Графитовый держатель пластины для PECVD

Держатель пластины графитовой подложки VET Energy — это прецизионный носитель, разработанный для процесса PECVD (плазменно-усиленное химическое осаждение из паровой фазы). Этот высококачественный держатель графитовой подложки изготовлен из высокочистого, высокоплотного графитового материала с превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, размерной стабильностью и другими характеристиками. Он может обеспечить стабильную опорную платформу для процесса PECVD и гарантировать однородность и плоскостность осаждения пленки.

Опорный стол для графитовых пластин VET Energy PECVD имеет следующие характеристики:

▪Высокая чистота:чрезвычайно низкое содержание примесей, предотвращает загрязнение пленки, обеспечивает качество пленки.

▪Высокая плотность:высокая плотность, высокая механическая прочность, способность выдерживать высокие температуры и высокое давление в среде PECVD.

▪Хорошая размерная стабильность:небольшое изменение размеров при высокой температуре, обеспечивающее стабильность процесса.

▪Отличная теплопроводность:эффективно передают тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪Высокая коррозионная стойкость:может противостоять эрозии, вызываемой различными едкими газами и плазмой.

▪Индивидуальное обслуживание:Графитовые опорные столы различных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями заказчика.

Преимущества продукта

▪Улучшить качество фильма:Обеспечивает равномерное нанесение пленки и улучшает ее качество.

▪Продлите срок службы оборудования:Отличная коррозионная стойкость, продлевает срок службы оборудования PECVD.

▪Снижение производственных затрат:Высококачественные графитовые поддоны позволяют снизить процент брака и снизить производственные затраты.