دارنده ویفر بستر گرافیتی برای PECVD

نگهدارنده ویفر زیرلایه گرافیتی VET Energy یک حامل دقیق است که برای فرآیند PECVD (رسوب بخار شیمیایی پیشرفته پلاسما) طراحی شده است. این نگهدارنده زیرلایه گرافیتی با کیفیت بالا از مواد گرافیتی با خلوص بالا و چگالی بالا ساخته شده است که دارای مقاومت عالی در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و سایر ویژگی‌ها می‌باشد. این می‌تواند یک بستر پشتیبانی پایدار برای فرآیند PECVD فراهم کند و یکنواختی و صافی رسوب فیلم را تضمین کند.

میز نگهدارنده ویفر گرافیتی فرآیند PECVD شرکت VET Energy دارای مشخصات زیر است:

▪خلوص بالا:محتوای ناخالصی بسیار کم، جلوگیری از آلودگی فیلم، تضمین کیفیت فیلم.

▪چگالی بالا:چگالی بالا، استحکام مکانیکی بالا، می‌تواند در برابر دمای بالا و فشار بالای محیط PECVD مقاومت کند.

▪پایداری ابعادی خوب:تغییر ابعادی کوچک در دمای بالا، تضمین پایداری فرآیند.

▪رسانایی حرارتی عالی:به طور موثر گرما را منتقل می‌کند تا از گرم شدن بیش از حد ویفر جلوگیری شود.

▪مقاومت قوی در برابر خوردگی:می‌تواند در برابر فرسایش ناشی از گازهای خورنده مختلف و پلاسما مقاومت کند.

▪خدمات سفارشی:میزهای نگهدارنده گرافیتی در اندازه‌ها و شکل‌های مختلف می‌توانند با توجه به نیاز مشتری سفارشی‌سازی شوند.

مزایای محصول

▪بهبود کیفیت فیلم:اطمینان از رسوب یکنواخت فیلم و بهبود کیفیت فیلم.

▪افزایش طول عمر تجهیزات:مقاومت عالی در برابر خوردگی، عمر مفید تجهیزات PECVD را افزایش می‌دهد.

▪کاهش هزینه‌های تولید:سینی‌های گرافیتی با کیفیت بالا می‌توانند میزان ضایعات و هزینه‌های تولید را کاهش دهند.