د VET انرژي ګرافایټ سبسټریټ ویفر هولډر یو دقیق کیریر دی چې د PECVD (پلازما لوړ شوي کیمیاوي بخار زیرمه کولو) پروسې لپاره ډیزاین شوی. دا لوړ کیفیت ګرافایټ سبسټریټ هولډر د لوړ پاکوالي، لوړ کثافت ګرافایټ موادو څخه جوړ شوی، د غوره لوړ تودوخې مقاومت، د زنګ مقاومت، ابعادي ثبات او نورو ځانګړتیاو سره. دا کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته ملاتړ پلیټ فارم چمتو کړي او د فلم زیرمه کولو یووالي او فلیټیت ډاډمن کړي.
د VET انرژۍ PECVD پروسې ګرافایټ ویفر ملاتړ جدول لاندې ځانګړتیاوې لري:
▪لوړ پاکوالی:د ناپاکۍ خورا ټیټه کچه، د فلم د ککړتیا څخه مخنیوی وکړئ، د فلم کیفیت ډاډمن کړئ.
▪لوړ کثافت:لوړ کثافت، لوړ میخانیکي ځواک، کولی شي د لوړې تودوخې او لوړ فشار PECVD چاپیریال سره مقاومت وکړي.
▪ښه ابعادي ثبات:په لوړه تودوخه کې کوچني ابعادي بدلون، د پروسې ثبات ډاډمن کوي.
▪غوره حرارتي چالکتیا:په مؤثره توګه تودوخه انتقال کړئ ترڅو د ویفر ډیر ګرمیدو مخه ونیسئ.
▪د زنګ وهلو قوي مقاومت:کولی شي د مختلفو زنګ وهونکو ګازونو او پلازما لخوا د تخریب په وړاندې مقاومت وکړي.
▪دودیز خدمت:د مختلفو اندازو او شکلونو د ګرافایټ ملاتړ میزونه د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي.
د محصول ګټې
▪د فلم کیفیت ښه کول:د فلم د یوشان ساتلو ډاډ ترلاسه کول او د فلم کیفیت ښه کول.
▪د تجهیزاتو ژوند زیات کړئ:د زنګ وهلو عالي مقاومت، د PECVD تجهیزاتو د خدمت ژوند اوږدوي.
▪د تولید لګښتونه کم کړئ:د لوړ کیفیت ګرافایټ ټرې کولی شي د سکریپ کچه راټیټه کړي او د تولید لګښتونه کم کړي.
د SGL څخه د ګرافیت مواد:
| عادي پیرامیټر: R6510 | |||
| ډېرځليزې | د ازموینې معیار | ارزښت | واحد |
| د غلې دانې منځنۍ اندازه | د ISO ۱۳۳۲۰ | ۱۰ | مایکروم |
| د حجم کثافت | د DIN IEC 60413/204 | ۱.۸۳ | ګرامه/سانتي متره3 |
| خلاص پورسیت | د DIN66133 معرفي کول | ۱۰ | % |
| د سوریو منځنۍ اندازه | د DIN66133 معرفي کول | ۱.۸ | مایکروم |
| نفوذ وړتیا | ډین ۵۱۹۳۵ | ۰.۰۶ | سانتي متره/ثانیې |
| د راک ویل سختۍ HR5/100 | د ډین IEC60413/303 | ۹۰ | HR |
| ځانګړی بریښنایی مقاومت | د DIN IEC 60413/402 | ۱۳ | μΩm |
| انعطاف منونکی ځواک | د DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| د فشار ځواک | ډین ۵۱۹۱۰ | ۱۳۰ | MPa |
| د ځوان ماډول | ډین ۵۱۹۱۵ | ۱۱.۵×۱۰³ | MPa |
| د تودوخې پراخوالی (۲۰-۲۰۰℃) | ډین ۵۱۹۰۹ | ۴.۲X۱۰-6 | K-1 |
| د تودوخې چالکتیا (۲۰℃) | ډین ۵۱۹۰۸ | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
دا په ځانګړي ډول د لوړ موثریت سولر سیل تولید لپاره ډیزاین شوی، چې د G12 لوی اندازې ویفر پروسس ملاتړ کوي. غوره شوی کیریر ډیزاین د پام وړ تروپټ زیاتوي، د لوړ حاصل کچه او ټیټ تولید لګښتونه فعالوي.
| توکي | ډول | د نمبر ویفر کیریر |
| د PEVCD ګریفایټ کښتۍ - د ۱۵۶ لړۍ | ۱۵۶-۱۳ ګریفایټ کښتۍ | ۱۴۴ |
| ۱۵۶-۱۹ ګریفایټ کښتۍ | ۲۱۶ | |
| ۱۵۶-۲۱ ګریفایټ کښتۍ | ۲۴۰ | |
| ۱۵۶-۲۳ ګرافایټ کښتۍ | ۳۰۸ | |
| د PEVCD ګریفایټ کښتۍ - د ۱۲۵ لړۍ | ۱۲۵-۱۵ ګریفایټ کښتۍ | ۱۹۶ |
| ۱۲۵-۱۹ ګریفایټ کښتۍ | ۲۵۲ | |
| ۱۲۵-۲۱ ګرافایټ کښتۍ | ۲۸۰ |
