De VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder is een precisiedrager ontworpen voor het PECVD-proces (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Deze hoogwaardige grafietdrager is gemaakt van zeer zuiver, dicht grafietmateriaal met uitstekende eigenschappen op het gebied van hoge temperaturen, corrosiebestendigheid, vormvastheid en andere kenmerken. Het biedt een stabiel ondersteuningsplatform voor het PECVD-proces en garandeert de uniformiteit en vlakheid van de filmdepositie.
De ondersteuningstafel voor grafietwafels van het VET Energy PECVD-proces heeft de volgende kenmerken:
▪Hoge zuiverheid:Extreem laag gehalte aan onzuiverheden, voorkomt verontreiniging van de film en garandeert filmkwaliteit.
▪Hoge dichtheid:Hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen hoge temperaturen en hoge druk in de PECVD-omgeving.
▪Goede dimensionale stabiliteit:geringe dimensionale verandering bij hoge temperatuur, wat de processtabiliteit waarborgt.
▪Uitstekende warmtegeleiding:Effectief warmte afvoeren om oververhitting van de wafer te voorkomen.
▪Sterke corrosiebestendigheid:Kan bestand zijn tegen erosie door diverse corrosieve gassen en plasma.
▪Service op maat:Grafieten steuntafels in verschillende maten en vormen kunnen op maat gemaakt worden volgens de wensen van de klant.
Productvoordelen
▪Verbeter de filmkwaliteit:Zorg voor een gelijkmatige filmafzetting en verbeter de filmkwaliteit.
▪Verleng de levensduur van uw apparatuur:Uitstekende corrosiebestendigheid verlengt de levensduur van PECVD-apparatuur.
▪Productiekosten verlagen:Hoogwaardige grafietbakken kunnen het afvalpercentage verlagen en de productiekosten drukken.
Grafietmateriaal van SGL:
| Typische parameter: R6510 | |||
| Index | Testnorm | Waarde | Eenheid |
| Gemiddelde korrelgrootte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Open porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelgrote poriën | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Doorlaatbaarheid | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hardheid HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifieke elektrische weerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Buigsterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druksterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modulus | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Thermische uitzetting (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Thermische geleidbaarheid (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Het is specifiek ontworpen voor de productie van hoogrenderende zonnecellen en ondersteunt de verwerking van G12-wafers van groot formaat. Het geoptimaliseerde ontwerp van de drager verhoogt de doorvoer aanzienlijk, wat resulteert in hogere opbrengsten en lagere productiekosten.
| Item | Type | Nummer waferdrager |
| PEVCD Grephite boot - De 156-serie | 156-13 grafieten boot | 144 |
| 156-19 grafieten boot | 216 | |
| 156-21 grafieten boot | 240 | |
| 156-23 grafietboot | 308 | |
| PEVCD Grephite boot - De 125-serie | 125-15 grafieten boot | 196 |
| 125-19 grafieten boot | 252 | |
| 125-21 grafietboot | 280 |
