PECVD үчүн графит субстрат пластинасынын кармагычы

Кыскача сүрөттөмө:

VET Energy компаниясынын графит субстрат кармагычы PECVD процессинде пластиналардын тегизделишин жана туруктуулугун сактоо, булгануунун алдын алуу жана бузулуу коркунучун азайтуу үчүн иштелип чыккан. Графит пластина кармагычы коопсуз, тегиз платформаны камсыз кылат, бул пластиналардын плазмага бирдей дуушар болушун камсыздайт, бул ырааттуу жана жогорку сапаттагы чөкмө болуп саналат. Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана өзгөчө бекемдиги менен бул кармагыч жалпы процесстин натыйжалуулугун жана продуктунун иштешин жакшыртууга жардам берет.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF форматында жүктөп алуу

Продукциянын чоо-жайы

Продукциянын тегдери

VET Energy графит субстрат пластина кармагычы - PECVD (плазмалык күчөтүлгөн химиялык буу чөктүрүү) процесси үчүн иштелип чыккан тактыктагы ташуучу. Бул жогорку сапаттагы графит субстрат кармагычы жогорку тазалыктагы, жогорку тыгыздыктагы графит материалынан жасалган, жогорку температурага, коррозияга туруктуулукка, өлчөмдүү туруктуулукка жана башка мүнөздөмөлөргө эң сонун ээ. Ал PECVD процесси үчүн туруктуу колдоо платформасын камсыздай алат жана пленка чөктүрүүнүн бирдейлигин жана тегиздигин камсыздай алат.

VET Energy PECVD процессиндеги графит пластинасынын таяныч столунун төмөнкү мүнөздөмөлөрү бар:

▪Жогорку тазалык:өтө аз кошулма курамы, пленканын булганышына жол бербөө, пленканын сапатын камсыз кылуу.

▪Жогорку тыгыздык:жогорку тыгыздык, жогорку механикалык күч, жогорку температурага жана жогорку басымдагы PECVD чөйрөсүнө туруштук бере алат.

▪Жакшы өлчөмдүү туруктуулук:жогорку температурада кичинекей өлчөмдүү өзгөрүү, бул процесстин туруктуулугун камсыз кылат.

▪Эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү:пластинанын ысып кетишинин алдын алуу үчүн жылуулукту натыйжалуу өткөрөт.

▪Күчтүү коррозияга туруктуулук:ар кандай коррозиялык газдардын жана плазманын эрозиясына туруштук бере алат.

▪Ыңгайлаштырылган кызмат:ар кандай өлчөмдөгү жана формадагы графит колдоочу столдорду кардардын муктаждыктарына ылайыкташтырса болот.

Продукциянын артыкчылыктары

▪Кинотасманын сапатын жакшыртуу:Плёнканын бирдей тартылышын камсыз кылуу жана плёнканын сапатын жакшыртуу.

▪Жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартуу:Мыкты коррозияга туруктуулук, PECVD жабдууларынын кызмат мөөнөтүн узартуу.

▪Өндүрүш чыгымдарын азайтуу:Жогорку сапаттагы графит лотоктору калдыктардын көлөмүн азайтып, өндүрүш чыгымдарын азайта алат.

SGL компаниясынын графит материалы:

Типтүү параметр: R6510
Индекс	Сыноо стандарты	Баалуулук	Бирдик
Дандын орточо өлчөмү	ISO 13320	10	мкм
Көлөмдүк тыгыздык	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см3³
Ачык кеуектүүлүк	DIN66133	10	%
Орточо тешикчелердин өлчөмү	DIN66133	1.8	мкм
Өткөрүмдүүлүгү	DIN 51935	0,06	см²/с
Роквеллдин катуулугу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Салыштырмалуу электрдик каршылыгы	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Ийилүүнүн күчү	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Кысылуу күчү	DIN 51910	130	МПа
Янгдын модулу	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Жылуулук кеңейүүсү (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылуулук өткөрүмдүүлүгү (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ал G12 чоң өлчөмдөгү пластиналарды иштетүүнү колдогон жогорку натыйжалуу күн батареяларын өндүрүү үчүн атайын иштелип чыккан. Оптималдаштырылган алып жүрүүчүнүн дизайны өткөрүү жөндөмдүүлүгүн бир топ жогорулатат, бул жогорку түшүмдүүлүк көрсөткүчтөрүн жана өндүрүш чыгымдарын төмөндөтүүгө мүмкүндүк берет.

Буюм	Түрү	Номердик пластина ташуучу
PEVCD Грефит кайыгы - 156 сериясы	156-13 грефит кайыгы	144
	156-19 грефит кайыгы	216
	156-21 грефит кайыгы	240
	156-23 графит кайыгы	308
PEVCD Грефит кайыгы - 125 сериясы	125-15 грифит кайыгы	196
	125-19 грефит кайыгы	252
	125-21 грфит кайыгы	280