Mbajtëse e pllakës së substratit të grafitit për PECVD

Përshkrim i shkurtër:

Mbajtësja e Substratit prej Grafiti e VET Energy është projektuar për të ruajtur shtrirjen dhe stabilitetin e pllakave të predhave gjatë gjithë procesit PECVD, duke parandaluar kontaminimin dhe duke minimizuar rrezikun e dëmtimit. Mbajtësja e pllakave të grafitit ofron një platformë të sigurt dhe të barabartë, duke siguruar që pllakat të ekspozohen në mënyrë të barabartë ndaj plazmës për depozitim të qëndrueshëm dhe me cilësi të lartë. Me përçueshmërinë e saj të lartë termike dhe forcën e jashtëzakonshme, kjo mbajtëse ndihmon në përmirësimin e efikasitetit të përgjithshëm të procesit dhe performancës së produktit.

Na dërgoni email Shkarko si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produkteve

Mbajtësja e substratit prej grafiti VET Energy është një bartës preciz i projektuar për procesin PECVD (Depozitimi Kimik i Avullit të Përmirësuar me Plazmë). Kjo mbajtëse substrati grafiti me cilësi të lartë është bërë nga material grafiti me pastërti të lartë dhe dendësi të lartë, me rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturave të larta, rezistencë ndaj korrozionit, stabilitet dimensional dhe karakteristika të tjera. Mund të ofrojë një platformë të qëndrueshme mbështetëse për procesin PECVD dhe të sigurojë uniformitetin dhe sheshtësinë e depozitimit të filmit.

Tavolina mbështetëse e pllakave prej grafiti të procesit VET Energy PECVD ka karakteristikat e mëposhtme:

▪Pastërti e lartë:përmbajtje jashtëzakonisht e ulët e papastërtive, shmang kontaminimin e filmit, siguron cilësinë e filmit.

▪Dendësi e lartë:dendësi e lartë, forcë e lartë mekanike, mund t'i rezistojë temperaturës së lartë dhe presionit të lartë të mjedisit PECVD.

▪Stabilitet i mirë dimensional:ndryshim i vogël dimensional në temperaturë të lartë, duke siguruar stabilitetin e procesit.

▪Përçueshmëri e shkëlqyer termike:transferon në mënyrë efektive nxehtësinë për të parandaluar mbinxehjen e pllakës së paketimit.

▪Rezistencë e fortë ndaj korrozionit:mund t'i rezistojë erozionit nga gazra të ndryshëm gërryes dhe plazma.

▪Shërbim i personalizuar:Tavolinat mbështetëse prej grafiti me madhësi dhe forma të ndryshme mund të personalizohen sipas nevojave të klientit.

Avantazhet e Produktit

▪Përmirësoni cilësinë e filmit:Siguroni depozitim uniform të filmit dhe përmirësoni cilësinë e tij.

▪Zgjatni jetëgjatësinë e pajisjeve:Rezistencë e shkëlqyer ndaj korrozionit, zgjat jetëgjatësinë e pajisjeve PECVD.

▪Ulja e kostove të prodhimit:Tabaka grafiti me cilësi të lartë mund të zvogëlojnë shkallën e skrapit dhe të ulin kostot e prodhimit.

Material grafiti nga SGL:

Parametri tipik: R6510
Indeksi	Standardi i testimit	Vlerë	Njësia
Madhësia mesatare e kokrrizave	ISO 13320	10	μm
Dendësia e vëllimit	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porozitet i hapur	DIN66133	10	%
Madhësi mesatare e poreve	DIN66133	1.8	μm
Përshkueshmëria	DIN 51935	0.06	cm²/s
Fortësia e Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistenca elektrike specifike	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forca në përkulje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistenca ndaj shtypjes	DIN 51910	130	MPa
Moduli i Youngut	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Zgjerimi termik (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Përçueshmëria termike (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Është projektuar posaçërisht për prodhimin e qelizave diellore me efikasitet të lartë, duke mbështetur përpunimin e pllakave të mëdha G12. Dizajni i optimizuar i bartësit rrit ndjeshëm rendimentin, duke mundësuar norma më të larta rendimenti dhe kosto më të ulëta prodhimi.

Artikull	Lloji	Numri i bartësit të pllakës së pllakës
Varkë PEVCD Grephite - Seria 156	varkë grefiti 156-13	144
	varkë grefiti 156-19	216
	varkë grefiti 156-21	240
	156-23 varkë grafiti	308
Varkë PEVCD Grephite - Seria 125	Varkë grefiti 125-15	196
	Varkë grefiti 125-19	252
	Varkë grafiti 125-21	280