Chosungira cha Graphite Substrate Wafer cha PECVD

Kufotokozera Kwachidule:

Chogwirira cha Graphite Substrate cha VET Energy chapangidwa kuti chikhale chogwirizana bwino ndi kukhazikika kwa wafer panthawi yonse ya PECVD, kupewa kuipitsidwa ndikuchepetsa chiopsezo cha kuwonongeka. Chogwirira cha Graphite Wafer chimapereka nsanja yotetezeka komanso yofanana, kuonetsetsa kuti ma wafer amawonekera mofanana ku plasma kuti azitha kukhazikika bwino komanso bwino. Chifukwa cha kutentha kwake kwakukulu komanso mphamvu zake zapadera, chogwirira ichi chimathandiza kukonza magwiridwe antchito onse komanso magwiridwe antchito azinthu.

Tumizani imelo kwa ife Tsitsani ngati PDF

Tsatanetsatane wa Zamalonda

Ma tag a Zamalonda

Chogwirira cha VET Energy Graphite Substrate Wafer ndi chonyamulira cholondola chomwe chapangidwira njira ya PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Chogwirira chapamwamba cha Graphite Substrate ichi chapangidwa ndi zinthu za graphite zoyera kwambiri, zokhuthala kwambiri, zotsutsana ndi kutentha kwambiri, zotsutsana ndi dzimbiri, zokhazikika mu mawonekedwe ndi zina. Chingapereke nsanja yokhazikika yothandizira njira ya PECVD ndikuwonetsetsa kuti filimuyo ikugwirizana komanso yosalala.

Tebulo lothandizira la VET Energy PECVD process graphite wafer lili ndi makhalidwe awa:

▪Kuyera kwambiri:zodetsa zochepa kwambiri, pewani kuipitsidwa kwa filimu, onetsetsani kuti filimuyo ndi yabwino.

▪Kuchulukana kwambiri:Kuchulukana kwambiri, mphamvu zambiri zamakanika, zimatha kupirira kutentha kwambiri komanso kupanikizika kwakukulu kwa PECVD.

▪Kukhazikika kwabwino kwa miyeso:kusintha pang'ono kwa mawonekedwe pa kutentha kwakukulu, kuonetsetsa kuti njirayo ikuyenda bwino.

▪Kutentha kwabwino kwambiri:kusamutsa kutentha bwino kuti mupewe kutentha kwambiri.

▪Kukana dzimbiri mwamphamvu:imatha kukana kukokoloka kwa nthaka ndi mpweya wosiyanasiyana wowononga ndi plasma.

▪Utumiki wosinthidwa:Matebulo othandizira a graphite a kukula ndi mawonekedwe osiyanasiyana akhoza kusinthidwa malinga ndi zosowa za makasitomala.

Ubwino wa Zamalonda

▪Sinthani khalidwe la filimu:Onetsetsani kuti filimu imayikidwa mofanana komanso kuti filimuyo ikhale yabwino.

▪Kukulitsa nthawi ya zida:Kukana dzimbiri bwino kwambiri, kumawonjezera nthawi yogwira ntchito ya zida za PECVD.

▪Chepetsani ndalama zopangira:Mathireyi a graphite abwino kwambiri amatha kuchepetsa kuchuluka kwa zinyalala ndikuchepetsa ndalama zopangira.

Zinthu za graphite kuchokera ku SGL:

Chizindikiro chachizolowezi: R6510
Mndandanda	Muyezo woyeserera	Mtengo	Chigawo
Kukula kwa tirigu wapakati	ISO 13320	10	μm
Kuchuluka kwa zinthu zambiri	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Ma porosity otseguka	DIN66133	10	%
Kukula kwa pore yapakati	DIN66133	1.8	μm
Kutha kupirira	DIN 51935	0.06	cm²/s
Kulimba kwa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Kukana kwamagetsi kwapadera	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Mphamvu yopindika	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Mphamvu yokakamiza	DIN 51910	130	MPa
Modulus ya Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Kutentha kwa kutentha (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Kutentha kwa ma conductivity (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Yapangidwira makamaka kupanga maselo a dzuwa ogwira ntchito bwino kwambiri, kuthandizira kukonza ma wafer akuluakulu a G12. Kapangidwe kabwino ka chonyamulira chimawonjezera kwambiri kuchuluka kwa zokolola, zomwe zimapangitsa kuti pakhale zokolola zambiri komanso ndalama zochepa zopangira.

Chinthu	Mtundu	Nambala ya wophimba
Boti la PEVCD Grephite - Mndandanda wa 156	156-13 bwato la grephite	144
	Boti la grephite la 156-19	216
	Boti la grephite la 156-21	240
	Boti la graphite la 156-23	308
Boti la PEVCD Grephite - Mndandanda wa 125	Boti la grephite la 125-15	196
	Boti la grephite la 125-19	252
	Boti la 125-21 la grphite	280