سلڪون ڪاربائيڊ سي آءِ سي ڊفيوژن پروسيس ٽيوب

سلڪون ڪاربائيڊ سي آءِ سي ڊفيوژن پروسيس ٽيوب

سلڪون ڪاربائيڊ ڊفيوژن فرنس ٽيوبسيمي ڪنڊڪٽر، اعليٰ درجه حرارت جي گرمي علاج، ۽ مواد جي تياري جي عملن ۾ استعمال ٿيندڙ اهم جزا آهن. اهي بنيادي طور تي ڊفيوژن فرنس يا آڪسائيڊيشن فرنس لاءِ سپورٽ ۽ رد عمل چيمبر طور استعمال ڪيا ويندا آهن، جيڪي تيز گرمي پد، انتهائي corrosive ماحول ۾ ماحولي رد عمل، آڪسائيڊيشن، ڊفيوژن، ۽ اينيلنگ جهڙا عمل انجام ڏيندا آهن.
وي اي ٽي انرجي اعليٰ گرمي پد ۽ corrosive سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشنن لاءِ سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ٽيوبن جي ڊيزائن ۽ پيداوار ۾ ماهر آهي. جديد پيداوار جي سهولتن ۽ ملڪيتي سي وي ڊي ۽ سنٽرنگ ٽيڪنالاجي سان، اسان اهڙيون ٽيوبون پهچائيندا آهيون جيڪي بهترين حرارتي استحڪام، آڪسائيڊيشن مزاحمت، ۽ ڊگهي سروس لائف جون خاصيتون رکن ٿيون.

وي اي ٽي انرجي جي سي آءِ سي ٽيوب جا فائدا:

انتهائي اعليٰ پاڪائي:هڪ خاص سنٽرنگ عمل جي استعمال سان پيدا ٿيندڙ، نقصانڪار ڌاتو جي نجاست (جهڙوڪ Na، K، Fe، ۽ Al) کي ppb سطح تائين گهٽايو ويندو آهي.
انتهائي گهٽ گيسنگ:تيز گرمي پد، تيز ويڪيوم ماحول ۾، آئوٽ گيسنگ ڪوارٽز جي ڀيٽ ۾ تمام گهٽ آهي، مؤثر طريقي سان پروسيس چيمبر جي آلودگي کي روڪي ٿو، جمع ٿيل پتلي فلمن يا ڪرسٽل جي واڌ جي اندروني معيار کي يقيني بڻائي ٿو، ۽ پيداوار جي پيداوار کي خاص طور تي بهتر بڻائي ٿو (خاص طور تي SiC ايپيٽيڪسي، GaN واڌ، ۽ اعليٰ درجي جي سنگل ڪرسٽل سلڪون پيداوار لاءِ اهم).
اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام:1600 °C کان وڌيڪ ڊگهي مدت جي آپريٽنگ گرمي پد (ڪوارٽز جي نرمي واري نقطي کان گهڻو مٿي، تقريبن 1200 °C) ممڪن آهي، ۽ مختصر مدت جي گرمي پد اڃا به وڌيڪ گرمي پد (جهڙوڪ 1800 °C) برداشت ڪري سگهي ٿي، ٽئين نسل جي سيمي ڪنڊڪٽرز ۽ ڪرسٽل جي واڌ جي عملن جي انتهائي اعليٰ درجه حرارت جي گهرجن کي پورو ڪندي.
ڪيميائي سنکنرن جي مزاحمت:HCl، Cl₂، ۽ HF جهڙين انتهائي corrosive گيسن، انهي سان گڏ پگھليل سلڪون ۽ ڌاتو بخارات جي خلاف تمام گهڻي مزاحمتي، پيچيده ماحول جهڙوڪ CVD، ڊفيوژن، آڪسائيڊيشن، ۽ ايچنگ ۾ ساخت جي سالميت ۽ سطح جي ختم ٿيڻ کي برقرار رکندي، جنهن جي عمر ڪوارٽز فرنس ٽيوب کان تمام گهڻي آهي.
بهترين حرارتي چالکائي:ان جي حرارتي چالکائي ڪوارٽز جي ڀيٽ ۾ درجن ڀيرا وڌيڪ آهي، جيڪا تيز ۽ وڌيڪ هڪجهڙائي واري فرنس جي گرمي پد جي ورڇ کي فعال ڪري ٿي ۽ عمل جي هڪجهڙائي ۽ ورجائي کي بهتر بڻائي ٿي. اهو خاص طور تي وڏي علائقي، ملٽي ويفر پروسيسنگ (مثال طور، فوٽووولٽڪ ڊفيوژن فرنس ۽ MOCVD ري ايڪٽر) لاءِ اهم آهي.
طول و عرض جي استحڪام:ان جي حرارتي توسيع جي انتهائي گهٽ کوٽائي يقيني بڻائي ٿي ته فرنس ٽيوب انتهائي مستحڪم جاميٽري برقرار رکي ٿي جيتوڻيڪ بار بار ۽ سخت گرمي پد جي اتار چڙهاؤ جي تابع هجي، سيل جي ناڪامي يا حرارتي توسيع ۽ سڪڙڻ جي ڪري دٻاءُ جي ڪنسنٽريشن کي روڪيندي.
استحڪام:ان جي اعليٰ سختي ۽ طاقت فرنس ٽيوب کي بهترين مشيني خاصيتون ڏئي ٿي، جيڪا ان کي خرابي ۽ نقصان جي خلاف مزاحمتي بڻائي ٿي.

عام درخواست:

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار:SiC/GaN ايپيٽيڪسيل واڌ (MOCVD، HTCVD)، سلڪون تي ٻڌل ايپيٽيڪسي، اعليٰ درجه حرارت جي پکيڙ/آڪسائيڊيشن/اينيلنگ (RTP)، ۽ LPCVD.

فوٽو وولٽڪ انڊسٽري:تيز گرمي پد جي پکيڙ (فاسفورس/بوران پکيڙ) ۽ ڪرسٽل سلڪون سولر سيلز جي اينيلنگ.