Grafít undirlagsskífuhaldari fyrir PECVD

Stutt lýsing:

Grafítundirlagshaldarinn frá VET Energy er hannaður til að viðhalda röðun og stöðugleika skífna í gegnum PECVD ferlið, koma í veg fyrir mengun og lágmarka hættu á skemmdum. Grafítundirlagshaldarinn býður upp á öruggan og jafnan grunn sem tryggir að skífurnar séu jafnt útsettar fyrir plasmanu fyrir samræmda og hágæða útfellingu. Með mikilli varmaleiðni og einstökum styrk hjálpar þessi haldari til við að bæta heildar skilvirkni ferlisins og afköst vörunnar.

Senda okkur tölvupóst Sækja sem PDF

Vöruupplýsingar

Vörumerki

VET Energy grafítundirlagsskífuhaldarinn er nákvæmnisburðarbúnaður hannaður fyrir PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ferlið. Þessi hágæða grafítundirlagshaldari er úr hágæða grafítefni með mikilli hreinleika og mikilli þéttleika, með framúrskarandi hitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika. Hann getur veitt stöðugan stuðningsgrunn fyrir PECVD ferlið og tryggt einsleitni og flatleika filmuútfellingarinnar.

Stuðningsborð fyrir grafítskífur frá VET Energy PECVD ferlinu hefur eftirfarandi eiginleika:

▪Mikil hreinleiki:Mjög lágt óhreinindainnihald, forðast mengun filmu, tryggja filmugæði.

▪Hár þéttleiki:Hár þéttleiki, mikill vélrænn styrkur, þolir háan hita og háþrýsting í PECVD umhverfi.

▪Góð víddarstöðugleiki:Lítil víddarbreyting við hátt hitastig, sem tryggir stöðugleika ferlisins.

▪Frábær varmaleiðni:Flytja hita á áhrifaríkan hátt til að koma í veg fyrir ofhitnun á skífunni.

▪Sterk tæringarþol:getur staðist rof frá ýmsum ætandi lofttegundum og plasma.

▪Sérsniðin þjónusta:Grafítstuðningsborð af mismunandi stærðum og gerðum er hægt að aðlaga eftir þörfum viðskiptavina.

Kostir vörunnar

▪Bæta gæði kvikmynda:Tryggið jafna filmuútfellingu og bætið filmugæði.

▪Lengja líftíma búnaðar:Frábær tæringarþol, lengir líftíma PECVD búnaðar.

▪Lækka framleiðslukostnað:Hágæða grafítbakkar geta dregið úr skraphlutfalli og framleiðslukostnaði.

Grafítefni frá SGL:

Dæmigert breytu: R6510
Vísitala	Prófunarstaðall	Gildi	Eining
Meðalkornastærð	ISO 13320	10	míkrómetrar
Þéttleiki rúmmáls	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opin gegndræpi	DIN66133	10	%
Miðlungsstærð pora	DIN66133	1.8	míkrómetrar
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstök rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þjöppunarstyrkur	DIN 51910	130	MPa
Youngs stuðull	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Varmaþensla (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir framleiðslu á sólarsellum með mikilli skilvirkni og styður vinnslu á stórum G12 skífum. Bjartsýni hönnun flutningsaðila eykur afköst verulega, sem gerir kleift að auka afköst og lækka framleiðslukostnað.

Vara	Tegund	Fjöldi skífuflutningsaðila
PEVCD Grephite bátur - 156 serían	156-13 grefítbátur	144
	156-19 grefítbátur	216
	156-21 grefítbátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 serían	125-15 grefítbátur	196
	125-19 grefítbátur	252
	125-21 grafítbátur	280