวพากราไฟต์สามารถเป็นฐานรองรับที่มั่นคงสำหรับกระบวนการ PECVD และรับประกันความสม่ำเสมอและความเรียบของการเคลือบฟิล์ม

โต๊ะรองรับเวเฟอร์กราไฟต์กระบวนการ VET Energy PECVD มีคุณลักษณะดังต่อไปนี้:

ความบริสุทธิ์สูง:ปริมาณสิ่งเจือปนที่ต่ำเป็นพิเศษ หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของฟิล์ม รับประกันคุณภาพฟิล์ม

ความหนาแน่นสูง:ความหนาแน่นสูง ความแข็งแรงเชิงกลสูง ทนต่ออุณหภูมิสูงและแรงดันสูงในสภาพแวดล้อม PECVD

ความเสถียรของมิติที่ดี:การเปลี่ยนแปลงมิติเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูง ช่วยให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการ

การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม:ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์ร้อนเกินไป

ทนทานต่อการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง:สามารถต้านทานการกัดกร่อนจากก๊าซกัดกร่อนและพลาสมาต่างๆ ได้

บริการที่กำหนดเอง:โต๊ะรองรับกราไฟท์ที่มีขนาดและรูปร่างต่างๆ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า

ข้อดีของผลิตภัณฑ์

ปรับปรุงคุณภาพฟิล์ม:รับประกันการสะสมฟิล์มที่สม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพฟิล์ม

ยืดอายุการใช้งานอุปกรณ์:ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ PECVD

ลดต้นทุนการผลิต:ถาดกราไฟท์คุณภาพสูงสามารถลดอัตราเศษวัสดุและลดต้นทุนการผลิตได้