የVET ኢነርጂ ግራፋይት ንጣፎች ዋፈር ሆልደር ለPECVD (የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን) ሂደት የተነደፈ ትክክለኛ ተሸካሚ ነው። ይህ ከፍተኛ ጥራት ያለው የግራፋይት ንጣፎች መያዣ ከፍተኛ ንፁህ፣ ከፍተኛ ጥግግት ካለው የግራፋይት ቁሳቁስ የተሰራ ሲሆን እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ የልኬት መረጋጋት እና ሌሎች ባህሪያት አሉት። ለPECVD ሂደት የተረጋጋ የድጋፍ መድረክ ማቅረብ እና የፊልም ክምችት ወጥነት እና ጠፍጣፋነት ማረጋገጥ ይችላል።
የVET ኢነርጂ የPECVD ሂደት ግራፋይት ዋፈር ድጋፍ ሰንጠረዥ የሚከተሉት ባህሪያት አሉት፡
▪ከፍተኛ ንፅህና;እጅግ በጣም ዝቅተኛ የቆሻሻ ይዘት፣ የፊልሙን ብክለት ያስወግዱ፣ የፊልሙን ጥራት ያረጋግጡ።
▪ከፍተኛ ጥግግት፦ከፍተኛ ጥግግት፣ ከፍተኛ ሜካኒካል ጥንካሬ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን እና ከፍተኛ ግፊት ያለው የPECVD አካባቢን መቋቋም ይችላል።
▪ጥሩ የልኬት መረጋጋት;በከፍተኛ ሙቀት ላይ አነስተኛ ልኬት ለውጥ፣ የሂደቱን መረጋጋት ያረጋግጣል።
▪እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ;የዋፈር ከመጠን በላይ ሙቀትን ለመከላከል ሙቀትን በብቃት ያስተላልፋል።
▪ጠንካራ የዝገት መቋቋም;በተለያዩ ዝገት ጋዞች እና ፕላዝማ ምክንያት የሚመጣ የአፈር መሸርሸርን መቋቋም ይችላል።
▪ብጁ አገልግሎት፡የተለያዩ መጠኖችና ቅርጾች ያላቸው የግራፋይት ድጋፍ ጠረጴዛዎች እንደ ደንበኛ ፍላጎቶች ሊበጁ ይችላሉ።
የምርት ጥቅሞች
▪የፊልም ጥራት ማሻሻል፡የፊልሙን ወጥ የሆነ አቀማመጥ ማረጋገጥ እና የፊልሙን ጥራት ማሻሻል።
▪የመሳሪያውን ዕድሜ ማራዘም;እጅግ በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም፣ የ PECVD መሳሪያዎችን የአገልግሎት ዘመን ያራዝሙ።
▪የምርት ወጪዎችን ይቀንሱ:ከፍተኛ ጥራት ያላቸው የግራፋይት ትሪዎች የቆሻሻ መጣያ ፍጥነትን ሊቀንሱ እና የምርት ወጪዎችን ሊቀንሱ ይችላሉ።
የግራፋይት ቁሳቁስ ከ SGL፦
| የተለመደው መለኪያ፡ R6510 | |||
| ማውጫ | የሙከራ መስፈርት | እሴት | ዩኒት |
| አማካይ የእህል መጠን | ISO 13320 | 10 | μሜ |
| የጅምላ ጥግግት | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ግ/ሴሜ3 |
| ክፍት ቀዳዳ | DIN66133 | 10 | % |
| መካከለኛ የቀዳዳ መጠን | DIN66133 | 1.8 | μሜ |
| ዘላቂነት | ዲአይኤን 51935 | 0.06 | ሴሜ²/ሰ |
| የሮክዌል ጥንካሬ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| የተወሰነ የኤሌክትሪክ መቋቋም | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩም |
| የመተጣጠፍ ጥንካሬ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ | ዲአይኤን 51910 | 130 | MPa |
| የያንግ ሞዱለስ | ዲአይኤን 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| የሙቀት መስፋፋት (20-200℃) | ዲአይኤን 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| የሙቀት ኮዳክቲቭ (20℃) | ዲአይኤን 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
በተለይ ለከፍተኛ ብቃት ያለው የፀሐይ ሴል ማምረቻ የተነደፈ ሲሆን፣ የG12 ትልቅ መጠን ያለው የዋፈር ማቀነባበሪያን ይደግፋል። የተሻሻለው ተሸካሚ ዲዛይን የውጤት መጠንን በእጅጉ ይጨምራል፣ ይህም ከፍተኛ የምርት መጠን እና ዝቅተኛ የምርት ወጪዎችን ያስችላል።
| እቃ | አይነት | የቁጥር ስዋፈር ተሸካሚ |
| የፔቭሲዲ ግሬፋይት ጀልባ - የ156 ተከታታይ | 156-13 ግሪፋይት ጀልባ | 144 |
| 156-19 ግሪፋይት ጀልባ | 216 | |
| 156-21 ግሪፋይት ጀልባ | 240 | |
| 156-23 ግራፋይት ጀልባ | 308 | |
| PEVCD ግሬፋይት ጀልባ - የ125 ተከታታይ | 125-15 ግሪፋይት ጀልባ | 196 |
| 125-19 ግሪፋይት ጀልባ | 252 | |
| 125-21 ግሪፋይት ጀልባ | 280 |







