PECVD üçin grafit substrat wafer saklaýjysy

Gysgaça düşündiriş:

"VET Energy" kompaniýasynyň Grafit Substrat Saklaýjysy PECVD prosesinde waferleriň deňleşdirilmegini we durnuklylygyny saklamak, hapalanmagyň öňüni almak we zyýan ýetmek howpuny azaltmak üçin döredildi. Grafit wafer saklaýjysy howpsuz, deň platforma üpjün edýär we waferleriň yzygiderli we ýokary hilli çökündi üçin plazma bilen deň derejede açyk bolmagyny üpjün edýär. Ýokary ýylylyk geçirijiligi we ajaýyp berkligi bilen bu saklaýjy umumy proses netijeliligini we önümiň öndürijiligini ýokarlandyrmaga kömek edýär.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jiklikleri

Önümiň tegleri

VET Energy Grafit Substrat Wafer Tutujysy PECVD (Plazma Güýçlendirilen Himiki Bug Çökdürme) prosesi üçin niýetlenen takyk daşaýjydyr. Bu ýokary hilli Grafit Substrat Tutujysy ýokary arassalykly, ýokary dykyzlykly grafit materialyndan ýasalyp, ajaýyp ýokary temperatura garşylygyna, korroziýa garşylygyna, ölçeg durnuklylygyna we beýleki häsiýetlere eýedir. Ol PECVD prosesi üçin durnukly goldaw platformasyny üpjün edip biler we plýonka çökdürmesiniň birmeňzeşligini we tekizligini üpjün edip biler.

VET Energy PECVD proses grafit wafer goldaw stolunyň aşakdaky aýratynlyklary bar:

▪Ýokary arassalyk:gaty az hapaçylyk mukdary, plýonkanyň hapalanmagynyň öňüni almak, plýonkanyň hilini üpjün etmek.

▪Ýokary dykyzlyk:ýokary dykyzlyk, ýokary mehaniki berklik, ýokary temperatura we ýokary basyşly PECVD gurşawyna çydap bilýär.

▪Gowy ölçegli durnuklylyk:ýokary temperaturada kiçi ölçegli üýtgeşiklik, prosesiň durnuklylygyny üpjün edýär.

▪Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi:plastilin gyzgynlygynyň öňüni almak üçin ýylylygy netijeli geçirýär.

▪Güýçli korroziýa garşylygy:dürli aşyndyryjy gazlar we plazma bilen eroziýa garşy durup bilýär.

▪Özleşdirilen hyzmat:dürli ölçegdäki we görnüşdäki grafit goldaw stollaryny müşderiniň isleglerine laýyklykda sazlap bolýar.

Önümiň artykmaçlyklary

▪Filmiň hilini gowulaşdyryň:Filmiň birmeňzeş ýerleşdirilmegini üpjün ediň we filmiň hilini ýokarlandyryň.

▪Enjamyň ömrüni uzaldyň:Ajaýyp korroziýa garşylyk görkezýär, PECVD enjamlarynyň hyzmat möhletini uzaldýar.

▪Önümçilik çykdajylaryny azaldyň:Ýokary hilli grafit tabaklary galyndylaryň möçberini azaldyp we önümçilik çykdajylaryny azaldyp biler.

SGL-den grafit materialy:

Adaty parametr: R6510
Indeks	Synag standarty	Bahasy	Birlik
Ortaça däne ululygy	ISO 13320	10	μm
Köp mukdarda dykyzlyk	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm³
Açyk gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta gözenek ululygy	DIN66133	1.8	μm
Geçirijilik	DIN 51935	0.06	sm²/s
Rokwelliň gatylygy HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Özboluşly elektrik garşylygy	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bükülme güýji	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Basyş güýji	DIN 51910	130	MPa
Ýangyň moduly	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termal giňelme (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ýylylyk geçirijiligi (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ol, G12 uly göwrümli wafer gaýtadan işlemegini goldaýan ýokary netijeli gün batareýalaryny öndürmek üçin ýörite döredildi. Optimallaşdyrylan daşaýjy dizaýn öndürijiligi ep-esli ýokarlandyrýar, bu bolsa ýokary hasyllylyk depginini we önümçilik çykdajylaryny azaltmaga mümkinçilik berýär.

Haryt	Görnüş	Sanly wafer daşaýjy
PEVCD Grefit gaýygy - 156 seriýasy	156-13 grefit gaýygy	144
	156-19 grefit gaýygy	216
	156-21 grefit gaýygy	240
	156-23 grafit gaýygy	308
PEVCD Grefit gaýygy - 125 seriýasy	125-15 grefit gaýygy	196
	125-19 grefit gaýygy	252
	125-21 grfit gaýygy	280