מחזיק פרוסות גרפיט של VET Energy הוא נשא מדויק המיועד לתהליך PECVD (שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה). מחזיק מצע גרפיט איכותי זה עשוי מחומר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה, עם עמידות מצוינת לטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות ממדית ומאפיינים נוספים. הוא יכול לספק פלטפורמת תמיכה יציבה לתהליך PECVD ולהבטיח אחידות ושטיחות של שקיעת הסרט.
שולחן תמיכת פרוסות גרפיט בתהליך PECVD של VET Energy כולל את המאפיינים הבאים:
▪טוהר גבוה:תכולת טומאה נמוכה במיוחד, למנוע זיהום של הסרט, להבטיח את איכות הסרט.
▪צפיפות גבוהה:צפיפות גבוהה, חוזק מכני גבוה, יכול לעמוד בטמפרטורה גבוהה ובסביבת PECVD בלחץ גבוה.
▪יציבות ממדית טובה:שינוי מימדי קטן בטמפרטורה גבוהה, מה שמבטיח יציבות התהליך.
▪מוליכות תרמית מעולה:להעביר חום ביעילות כדי למנוע התחממות יתר של פרוסות.
▪עמידות חזקה בפני קורוזיה:יכול לעמוד בפני שחיקה על ידי גזים קורוזיביים שונים ופלזמה.
▪שירות מותאם אישית:ניתן להתאים אישית שולחנות תמיכה מגרפיט בגדלים וצורות שונים בהתאם לצורכי הלקוח.
יתרונות המוצר
▪שיפור איכות הסרט:להבטיח שקיעת סרט אחידה ולשפר את איכות הסרט.
▪הארכת חיי הציוד:עמידות מעולה בפני קורוזיה, מאריכת את חיי השירות של ציוד PECVD.
▪הפחתת עלויות ייצור:מגשי גרפיט איכותיים יכולים להפחית את קצב הגרוטאות ולהפחית את עלויות הייצור.
חומר גרפיט מבית SGL:
| פרמטר טיפוסי: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | תקן ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות בתפזורת | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/סמ"ר3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | דין 51935 | 0.06 | סמ"ר/שנייה |
| קשיות רוקוול HR5/100 | דין IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | מיקרואוהם |
| חוזק כיפוף | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק דחיסה | דין 51910 | 130 | MPa |
| מודול יאנג | דין 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | דין 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | דין 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות סולאריות גדולות מסוג G12. תכנון אופטימלי של נשא מגדיל משמעותית את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מספר ופלים נושאי |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
