PECVD үчүн Graphite Substrate Wafer Holder

PECVD өзгөчөлөнгөн сүрөтү үчүн Graphite Substrate Wafer Holder

Кыска сүрөттөмө:

VET Energy компаниясынын Графит субстрат кармагычы PECVD процессинде пластинкалардын тегиздигин жана туруктуулугун сактап, булгануунун алдын алуу жана бузулуу коркунучун азайтуу үчүн иштелип чыккан. Graphite Wafer Holder ырааттуу жана жогорку сапаттагы коюу үчүн пластмасса плазмага бир калыпта дуушар болушун камсыз кылуу менен коопсуз, бир калыпта платформаны камсыз кылат. Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана өзгөчө күч менен бул кармоочу жалпы процесстин эффективдүүлүгүн жана продуктунун иштешин жакшыртууга жардам берет.

Бизге электрондук кат жөнөтүү PDF катары жүктөп алыңыз

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) процесси үчүн иштелип чыккан так ташуучу. Бул жогорку сапаттагы Graphite Substrate Holder жогорку тазалыктагы, жогорку тыгыздыктагы графит материалынан жасалган, жогорку температурага, коррозияга туруктуулукка, өлчөмдүү туруктуулукка жана башка мүнөздөмөлөргө ээ. Бул PECVD процесси үчүн туруктуу колдоо аянтчасын камсыз кыла алат жана пленка катмарынын бирдейлигин жана тегиздигин камсыздай алат.

VET Energy PECVD процессинин графит пластинкасын колдоо үстөлү төмөнкү мүнөздөмөлөргө ээ:

▪Жогорку тазалык:өтө төмөн ыпластык мазмуну, тасманын булганышына жол бербөө, тасманын сапатын камсыз кылуу.

▪Жогорку тыгыздык:жогорку тыгыздык, жогорку механикалык күч, жогорку температура жана жогорку басым PECVD чөйрөгө туруштук бере алат.

▪Жакшы өлчөмдүү туруктуулук:жогорку температурада кичинекей өлчөмдүү өзгөрүү, процесстин туруктуулугун камсыз кылуу.

▪Мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк:вафли ысып кетүүсүнө жол бербөө үчүн жылуулукту эффективдүү өткөрүп берүү.

▪Күчтүү коррозияга каршылык:ар кандай жегич газдар жана плазма менен эрозияга туруштук бере алат.

▪Ыңгайлаштырылган кызмат:ар кандай өлчөмдөгү жана формадагы графит колдоо үстөлдөрү кардарлардын муктаждыктарына ылайыкташтырылышы мүмкүн.

Продукциянын артыкчылыктары

▪Тасманын сапатын жакшыртуу:Бир калыпта пленка коюуну камсыз кылуу жана пленканын сапатын жакшыртуу.

▪Жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартуу:Мыкты коррозияга туруктуулук, PECVD жабдууларынын кызмат мөөнөтүн узартуу.

▪өндүрүштүк чыгымдарды азайтуу:Жогорку сапаттагы графит лотоктор сыныктарын азайтат жана өндүрүштүк чыгымдарды азайтат.

SGLден алынган графит материалы:

Типтүү параметр: R6510
Индекс	Сыноо стандарты	Нарк	бирдиги
Орточо дан өлчөмү	ISO 13320	10	мкм
Массалык тыгыздык	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ачык көзөнөктүүлүк	DIN66133	10	%
Орто тешикче өлчөмү	DIN66133	1.8	мкм
Өткөргүчтүк	DIN 51935	0.06	см²/с
Rockwell катуулук HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Салыштырмалуу электрдик каршылык	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ийилүүчү күч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Кысуу күчү	DIN 51910	130	МПа
Янгдын модулу	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термикалык кеңейүү (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылуулук өткөрүмдүүлүк (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Бул атайын G12 чоң өлчөмдөгү пластинкасын иштетүүнү колдогон, жогорку эффективдүү күн батареяларын өндүрүү үчүн иштелип чыккан. Оптималдаштырылган ташуучу конструкциясы өткөрүү жөндөмдүүлүгүн кыйла жогорулатып, кирешелүүлүктүн жогорулашына жана өндүрүштүк чыгымдардын төмөндөшүнө шарт түзөт.

пункт	Type	Номер вафли ташуучу
PEVCD Grephite кайык - 156 сериясы	156-13 грефит кайык	144
	156-19 грефит кайык	216
	156-21 грефит кайык	240
	156-23 графит кайык	308
PEVCD Grephite кайык - 125 сериясы	125-15 грефит кайык	196
	125-19 грефит кайык	252
	125-21 грфит кайык	280