Peça de meia-lua de grafite revestida com SiC para forno epitaxial de carboneto de silício

Descrição curta:

A VET Energy é uma fabricante e fornecedora profissional de componentes essenciais para fornos epitaxiais de carboneto de silício. Nossa peça em formato de meia-lua de grafite revestida com SiC utiliza grafite de alta pureza combinada com tecnologia avançada de revestimento CVD. Ela foi projetada para ambientes epitaxiais de alta temperatura e alta corrosão. O grafite de alta pureza confere ao componente excelente resistência a altas temperaturas (>1600°C) e estabilidade térmica, garantindo a uniformidade do campo térmico. O revestimento CVD forma uma densa camada protetora na superfície por meio da tecnologia CVD, melhorando significativamente as propriedades antioxidantes e anticorrosivas, e prolongando a vida útil em mais de 3 vezes.

Material:Grafite de alta pureza

Purificação:<5 ppm

Revestimento:CVD-SiC ou CVD-TaC

Personalização:Forno de marca ou OEM

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Detalhes do produto

Etiquetas de produtos

Peça de meia-lua de grafite revestida com SiCé um componente essencial utilizado em processos de fabricação de semicondutores, especialmente em equipamentos epitaxiais de SiC. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para fabricar a peça em formato de meia-lua com altíssima pureza, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e estabilidade térmica.

Material base: grafite de alta pureza
Requisitos de pureza:teor de carbono ≥99,99%, teor de cinzas ≤5ppm, para garantir que nenhuma impureza seja precipitada para contaminar a camada epitaxial em altas temperaturas.
Vantagens de desempenho:
Alta condutividade térmica:A condutividade térmica em temperatura ambiente atinge 150 W/(m²·K), o que é próximo ao nível do cobre e pode transferir calor rapidamente.
Baixo coeficiente de expansão:5×10^-6/℃ (25-1000℃), combinando com o substrato de carboneto de silício (4,2×10^-6/℃), reduzindo a fissuração do revestimento causada pelo estresse térmico.
Precisão de processamento:Uma tolerância dimensional de ±0,05 mm é obtida por meio de usinagem CNC para garantir a vedação da câmara.

Aplicações diferenciadas de CVD SiC e CVD TaC

Revestimento	Processo	Comparação	Aplicação típica
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃Pressão: 10-100 Torr	Dureza HV2500, espessura 50-100um, excelente resistência à oxidação (estável abaixo de 1600℃)	Fornos epitaxiais universais, adequados para atmosferas convencionais como hidrogênio e silano
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Pressão: 1-10 Torr	Dureza HV3000, espessura 20-50um, extremamente resistente à corrosão (pode suportar gases corrosivos como HCl, NH₃, etc.)	Ambientes altamente corrosivos (como epitaxia de GaN e equipamentos de gravação) ou processos especiais que exigem temperaturas ultra-altas de 2600°C

Inspeção de qualidade

Espessura do revestimento: medidor de espessura a laser (precisão ±1um) ou análise transversal SEM.
Resistência de ligação: teste de arranhão (carga crítica > 50N) ou teste ultrassônico (velocidade do som > 5000m/s).
Resistência à corrosão: taxa de perda de massa (<0,1 mg/cm²・h) testada em atmosfera de HCl (5 vol%, 1600℃).

A VET Energy é uma fabricante profissional com foco em P&D e produção de materiais avançados de alta qualidade, como grafite, carboneto de silício, quartzo, bem como tratamento de materiais como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica é formada por importantes instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

As vantagens da VET Energy incluem:
• Fábrica própria e laboratório profissional;
• Níveis de pureza e qualidade líderes do setor;
• Preço competitivo e prazo de entrega rápido;
• Múltiplas parcerias industriais em todo o mundo;

Convidamos você a visitar nossa fábrica e laboratório a qualquer momento!