Support de plaquette de substrat en graphite pour PECVD

Brève description :

Le support de substrat en graphite de VET Energy est conçu pour maintenir l'alignement et la stabilité des plaquettes tout au long du processus PECVD, évitant ainsi toute contamination et minimisant les risques de dommages. Ce support offre une plateforme stable et régulière, garantissant une exposition uniforme des plaquettes au plasma pour un dépôt homogène et de haute qualité. Grâce à sa conductivité thermique élevée et à sa résistance exceptionnelle, ce support contribue à améliorer l'efficacité globale du processus et les performances du produit.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Le support de substrat en graphite VET Energy est un support de précision conçu pour le procédé PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). Ce support de substrat en graphite de haute qualité est fabriqué en graphite de haute pureté et haute densité, offrant une excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion et une stabilité dimensionnelle exceptionnelle. Il constitue une plateforme de support stable pour le procédé PECVD et garantit l'uniformité et la planéité du dépôt de film.

La table de support de plaquettes de graphite du procédé PECVD de VET Energy présente les caractéristiques suivantes :

▪Haute pureté :Teneur en impuretés extrêmement faible, évite la contamination du film, garantit la qualité du film.

▪Haute densité :haute densité, haute résistance mécanique, peut résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.

▪Bonne stabilité dimensionnelle :faible changement dimensionnel à haute température, assurant la stabilité du processus.

▪Excellente conductivité thermique :transférer efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe des plaquettes.

▪Forte résistance à la corrosion :peut résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪Service personnalisé :Les tables de support en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisées selon les besoins du client.

Avantages du produit

▪Améliorer la qualité du film :Assurer un dépôt uniforme du film et améliorer la qualité du film.

▪Prolonger la durée de vie de l’équipement :Excellente résistance à la corrosion, prolonge la durée de vie des équipements PECVD.

▪Réduire les coûts de production :Les plateaux en graphite de haute qualité peuvent réduire le taux de rebut et réduire les coûts de production.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme de test	Valeur	Unité
granulométrie moyenne	ISO 13320	10	μm
Densité apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	μm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatation thermique (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des plaquettes G12 de grande taille. La conception optimisée du support augmente considérablement le rendement, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.

Article	Taper	Numéro de support de plaquette
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	156-13 bateau en gréphite	144
	156-19 bateau en gréphite	216
	156-21 bateau en gréphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en gréphite 125-15	196
	Bateau grephite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280