Suport pentru napolitane cu substrat de grafit pentru PECVD

Suport de napolitană cu substrat de grafit pentru PECVD Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Suportul de substrat din grafit de la VET Energy este conceput pentru a menține alinierea și stabilitatea napolitanelor pe tot parcursul procesului PECVD, prevenind contaminarea și minimizând riscul de deteriorare. Suportul de napolitane din grafit oferă o platformă sigură și uniformă, asigurând că napolitanele sunt expuse uniform la plasmă pentru o depunere consistentă și de înaltă calitate. Datorită conductivității termice ridicate și rezistenței excepționale, acest suport ajută la îmbunătățirea eficienței generale a procesului și a performanței produsului.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Suportul de napolitane pentru substrat de grafit VET Energy este un suport de precizie conceput pentru procesul PECVD (depunere chimică din vapori îmbunătățită cu plasmă). Acest suport de substrat de grafit de înaltă calitate este fabricat din material de grafit de înaltă puritate și densitate, cu rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici. Poate oferi o platformă de suport stabilă pentru procesul PECVD și poate asigura uniformitatea și planeitatea depunerii peliculei.

Masa de susținere a napolitanelor de grafit VET Energy pentru procesul PECVD are următoarele caracteristici:

▪Puritate ridicată:conținut extrem de scăzut de impurități, evitați contaminarea peliculei, asigurați calitatea peliculei.

▪Densitate mare:densitate mare, rezistență mecanică ridicată, poate rezista la temperaturi ridicate și presiuni ridicate în mediul PECVD.

▪Stabilitate dimensională bună:modificări dimensionale mici la temperatură ridicată, asigurând stabilitatea procesului.

▪Conductivitate termică excelentă:transferă eficient căldura pentru a preveni supraîncălzirea plachetei.

▪Rezistență puternică la coroziune:poate rezista eroziunii cauzate de diverse gaze corozive și plasmă.

▪Serviciu personalizat:Mese suport din grafit de diferite dimensiuni și forme pot fi personalizate în funcție de nevoile clientului.

Avantajele produsului

▪Îmbunătățiți calitatea filmului:Asigurați o depunere uniformă a peliculei și îmbunătățiți calitatea acesteia.

▪Prelungește durata de viață a echipamentului:Rezistență excelentă la coroziune, prelungește durata de viață a echipamentelor PECVD.

▪Reducerea costurilor de producție:Tăvile de grafit de înaltă calitate pot reduce rata de deșeuri și costurile de producție.

Material grafit de la SGL:

Parametru tipic: R6510
Index	Standard de testare	Valoare	Unitate
Dimensiunea medie a granulelor	ISO 13320	10	μm
Densitatea în vrac	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porozitate deschisă	DIN66133	10	%
Dimensiune medie a porilor	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitate	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duritate Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistență electrică specifică	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Rezistență la încovoiere	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistență la compresiune	DIN 51910	130	MPa
Modulul lui Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansiune termică (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivitate termică (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Este special conceput pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, suportând procesarea de plachete de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al purtătorilor crește semnificativ randamentul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.

Articol	Tip	Suport de napolitane cu număr
Barcă PEVCD Grephite - Seria 156	Barcă de grefit 156-13	144
	Barcă de grefit 156-19	216
	Barcă de grefit 156-21	240
	Barcă de grafit 156-23	308
Barcă PEVCD Grephite - Seria 125	Barcă de grefit 125-15	196
	Barcă din grefit 125-19	252
	Barcă din grafită 125-21	280