Wadah Wafer Substrat Grafit pikeun PECVD

Pedaran Singkat:

Tempat Substrat Grafit VET Energy dirancang pikeun ngajaga kaselarasan sareng stabilitas wafer sapanjang prosés PECVD, nyegah kontaminasi sareng ngaminimalkeun résiko karusakan. Tempat Wafer Grafit nyayogikeun platform anu aman sareng rata, mastikeun yén wafer kakeunaan plasma sacara rata pikeun déposisi anu konsisten sareng kualitas luhur. Kalayan konduktivitas termal anu luhur sareng kakuatan anu luar biasa, tempat ieu ngabantosan ningkatkeun efisiensi prosés sareng kinerja produk sacara umum.

Kirim email ka kami Unduh salaku PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Wafer Substrat Grafit Énergi VET nyaéta wadah presisi anu dirancang pikeun prosés PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Wadah Substrat Grafit kualitas luhur ieu didamel tina bahan grafit anu kualitasna luhur sareng kapadetanna luhur, kalayan résistansi suhu luhur anu saé, résistansi korosi, stabilitas diménsi sareng ciri-ciri sanésna. Éta tiasa nyayogikeun platform dukungan anu stabil pikeun prosés PECVD sareng mastikeun kaseragaman sareng karataan déposisi pilem.

Méja pangrojong wafer grafit prosés VET Energy PECVD mibanda ciri-ciri ieu:

▪Kamurnian luhur:eusi pangotor anu handap pisan, nyingkahan kontaminasi pilem, mastikeun kualitas pilem.

▪Kapadetan luhur:kapadetan luhur, kakuatan mékanis luhur, tiasa tahan suhu luhur sareng lingkungan PECVD tekanan tinggi.

▪Stabilitas diménsi anu saé:parobahan diménsi leutik dina suhu anu luhur, mastikeun stabilitas prosés.

▪Konduktivitas termal anu saé:mindahkeun panas sacara efektif pikeun nyegah wafer panas teuing.

▪Résistansi korosi anu kuat:bisa nahan erosi ku rupa-rupa gas korosif jeung plasma.

▪Layanan khusus:Méja pangrojong grafit tina ukuran sareng bentuk anu béda-béda tiasa disaluyukeun numutkeun kabutuhan konsumén.

Kaunggulan Produk

▪Ningkatkeun kualitas pilem:Mastikeun déposisi pilem anu seragam sareng ningkatkeun kualitas pilem.

▪Manjangkeun umur alat:Résistansi korosi anu saé, manjangkeun umur jasa peralatan PECVD.

▪Ngurangan biaya produksi:Baki grafit anu kualitasna luhur tiasa ngirangan laju runtah sareng ngirangan biaya produksi.

Bahan grafit tina SGL:

Parameter has: R6510
Indéks	Standar tés	Nilai	Unit
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	μm
Kapadetan curah	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositas kabuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedeng	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitas	DIN 51935	0.06	cm²/dtk
Karasa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistansi listrik spésifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kakuatan fléksibel	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kakuatan komprési	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ékspansi termal (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ieu dirancang khusus pikeun manufaktur sél surya efisiensi tinggi, ngadukung pamrosésan wafer ukuran ageung G12. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat hasil anu langkung luhur sareng biaya produksi anu langkung handap.

Barang	Tipe	Pembawa wafer nomer
Parahu PEVCD Grefit - Séri 156	156-13 parahu grefit	144
	156-19 parahu grefit	216
	156-21 parahu grefit	240
	Parahu grafit 156-23	308
Parahu PEVCD Grefit - Séri 125	Parahu grefit 125-15	196
	Parahu grefit 125-19	252
	Parahu grifit 125-21	280