Ihe njide wafer nke Graphite Substrate maka PECVD

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

E mepụtara ihe njide Graphite nke VET Energy iji mee ka nhazi wafer na nkwụsi ike dị n'oge usoro PECVD niile, na-egbochi mmetọ ma na-ebelata ihe ize ndụ nke mmebi. Ihe njide Wafer Graphite na-enye ikpo okwu dị nchebe, nke na-eme ka wafers dịrị na plasma ahụ nke ọma maka idobe ya n'otu oge na nke dị elu. Site na nnukwu njikwa okpomọkụ ya na ike pụrụ iche, ihe njide a na-enyere aka melite arụmọrụ usoro na arụmọrụ ngwaahịa n'ozuzu ya.

Zitere anyị ozi-e Budata ya dị ka PDF

Nkọwa Ngwaahịa

Akara Ngwaahịa

Ihe njide Wafer nke VET Energy Graphite bụ ihe e ji ebu ihe kpọmkwem maka usoro PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ejiri ihe graphite dị ọcha, nke nwere njupụta dị elu mee ihe njide Graphite a dị elu, nke nwere ezigbo iguzogide okpomọkụ dị elu, iguzogide nchara, nkwụsi ike nha na njirimara ndị ọzọ. Ọ nwere ike inye ikpo okwu nkwado kwụsiri ike maka usoro PECVD ma hụ na ihe nkiri ahụ dị n'otu ma dị larịị.

Tebụl nkwado wafer usoro PECVD nke VET Energy nwere njirimara ndị a:

▪Ịdị ọcha dị elu:adịghị ọcha nke ukwuu, zere mmetọ nke ihe nkiri ahụ, hụ na ihe nkiri ahụ dị mma.

▪Oke njupụta:nnukwu njupụta, ike igwe dị elu, nwere ike iguzogide okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe obibi PECVD dị elu.

▪Ezigbo nkwụsi ike akụkụ:obere mgbanwe nha na oke okpomọkụ, na-eme ka usoro ahụ kwụsie ike.

▪Ezigbo njikwa okpomọkụ:nyefee okpomọkụ nke ọma iji gbochie oke okpomọkụ wafer.

▪Ike siri ike nke na-eguzogide nchara:nwere ike iguzogide mbuze site na gas na plasma dị iche iche.

▪Ọrụ ahaziri ahazi:Enwere ike ịhazi tebụl nkwado graphite nke nha na ọdịdị dị iche iche dịka mkpa ndị ahịa si dị.

Uru Ngwaahịa

▪Meziwanye mma ihe nkiri:Hụ na e tinyere ihe nkiri ahụ n'otu ebe ma melite mma ya.

▪Gbatịa ndụ akụrụngwa:Ezigbo nguzogide nchara, gbasaa ndụ ọrụ nke akụrụngwa PECVD.

▪Belata ọnụ ahịa mmepụta:Traị graphite dị elu nwere ike ibelata ọnụego mkpofu ma belata ọnụ ahịa mmepụta.

Ihe e ji graphite mee site na SGL:

Nha nkịtị: R6510
Ndepụta Ndekọ	Ụkpụrụ nnwale	Uru	Ngalaba
Nkezi nha ọka	ISO 13320	10	μm
Njupụta dị ukwuu	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oghere mepere emepe	DIN66133	10	%
Nha oghere dị ọkara	DIN66133	1.8	μm
Ịgafe	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ike siri ike nke Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Nguzogide eletriki kpọmkwem	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ike flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Ike mkpakọ	DIN 51910	130	MPa
Modulu nke Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Mgbasawanye okpomọkụ (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ọkụ conductivity (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

E mere ya kpọmkwem maka imepụta sel anyanwụ dị elu, na-akwado nhazi wafer G12 buru ibu. Nhazi ụgbọ ibu kachasị mma na-eme ka mmepụta ya dịkwuo elu nke ukwuu, na-eme ka ọnụego mmepụta dị elu ma na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta.

ihe	Ụdị	Onye na-ebu nọmba wafer
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 156	Ụgbọ mmiri grephite nke 156-13	144
	Ụgbọ mmiri grephite nke 156-19	216
	Ụgbọ mmiri grephite nke 156-21	240
	Ụgbọ mmiri graphite 156-23	308
Ụgbọ mmiri Grephite nke PEVCD - Usoro 125	Ụgbọ mmiri grephite 125-15	196
	Ụgbọ mmiri grephite nke 125-19	252
	Ụgbọ mmiri grephite 125-21	280