Sipò Wafer Substrat Grafit VET Energy a se yon sipò presizyon ki fèt pou pwosesis PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Sipò Substrat Grafit kalite siperyè sa a fèt ak materyèl grafit ki gen gwo pite ak gwo dansite, li gen ekselan rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, estabilite dimansyonèl ak lòt karakteristik. Li ka bay yon platfòm sipò ki estab pou pwosesis PECVD a epi asire inifòmite ak platè depo fim nan.
Tab sipò pou waf grafit pwosesis PECVD VET Energy la gen karakteristik sa yo:
▪Segondè pite:kontni enpurte ki ba anpil, evite kontaminasyon fim nan, asire bon jan kalite fim nan.
▪Dansite segondè:dansite segondè, gwo fòs mekanik, ka reziste tanperati ki wo ak anviwònman PECVD ki wo presyon.
▪Bon estabilite dimansyonèl:Ti chanjman dimansyon nan tanperati ki wo, asire estabilite pwosesis la.
▪Ekselan konduktivite tèmik:transfere chalè efektivman pou anpeche wafer la chofe twòp.
▪Bon rezistans kont korozyon:ka reziste ewozyon pa divès gaz koroziv ak plasma.
▪Sèvis pèsonalize:Tab sipò grafit ki gen diferan gwosè ak fòm ka Customized selon bezwen kliyan yo.
Avantaj pwodwi yo
▪Amelyore kalite fim nan:Asire yon depo fim inifòm epi amelyore kalite fim nan.
▪Pwolonje lavi ekipman yo:Ekselan rezistans kont korozyon, pwolonje lavi sèvis ekipman PECVD yo.
▪Redui depans pwodiksyon:Plato grafit kalite siperyè ka diminye pousantaj fatra epi diminye depans pwodiksyon.
Materyèl grafit ki soti nan SGL:
| Paramèt tipik: R6510 | |||
| Endèks | Estanda tès | Valè | Inite |
| Gwosè grenn mwayèn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Dansite an mas | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm33 |
| Porosite ouvè | DIN66133 | 10 | % |
| Gwosè pò mwayen | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Pèmeabilite | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Dite Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Rezistans elektrik espesifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Fòs fleksyon | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Fòs konpresiv | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modil Young lan | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| Ekspansyon tèmik (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Konduktivite tèmik (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè ki gen gwo efikasite, pou sipòte pwosesis gwo plak G12 yo. Konsepsyon transpòtè optimize a ogmante anpil debi a, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.
| Atik | Kalite | Nimewo transpòtè wafer |
| Bato PEVCD Grephite - Seri 156 la | 156-13 bato grefit | 144 |
| 156-19 bato grefit | 216 | |
| 156-21 bato grefit | 240 | |
| Bato grafit 156-23 | 308 | |
| Bato PEVCD Grephite - Seri 125 la | Bato grefit 125-15 | 196 |
| Bato grefit 125-19 | 252 | |
| Bato grafit 125-21 | 280 |
