De VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder is in presyzjedrager ûntworpen foar it PECVD-proses (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Dizze heechweardige grafytsubstraathâlder is makke fan grafytmateriaal mei hege suverens en hege tichtheid, mei poerbêste hege temperatuerresistinsje, korrosjebestriding, dimensjonele stabiliteit en oare skaaimerken. It kin in stabyl stipeplatfoarm leverje foar it PECVD-proses en de uniformiteit en flakheid fan filmôfsetting garandearje.
De stipetafel foar grafytwafers fan VET Energy PECVD-proses hat de folgjende skaaimerken:
▪Hege suverens:ekstreem leech ûnreinheidsgehalte, foarkom fersmoarging fan film, soargje foar filmkwaliteit.
▪Hege tichtheid:hege tichtheid, hege meganyske sterkte, kin hege temperatuer en hege druk PECVD-omjouwing ferneare.
▪Goede dimensjonele stabiliteit:lytse dimensjonele feroaring by hege temperatuer, wêrtroch prosesstabiliteit garandearre wurdt.
▪Uitstekende termyske geliedingsfermogen:effektyf waarmte oerdrage om oerferhitting fan wafers te foarkommen.
▪Sterke korrosjebestriding:kin eroazje wjerstean troch ferskate korrosive gassen en plasma.
▪Oanpaste tsjinst:grafyt stipetafels fan ferskate maten en foarmen kinne oanpast wurde neffens klantbehoeften.
Produktfoardielen
▪Ferbetterje de filmkwaliteit:Soargje foar unifoarme filmôfsetting en ferbetterje de filmkwaliteit.
▪Ferlingje de libbensdoer fan apparatuer:Uitstekende korrosjebestriding, ferlingje de libbensdoer fan PECVD-apparatuer.
▪Ferminderje produksjekosten:Grafytbakken fan hege kwaliteit kinne it skrootpersintaazje ferminderje en de produksjekosten ferminderje.
Grafytmateriaal fan SGL:
| Typyske parameter: R6510 | |||
| Yndeks | Teststandert | Wearde | Ienheid |
| Gemiddelde nôtgrutte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Iepen porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelgrutte poaren | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabiliteit | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rockwell-hurdens HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifike elektryske wjerstân | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bûgingssterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kompresjesterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young's modulus | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termyske útwreiding (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Termyske geliedingsfermogen (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje sinnesellenproduksje, en stipet de ferwurking fan grutte G12-wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochfier signifikant, wêrtroch hegere opbringsten en legere produksjekosten mooglik binne.
| Ûnderdiel | Type | Nûmer waferdrager |
| PEVCD Grephite-boat - De 156-searje | 156-13 grepytboat | 144 |
| 156-19 grepytboat | 216 | |
| 156-21 grepytboat | 240 | |
| 156-23 grafytboat | 308 | |
| PEVCD Grephite-boat - De 125-searje | 125-15 grepytboat | 196 |
| 125-19 grepytboat | 252 | |
| 125-21 grafytboat | 280 |
