បំពង់ដំណើរការសាយភាយស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ SiC

បំពង់ដំណើរការសាយភាយស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ SiC

បំពង់​ឡ​សាយភាយ​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដគឺជាសមាសធាតុសំខាន់ៗដែលប្រើក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការព្យាបាលកំដៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងដំណើរការរៀបចំសម្ភារៈ។ ពួកវាត្រូវបានប្រើជាចម្បងជាបន្ទប់ទ្រទ្រង់ និងបន្ទប់ប្រតិកម្មសម្រាប់ឡចំហាយសាយភាយ ឬឡចំហាយអុកស៊ីតកម្ម ដោយអនុវត្តដំណើរការដូចជាប្រតិកម្មបរិយាកាស អុកស៊ីតកម្ម ការសាយភាយ និងការដុតក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងกัดกร่อนខ្ពស់។
ក្រុមហ៊ុន VET Energy មានជំនាញក្នុងការរចនា និងផលិតបំពង់ស៊ីលីកុនកាប៊ីត (SiC) សម្រាប់កម្មវិធីស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងច្រេះ។ ជាមួយនឹងកន្លែងផលិតទំនើបៗ និងបច្ចេកវិទ្យា CVD និង sintering ដែលមានកម្មសិទ្ធិ យើងផ្គត់ផ្គង់បំពង់ដែលមានស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ។

គុណសម្បត្តិនៃបំពង់ SiC របស់ VET Energy៖

ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ខ្លាំង៖ផលិតដោយប្រើដំណើរការស៊ីនទ័រពិសេស សារធាតុមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ (ដូចជា Na, K, Fe និង Al) ត្រូវបានកាត់បន្ថយមកត្រឹមកម្រិត ppb។
ការបញ្ចេញឧស្ម័នទាបបំផុត៖ក្រោមបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញគឺទាបជាងរ៉ែថ្មខៀវឆ្ងាយណាស់ ដែលការពារការចម្លងរោគក្នុងបន្ទប់ដំណើរការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ធានាបាននូវគុណភាពខាងក្នុងនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងៗ ឬការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវទិន្នផលផលិតផលយ៉ាងខ្លាំង (ជាពិសេសសំខាន់សម្រាប់ epitaxy SiC ការលូតលាស់ GaN និងការផលិតស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយកម្រិតខ្ពស់)។
ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែងលើសពី 1600°C (ខ្ពស់ជាងចំណុចទន់នៃរ៉ែថ្មខៀវ ប្រហែល 1200°C) គឺអាចធ្វើទៅបាន ហើយសីតុណ្ហភាពរយៈពេលខ្លីអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងនេះ (ដូចជា 1800°C) ដែលបំពេញតាមតម្រូវការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុតនៃដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជំនាន់ទីបី។
ភាពធន់នឹងការច្រេះគីមី៖ធន់នឹងឧស្ម័នដែលមានការច្រេះខ្លាំងដូចជា HCl, Cl₂ និង HF ក៏ដូចជាស៊ីលីកុនរលាយ និងចំហាយលោហៈ ដោយរក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធ និងការបញ្ចប់ផ្ទៃក្នុងបរិយាកាសស្មុគស្មាញដូចជា CVD ការសាយភាយ អុកស៊ីតកម្ម និងការឆ្លាក់ ជាមួយនឹងអាយុកាលប្រើប្រាស់លើសពីបំពង់ឡដុតរ៉ែថ្មខៀវ។
ចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ៖ចរន្តកំដៅរបស់វាខ្ពស់ជាងរ៉ែថ្មខៀវរាប់សិបដង ដែលអាចឱ្យមានការចែកចាយសីតុណ្ហភាពឡដុតលឿន និងឯកសណ្ឋានជាងមុន និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋានដំណើរការ និងភាពអាចធ្វើម្តងទៀតបាន។ នេះមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីច្រើនស្រទាប់ដែលមានផ្ទៃដីធំ (ឧទាហរណ៍ ឡដុតសាយភាយ photovoltaic និងរ៉េអាក់ទ័រ MOCVD)។
ស្ថេរភាពវិមាត្រ៖មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុតរបស់វាធានាថាបំពង់ឡរក្សាបាននូវរូបរាងធរណីមាត្រដែលមានស្ថេរភាពខ្ពស់ សូម្បីតែពេលទទួលរងនូវការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពម្តងហើយម្តងទៀត និងខ្លាំងក៏ដោយ ដែលការពារការបរាជ័យនៃការផ្សាភ្ជាប់ ឬកំហាប់ភាពតានតឹងដែលបណ្តាលមកពីការពង្រីក និងការរួមតូចកម្ដៅ។
ភាពធន់៖ភាពរឹង និងកម្លាំងខ្ពស់របស់វាផ្តល់ឱ្យបំពង់ឡនូវលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលធ្វើឱ្យវាធន់នឹងការខូចទ្រង់ទ្រាយ និងការខូចខាត។

កម្មវិធីធម្មតា៖

ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ការ​លូតលាស់​តាម​ស្រទាប់​អេពីតាក់ស៊ី SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), ការ​លូតលាស់​តាម​ស្រទាប់​អេពីតាក់ស៊ី​ដែល​មាន​មូលដ្ឋាន​លើ​ស៊ីលីកុន, ការ​សាយភាយ/អុកស៊ីតកម្ម/ការ​ធ្វើ​ឲ្យ​ក្តៅ​នៅ​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់ (RTP), និង LPCVD។

ឧស្សាហកម្ម​ថាមពល​ពន្លឺ​ព្រះអាទិត្យ៖ការសាយភាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ការសាយភាយផូស្វ័រ/បូរ៉ុន) និងការកម្តៅកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់។