Soporte de oblea de sustrato de grafito para PECVD

Soporte para obleas de sustrato de grafito para PECVD (Imagen destacada)

Breve descripción:

El soporte de sustrato de grafito de VET Energy está diseñado para mantener la alineación y estabilidad de las obleas durante todo el proceso PECVD, evitando la contaminación y minimizando el riesgo de daños. Este soporte proporciona una plataforma segura y uniforme, asegurando que las obleas se expongan de manera homogénea al plasma para una deposición consistente y de alta calidad. Gracias a su alta conductividad térmica y excepcional resistencia, este soporte contribuye a mejorar la eficiencia general del proceso y el rendimiento del producto.

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

El soporte para obleas de sustrato de grafito VET Energy es un soporte de precisión diseñado para el proceso PECVD (deposición química en fase vapor asistida por plasma). Este soporte de alta calidad está fabricado con grafito de alta pureza y densidad, con excelente resistencia a altas temperaturas, a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características. Proporciona una plataforma de soporte estable para el proceso PECVD y garantiza la uniformidad y planitud de la deposición de la película.

La mesa de soporte de obleas de grafito del proceso PECVD de VET Energy tiene las siguientes características:

▪Alta pureza:Contenido de impurezas extremadamente bajo, evita la contaminación de la película y garantiza su calidad.

▪Densidad alta:Alta densidad, alta resistencia mecánica, puede soportar altas temperaturas y alta presión en entornos PECVD.

▪Buena estabilidad dimensional:Pequeño cambio dimensional a alta temperatura, lo que garantiza la estabilidad del proceso.

▪Excelente conductividad térmica:Transfiere el calor de forma eficaz para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪Alta resistencia a la corrosión:Puede resistir la erosión causada por diversos gases corrosivos y plasma.

▪Servicio personalizado:Las mesas de soporte de grafito de diferentes tamaños y formas se pueden personalizar según las necesidades del cliente.

Ventajas del producto

▪Mejorar la calidad de la película:Garantizar una deposición uniforme de la película y mejorar su calidad.

▪Prolongue la vida útil de sus equipos:Excelente resistencia a la corrosión, lo que prolonga la vida útil de los equipos PECVD.

▪Reducir los costos de producción:Las bandejas de grafito de alta calidad pueden reducir la tasa de desperdicio y disminuir los costos de producción.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio del grano	ISO 13320	10	μm
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del soporte aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de producción y menores costos.

Artículo	Tipo	Portador de oblea numérica
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280