Grafiidist aluspinna vahvlihoidja PECVD jaoks

Lühike kirjeldus:

VET Energy grafiitplaatide aluspinna hoidik on loodud säilitama kiipide joondust ja stabiilsust kogu PECVD protsessi vältel, vältides saastumist ja minimeerides kahjustuste ohtu. Grafiitplaatide aluspind pakub turvalist ja ühtlast platvormi, tagades kiipide ühtlase kokkupuute plasmaga, et tagada ühtlane ja kvaliteetne sadestamine. Oma kõrge soojusjuhtivuse ja erakordse tugevusega aitab see hoidik parandada üldist protsessi efektiivsust ja toote jõudlust.

Saada meile e-kiri Laadi alla PDF-failina

Toote üksikasjad

Tootesildid

VET Energy grafiitsubstraadi vahvlihoidja on täppiskandja, mis on loodud PECVD (plasma abil võimendatud keemilise aurustamise-sadestamise) protsessi jaoks. See kvaliteetne grafiitsubstraadi hoidik on valmistatud kõrge puhtusastmega ja suure tihedusega grafiitmaterjalist, millel on suurepärane kõrge temperatuuritaluvus, korrosioonikindlus, mõõtmete stabiilsus ja muud omadused. See pakub stabiilset tugiplatvormi PECVD protsessi jaoks ning tagab kile sadestamise ühtluse ja tasasuse.

VET Energy PECVD protsessi grafiidist vahvli tugilaual on järgmised omadused:

▪Kõrge puhtusastmega:äärmiselt madal lisandite sisaldus, vältige kile saastumist, tagage kile kvaliteet.

▪Suur tihedus:kõrge tihedusega, kõrge mehaanilise tugevusega, talub kõrgeid temperatuure ja kõrgsurve PECVD keskkonda.

▪Hea mõõtmete stabiilsus:väike mõõtmete muutus kõrgel temperatuuril, tagades protsessi stabiilsuse.

▪Suurepärane soojusjuhtivus:tõhusalt soojust üle kanda, et vältida kiibi ülekuumenemist.

▪Tugev korrosioonikindlus:suudab taluda erosiooni erinevate söövitavate gaaside ja plasma poolt.

▪Kohandatud teenus:Erineva suuruse ja kujuga grafiidist tugilaudu saab vastavalt kliendi vajadustele kohandada.

Toote eelised

▪Paranda filmi kvaliteeti:Tagage ühtlane kile ladestumine ja parandage kile kvaliteeti.

▪Pikendage seadmete eluiga:Suurepärane korrosioonikindlus, pikendab PECVD seadmete kasutusiga.

▪Vähendage tootmiskulusid:Kvaliteetsed grafiidist kandikud võivad vähendada jääkide hulka ja tootmiskulusid.

SGL-i grafiitmaterjal:

Tüüpiline parameeter: R6510
Indeks	Katsestandard	Väärtus	Ühik
Keskmine tera suurus	ISO 13320	10	μm
Mahutihedus	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avatud poorsus	DIN66133	10	%
Keskmise suurusega poorid	DIN66133	1.8	μm
Läbilaskvus	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwelli kõvadus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spetsiifiline elektriline takistus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Paindetugevus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Survetugevus	DIN 51910	130	MPa
Youngi moodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Soojuspaisumine (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Soojusjuhtivus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suurte vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat tootlikkust ja madalamaid tootmiskulusid.

Ese	Tüüp	Numbriline kiibikandja
PEVCD Grephite paat - 156 seeria	156-13 grefiitpaat	144
	156-19 grefiitpaat	216
	156-21 grefiitpaat	240
	156-23 grafiidist paat	308
PEVCD Grephite paat - 125. seeria	125-15 grefiitpaat	196
	125-19 grefiitpaat	252
	125-21 grafiidist paat	280