Grafiittisubstraattikiekkojen pidike PECVD:lle

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn grafiittisubstraattipidin on suunniteltu ylläpitämään kiekkojen kohdistusta ja vakautta koko PECVD-prosessin ajan, estäen kontaminaation ja minimoiden vaurioitumisriskin. Grafiittikiekkojen pidin tarjoaa turvallisen ja tasaisen alustan, joka varmistaa, että kiekot altistuvat tasaisesti plasmalle tasaisen ja korkealaatuisen laskeuman aikaansaamiseksi. Korkean lämmönjohtavuutensa ja poikkeuksellisen lujuutensa ansiosta tämä pidin auttaa parantamaan prosessin yleistä tehokkuutta ja tuotteen suorituskykyä.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-tiedostona

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

VET Energyn grafiittisubstraattikiekkojen pidike on tarkkuuspidike, joka on suunniteltu PECVD-prosessiin (plasma-enhanced chemical vapour deposition). Tämä korkealaatuinen grafiittisubstraattipidike on valmistettu erittäin puhtaasta ja tiheästä grafiittimateriaalista, jolla on erinomainen lämmönkestävyys, korroosionkestävyys, mittapysyvyys ja muita ominaisuuksia. Se voi tarjota vakaan tukialustan PECVD-prosessille ja varmistaa kalvon kerrostuksen tasaisuuden ja tasaisuuden.

VET Energyn PECVD-prosessigrafiittikiekkojen tukipöydällä on seuraavat ominaisuudet:

▪Korkea puhtausaste:erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, välttää kalvon saastumista, varmistaa kalvon laadun.

▪Suuri tiheys:korkea tiheys, korkea mekaaninen lujuus, kestää korkeita lämpötiloja ja korkeapaineisia PECVD-ympäristöjä.

▪Hyvä mittapysyvyys:pieni mittamuutos korkeassa lämpötilassa, mikä varmistaa prosessin vakauden.

▪Erinomainen lämmönjohtavuus:siirtää lämpöä tehokkaasti estäen kiekon ylikuumenemisen.

▪Vahva korroosionkestävyys:kestää erilaisten syövyttävien kaasujen ja plasman aiheuttamaa eroosiota.

▪Räätälöity palvelu:Eri kokoisia ja muotoisia grafiittitukiapupöytiä voidaan räätälöidä asiakkaan tarpeiden mukaan.

Tuotteen edut

▪Paranna elokuvan laatua:Varmista tasainen kalvon kerrostuminen ja paranna kalvon laatua.

▪Pidennä laitteiden käyttöikää:Erinomainen korroosionkestävyys, pidentää PECVD-laitteiden käyttöikää.

▪Alenna tuotantokustannuksia:Korkealaatuiset grafiittialustat voivat vähentää hylkymäärää ja alentaa tuotantokustannuksia.

Grafiittimateriaalia SGL:ltä:

Tyypillinen parametri: R6510
Indeksi	Testistandardi	Arvo	Yksikkö
Keskimääräinen raekoko	ISO 13320	10	μm
Irtotiheys	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm²³
Avoin huokoisuus	DIN66133	10	%
Keskikokoinen huokoskoko	DIN66133	1.8	μm
Läpäisevyys	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-kovuus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ominaisresistiivisyys	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Taivutuslujuus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Puristuslujuus	DIN 51910	130	MPa
Youngin moduuli	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Lämpölaajeneminen (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Lämmönjohtavuus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Se on erityisesti suunniteltu tehokkaaseen aurinkokennojen valmistukseen ja tukee G12-kokoisten kiekkojen käsittelyä. Optimoitu kantajan suunnittelu lisää merkittävästi läpimenoaikaa, mikä mahdollistaa korkeammat saantoasteet ja alhaisemmat tuotantokustannukset.

Tuote	Tyyppi	Numerokiekon kantaja
PEVCD Grephite -vene - 156-sarja	156-13 grefiittivene	144
	156-19 grefiittivene	216
	156-21 grefiittivene	240
	156-23 grafiittivene	308
PEVCD Grephite -vene - 125-sarja	125-15 grefiittivene	196
	125-19 grefiittivene	252
	125-21 grafiittivene	280