Grafīta substrāta vafeļu turētājs PECVD

Īss apraksts:

VET Energy grafīta substrāta turētājs ir izstrādāts, lai saglabātu vafeļu izlīdzinājumu un stabilitāti visā PECVD procesā, novēršot piesārņojumu un samazinot bojājumu risku. Grafīta vafeļu turētājs nodrošina drošu, vienmērīgu platformu, nodrošinot, ka vafeļi vienmērīgi tiek pakļauti plazmai, lai nodrošinātu vienmērīgu un augstas kvalitātes nogulsnēšanos. Pateicoties augstajai siltumvadītspējai un izcilajai izturībai, šis turētājs palīdz uzlabot kopējo procesa efektivitāti un produkta veiktspēju.

Sūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produkta tagi

VET Energy grafīta substrāta vafeļu turētājs ir precīzs nesējs, kas paredzēts PECVD (plazmas pastiprinātas ķīmiskās tvaiku pārklāšanas) procesam. Šis augstas kvalitātes grafīta substrāta turētājs ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes, augsta blīvuma grafīta materiāla ar izcilu izturību pret augstu temperatūru, izturību pret koroziju, izmēru stabilitāti un citām īpašībām. Tas var nodrošināt stabilu atbalsta platformu PECVD procesam un nodrošināt plēves uzklāšanas vienmērīgumu un līdzenumu.

VET Energy PECVD procesa grafīta vafeļu atbalsta galdam ir šādas īpašības:

▪Augsta tīrība:ārkārtīgi zems piemaisījumu saturs, izvairieties no plēves piesārņošanas, nodrošiniet plēves kvalitāti.

▪Augsts blīvums:augsts blīvums, augsta mehāniskā izturība, var izturēt augstu temperatūru un augsta spiediena PECVD vidi.

▪Laba izmēru stabilitāte:nelielas izmēru izmaiņas augstā temperatūrā, nodrošinot procesa stabilitāti.

▪Lieliska siltumvadītspēja:efektīvi pārnes siltumu, lai novērstu vafeļu pārkaršanu.

▪Spēcīga izturība pret koroziju:var pretoties dažādu kodīgu gāzu un plazmas radītajai erozijai.

▪Pielāgots pakalpojums:Dažādu izmēru un formu grafīta atbalsta galdus var pielāgot atbilstoši klienta vajadzībām.

Produkta priekšrocības

▪Uzlabojiet filmas kvalitāti:Nodrošiniet vienmērīgu plēves uzklāšanu un uzlabojiet plēves kvalitāti.

▪Pagarināt aprīkojuma kalpošanas laiku:Lieliska izturība pret koroziju, pagarina PECVD iekārtu kalpošanas laiku.

▪Samaziniet ražošanas izmaksas:Augstas kvalitātes grafīta paplātes var samazināt brāķu daudzumu un samazināt ražošanas izmaksas.

Grafīta materiāls no SGL:

Tipisks parametrs: R6510
Indekss	Testa standarts	Vērtība	Vienība
Vidējais graudu izmērs	ISO 13320	10	μm
Tilpuma blīvums	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atvērta porainība	DIN66133	10	%
Vidējs poru izmērs	DIN66133	1.8	μm
Caurlaidība	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvela cietība HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Īpatnējā elektriskā pretestība	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lieces izturība	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Spiedes izturība	DIN 51910	130	MPa
Janga modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termiskā izplešanās (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Siltumvadītspēja (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tas ir īpaši izstrādāts augstas efektivitātes saules bateriju ražošanai, atbalstot G12 liela izmēra vafeļu apstrādi. Optimizēta nesēja konstrukcija ievērojami palielina caurlaidspēju, nodrošinot augstāku ražību un zemākas ražošanas izmaksas.

Prece	Tips	Numura vafeļu nesējs
PEVCD Grephite laiva - 156. sērija	156-13 grefīta laiva	144
	156-19 grefīta laiva	216
	156-21 grefīta laiva	240
	156-23 grafīta laiva	308
PEVCD Grephite laiva - 125. sērija	125-15 grefīta laiva	196
	125-19 grefīta laiva	252
	125-21 grafīta laiva	280