சிலிக்கான் கார்பைடு SiC பரவல் செயல்முறைக் குழாய்

சிலிக்கான் கார்பைடு SiC பரவல் செயல்முறைக் குழாய்

சிலிக்கான் கார்பைடு பரவல் உலை குழாய்கள்குறைக்கடத்தி, உயர்-வெப்பநிலை வெப்பச் செயலாக்கம் மற்றும் பொருள் தயாரிப்பு செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியக் கூறுகளாகும். அவை முதன்மையாக பரவல் உலைகள் அல்லது ஆக்சிஜனேற்ற உலைகளுக்குத் தாங்கியாகவும் வினை அறையாகவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன; மேலும், உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் தன்மை கொண்ட சூழல்களில் வளிமண்டல வினை, ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் பதப்படுத்துதல் போன்ற செயல்முறைகளை நிகழ்த்துகின்றன.
VET எனர்ஜி, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் தன்மை கொண்ட குறைக்கடத்திப் பயன்பாடுகளுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) குழாய்களை வடிவமைத்துத் தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளது. மேம்பட்ட உற்பத்தி வசதிகள் மற்றும் தனக்கே உரிய CVD மற்றும் சின்டரிங் தொழில்நுட்பங்களைக் கொண்டு, நாங்கள் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட ஆயுட்காலம் ஆகிய அம்சங்களைக் கொண்ட குழாய்களை வழங்குகிறோம்.

VET எனர்ஜியின் SiC குழாய்களின் நன்மைகள்:

மிக உயர்ந்த தூய்மை:ஒரு சிறப்பு சின்டரிங் செயல்முறையைப் பயன்படுத்தித் தயாரிக்கப்படுவதால், தீங்கு விளைவிக்கும் உலோக அசுத்தங்கள் (Na, K, Fe, மற்றும் Al போன்றவை) ppb நிலைக்குக் குறைக்கப்படுகின்றன.
மிகக் குறைந்த வாயு வெளியேற்றம்:உயர் வெப்பநிலை, உயர் வெற்றிடச் சூழல்களில், வாயு வெளியேற்றம் குவார்ட்ஸை விட மிகக் குறைவாக இருப்பதால், செயல்முறை அறை மாசுபடுதல் திறம்படத் தடுக்கப்படுகிறது; படியவைக்கப்பட்ட மென்படலங்கள் அல்லது படிக வளர்ச்சியின் உள்ளார்ந்த தரம் உறுதி செய்யப்படுகிறது; மேலும், உற்பத்தி விளைச்சல் கணிசமாக மேம்படுத்தப்படுகிறது (குறிப்பாக SiC எபிடாக்ஸி, GaN வளர்ச்சி மற்றும் உயர்தர ஒற்றைப் படிக சிலிக்கான் உற்பத்திக்கு இது மிகவும் இன்றியமையாதது).
உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை:1600°C-க்கு அதிகமான (குவார்ட்ஸின் மென்மையாகும் புள்ளியான ஏறக்குறைய 1200°C-ஐ விட மிகவும் அதிகமான) நீண்ட கால இயக்க வெப்பநிலைகள் சாத்தியமாகும். மேலும், குறுகிய காலத்திற்கு 1800°C போன்ற இன்னும் அதிக வெப்பநிலைகளையும் தாங்கக்கூடிய இவை, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள் மற்றும் படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் அதி உயர் வெப்பநிலைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன.
இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்:HCl, Cl₂, மற்றும் HF போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களுக்கும், உருகிய சிலிக்கான் மற்றும் உலோக ஆவிக்கும் அதிக எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டதுடன், CVD, பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரித்தல் போன்ற சிக்கலான சூழல்களிலும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் மேற்பரப்புப் பூச்சு ஆகியவற்றைப் பராமரித்து, குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாய்களின் ஆயுட்காலத்தை விட மிக நீண்ட ஆயுட்காலத்தைக் கொண்டுள்ளது.
சிறந்த வெப்பக் கடத்துத்திறன்:இதன் வெப்பக் கடத்துத்திறன் குவார்ட்ஸை விடப் பல மடங்கு அதிகம். இது உலையின் வெப்பநிலைப் பரவலை வேகமாகவும் சீராகவும் மாற்றி, செயல்முறையின் சீரான தன்மையையும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் தன்மையையும் மேம்படுத்துகிறது. பெரிய பரப்பளவுள்ள, பல சிலிக்கான் தகடுகளைச் செயலாக்குவதற்கு (எ.கா., ஒளிமின்னழுத்தப் பரவல் உலைகள் மற்றும் MOCVD உலைகள்) இது குறிப்பாக முக்கியமானதாகும்.
பரிமாண நிலைத்தன்மை:இதன் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம், தொடர்ச்சியான மற்றும் கடுமையான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களுக்கு உட்படுத்தப்படும்போதும் உலைக்குழாய் மிகவும் நிலையான வடிவவியலைப் பராமரிப்பதை உறுதிசெய்கிறது; மேலும், வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்தால் ஏற்படும் அடைப்புச் செயலிழப்பு அல்லது அழுத்தக் குவிப்பைத் தடுக்கிறது.
நீடித்துழைக்கும் தன்மை:அதன் அதிக கடினத்தன்மையும் வலிமையும் உலைக்குழாய்க்குச் சிறந்த இயந்திரவியல் பண்புகளை அளித்து, அதனை உருக்குலைவு மற்றும் சேதத்திற்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டதாக ஆக்குகிறது.

வழக்கமான பயன்பாடு:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி:SiC/GaN எபிடெக்சியல் வளர்ச்சி (MOCVD, HTCVD), சிலிக்கான் அடிப்படையிலான எபிடெக்சி, உயர்-வெப்பநிலை பரவல்/ஆக்சிஜனேற்றம்/பதப்படுத்துதல் (RTP), மற்றும் LPCVD.

ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்:படிக சிலிக்கான் சூரிய மின்கலங்களின் உயர்-வெப்பநிலை பரவல் (பாஸ்பரஸ்/போரான் பரவல்) மற்றும் பதப்படுத்துதல்.