Держатель для кремниевой подложки из графита для PECVD-процесса

Держатель для графитовой подложки VET Energy — это прецизионный держатель, разработанный для процесса PECVD (плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы). Этот высококачественный держатель для графитовой подложки изготовлен из высокочистого графита высокой плотности, обладающего превосходной термостойкостью, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками. Он обеспечивает стабильную опорную платформу для процесса PECVD и гарантирует равномерность и плоскостность осаждения пленки.

Подставка для графитовых пластин, используемая в процессе PECVD-осаждения компании VET Energy, обладает следующими характеристиками:

▪Высокая чистота:Чрезвычайно низкое содержание примесей, исключающее загрязнение пленки, гарантирующее ее качество.

▪Высокая плотность:Высокая плотность, высокая механическая прочность, способность выдерживать высокие температуры и высокое давление в условиях PECVD.

▪Хорошая стабильность размеров:Незначительные изменения размеров при высокой температуре, обеспечивающие стабильность процесса.

▪Отличная теплопроводность:эффективно передавать тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪Высокая коррозионная стойкость:способен противостоять эрозии под воздействием различных коррозионных газов и плазмы.

▪Индивидуальный подход к обслуживанию:Графитовые опорные столы различных размеров и форм могут быть изготовлены на заказ в соответствии с потребностями заказчика.

Преимущества продукта

▪Улучшить качество пленки:Обеспечьте равномерное нанесение пленки и улучшите ее качество.

▪Продлите срок службы оборудования:Превосходная коррозионная стойкость, продлевает срок службы оборудования для PECVD.

▪Снижение производственных затрат:Высококачественные графитовые лотки позволяют снизить процент брака и сократить производственные затраты.