Peça semicircular de grafite revestida com SiC para forno epitaxial de carbeto de silício

Descrição resumida:

A VET Energy é uma fabricante e fornecedora profissional de componentes essenciais para fornos epitaxiais de carbeto de silício. Nossa peça semicircular de grafite revestida com SiC utiliza grafite de alta pureza combinada com tecnologia avançada de revestimento CVD. Ela foi projetada para ambientes epitaxiais de alta temperatura e alta corrosão. O grafite de alta pureza confere ao componente excelente resistência a altas temperaturas (>1600℃) e estabilidade térmica, garantindo a uniformidade do campo térmico; o revestimento CVD forma uma camada protetora densa na superfície por meio da tecnologia CVD, melhorando significativamente as propriedades antioxidantes e anticorrosivas, e prolongando a vida útil em mais de 3 vezes.

Material:Grafite de alta pureza

Purificação:<5 ppm

Revestimento:CVD-SiC ou CVD-TaC

Personalização:Forno de marca própria ou OEM

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Detalhes do produto

Etiquetas do produto

Peça em forma de meia-lua de grafite revestida com SiCÉ um componente essencial utilizado em processos de fabricação de semicondutores, especialmente em equipamentos epitaxiais de SiC. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para produzir a peça em formato de meia-lua com altíssima pureza, excelente uniformidade de revestimento e vida útil excepcional, além de alta resistência química e estabilidade térmica.

Material base: grafite de alta pureza
Requisitos de pureza:Teor de carbono ≥99,99%, teor de cinzas ≤5 ppm, para garantir que nenhuma impureza se precipite e contamine a camada epitaxial em altas temperaturas.
Vantagens de desempenho:
Alta condutividade térmica:A condutividade térmica à temperatura ambiente atinge 150 W/(m・K), valor próximo ao do cobre, permitindo uma rápida transferência de calor.
Baixo coeficiente de expansão:5×10^-6/℃ (25-1000℃), compatível com o substrato de carbeto de silício (4,2×10^-6/℃), reduzindo o rachamento do revestimento causado pelo estresse térmico.
Precisão do processamento:Uma tolerância dimensional de ±0,05 mm é alcançada por meio de usinagem CNC para garantir a vedação da câmara.

Aplicações diferenciadas de CVD SiC e CVD TaC

Revestimento	Processo	Comparação	Aplicação típica
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃ Pressão: 10-100 Torr	Dureza HV2500, espessura de 50 a 100 µm, excelente resistência à oxidação (estável abaixo de 1600 °C).	Fornos epitaxiais universais, adequados para atmosferas convencionais como hidrogênio e silano.
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃ Pressão: 1-10 Torr	Dureza HV3000, espessura de 20 a 50 µm, extremamente resistente à corrosão (suporta gases corrosivos como HCl, NH₃, etc.).	Ambientes altamente corrosivos (como equipamentos de epitaxia e corrosão de GaN) ou processos especiais que exigem temperaturas ultra-altas de 2600 °C.

Inspeção de qualidade

Espessura do revestimento: medição por laser (precisão ±1 µm) ou análise de seção transversal por microscopia eletrônica de varredura (MEV).
Resistência de adesão: teste de risco (carga crítica > 50N) ou teste ultrassônico (velocidade do som > 5000m/s).
Resistência à corrosão: taxa de perda de massa (<0,1 mg/cm²・h) testada em atmosfera de HCl (5% vol., 1600℃).

A VET Energy é uma fabricante profissional focada em pesquisa e desenvolvimento e na produção de materiais avançados de alta qualidade, como grafite, carbeto de silício e quartzo, além de tratamentos de materiais como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc. Os produtos são amplamente utilizados em células fotovoltaicas, semicondutores, energias renováveis, metalurgia, entre outros.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.

As vantagens da VET Energy incluem:
• Fábrica própria e laboratório profissional;
• Níveis de pureza e qualidade líderes do setor;
• Preço competitivo e prazo de entrega rápido;
• Diversas parcerias com a indústria em todo o mundo;

Teremos todo o prazer em receber a sua visita à nossa fábrica e laboratório!