Soporte de oblea de sustrato de grafito para PECVD

Descripción breve:

El soporte de sustrato de grafito de VET Energy está diseñado para mantener la alineación y estabilidad de las obleas durante todo el proceso de PECVD, evitando la contaminación y minimizando el riesgo de daños. El soporte de sustrato de grafito proporciona una plataforma segura y uniforme, garantizando que las obleas se expongan uniformemente al plasma para una deposición consistente y de alta calidad. Gracias a su alta conductividad térmica y excepcional resistencia, este soporte ayuda a mejorar la eficiencia general del proceso y el rendimiento del producto.

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Detalle del producto

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El soporte de oblea de sustrato de grafito VET Energy es un soporte de precisión diseñado para el proceso PECVD (deposición química en fase de vapor mejorada por plasma). Este soporte de sustrato de grafito de alta calidad está fabricado con grafito de alta pureza y alta densidad, con excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características. Proporciona una plataforma de soporte estable para el proceso PECVD y garantiza la uniformidad y planitud de la deposición de película.

La mesa de soporte de obleas de grafito para el proceso PECVD de VET Energy tiene las siguientes características:

▪Alta pureza:Contenido de impurezas extremadamente bajo, evita la contaminación de la película y garantiza la calidad de la película.

▪Densidad alta:Alta densidad, alta resistencia mecánica, puede soportar entornos PECVD de alta temperatura y alta presión.

▪Buena estabilidad dimensional:Pequeño cambio dimensional a alta temperatura, lo que garantiza la estabilidad del proceso.

▪Excelente conductividad térmica:Transfiere eficazmente el calor para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪Fuerte resistencia a la corrosión:Puede resistir la erosión por diversos gases corrosivos y plasma.

▪Servicio personalizado:Las mesas de soporte de grafito de diferentes tamaños y formas se pueden personalizar según las necesidades del cliente.

Ventajas del producto

▪Mejorar la calidad de la película:Asegúrese de que la deposición de la película sea uniforme y mejore su calidad.

▪Prolongar la vida útil del equipo:Excelente resistencia a la corrosión, prolonga la vida útil de los equipos PECVD.

▪Reducir los costos de producción:Las bandejas de grafito de alta calidad pueden reducir la tasa de desechos y los costos de producción.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	micras
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	micras
Permeabilidad	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	Norma DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas G12 de gran tamaño. El diseño optimizado del portador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite un mayor rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de obleas
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	156-13 barco de grefitos	144
	156-19 barco de grefitos	216
	156-21 barco de grefitos	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefitos 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280