Графітавая падкладка для трымальніка пласцін для PECVD

Графітавая падкладка, трымальнік для пласцін для PECVD, выява

Кароткае апісанне:

Графітавы трымальнік для падкладкі VET Energy распрацаваны для падтрымання выраўноўвання і стабільнасці пласцін на працягу ўсяго працэсу PECVD, прадухіляючы забруджванне і мінімізуючы рызыку пашкоджання. Графітавы трымальнік для пласцін забяспечвае надзейную, роўную платформу, якая гарантуе раўнамернае ўздзеянне плазмы на пласціны для паслядоўнага і якаснага нанясення. Дзякуючы высокай цеплаправоднасці і выключнай трываласці, гэты трымальнік дапамагае павысіць агульную эфектыўнасць працэсу і прадукцыйнасць прадукту.

Дашліце нам ліст Спампаваць у фармаце PDF

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Графітавы трымальнік для падкладкі VET Energy - гэта прэцызійны трымальнік, прызначаны для працэсу PECVD (плазменна-ўзмоцненае хімічнае асаджэнне з паравой фазы). Гэты высакаякасны графітавы трымальнік для падкладкі выраблены з графіта высокай чысціні і шчыльнасці, які валодае выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, карозіі, стабільнасцю памераў і іншымі характарыстыкамі. Ён можа забяспечыць стабільную апорную платформу для працэсу PECVD і гарантаваць аднастайнасць і плоскасць нанясення плёнкі.

Апорны стол для графітавых пласцін VET Energy PECVD мае наступныя характарыстыкі:

▪Высокая чысціня:надзвычай нізкае ўтрыманне прымешак, пазбягае забруджвання плёнкі, забяспечвае якасць плёнкі.

▪Высокая шчыльнасць:высокая шчыльнасць, высокая механічная трываласць, можа вытрымліваць высокія тэмпературы і высокі ціск у асяроддзі PECVD.

▪Добрая стабільнасць памераў:невялікае змяненне памераў пры высокай тэмпературы, што забяспечвае стабільнасць працэсу.

▪Выдатная цеплаправоднасць:эфектыўна перадаваць цяпло, каб прадухіліць перагрэў пласціны.

▪Моцная каразійная ўстойлівасць:можа супрацьстаяць эрозіі пад уздзеяннем розных агрэсіўных газаў і плазмы.

▪Індывідуальны сэрвіс:Графітавыя апорныя сталы розных памераў і формаў можна наладзіць у адпаведнасці з патрэбамі кліента.

Перавагі прадукту

▪Паляпшэнне якасці фільма:Забяспечвае раўнамернае нанясенне плёнкі і паляпшае яе якасць.

▪Падоўжыць тэрмін службы абсталявання:Выдатная каразійная ўстойлівасць, падаўжае тэрмін службы абсталявання PECVD.

▪Знізіць выдаткі на вытворчасць:Высокаякасныя графітавыя латкі могуць знізіць узровень браку і знізіць вытворчыя выдаткі.

Графітавы матэрыял ад SGL:

Тыповы параметр: R6510
Індэкс	Стандарт выпрабаванняў	Значэнне	Адзінка
Сярэдні памер зерня	ІСО 13320	10	мкм
Насыпная шчыльнасць	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Адкрытая парознасць	DIN66133	10	%
Сярэдні памер пор	DIN66133	1.8	мкм
Пранікальнасць	ДЫН 51935	0,06	см²/с
Цвёрдасць па Роквелу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удзельнае электрычнае супраціўленне	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Трываласць на згіб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Трываласць на сціск	ДЫН 51910	130	МПа
Модуль Юнга	ДЫН 51915	11,5×10³	МПа
Цеплавое пашырэнне (20-200℃)	ДЫН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Цеплаправоднасць (20℃)	ДЫН 51908	105	Wm^-1K^-1

Ён спецыяльна распрацаваны для вытворчасці высокаэфектыўных сонечных батарэй і падтрымлівае апрацоўку вялікіх пласцін G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, што дазваляе павялічыць выхад і знізіць вытворчыя выдаткі.

Пункт	Тып	Нумар носьбіта пласцін
PEVCD Grephite лодка - серыя 156	156-13 Грэфітавая лодка	144
	156-19 Грэфітавая лодка	216
	156-21 лодка з графіту	240
	Графітавая лодка 156-23	308
PEVCD Grephite лодка - серыя 125	125-15 Грэфітавая лодка	196
	125-19 Грэфітавая лодка	252
	Графітавая лодка 125-21	280