Σωλήνας διεργασίας διάχυσης SiC καρβιδίου πυριτίου

Σωλήνας διεργασίας διάχυσης SiC καρβιδίου πυριτίου

Σωλήνες φούρνου διάχυσης καρβιδίου πυριτίουείναι βασικά εξαρτήματα που χρησιμοποιούνται σε διεργασίες ημιαγωγών, θερμικής επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας και προετοιμασίας υλικών. Χρησιμοποιούνται κυρίως ως θάλαμος στήριξης και αντίδρασης για φούρνους διάχυσης ή φούρνους οξείδωσης, εκτελώντας διεργασίες όπως ατμοσφαιρική αντίδραση, οξείδωση, διάχυση και ανόπτηση σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής διαβρωτικότητας.
Η VET Energy ειδικεύεται στο σχεδιασμό και την κατασκευή σωλήνων από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) για εφαρμογές ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας και διάβρωσης. Με προηγμένες εγκαταστάσεις παραγωγής και ιδιόκτητες τεχνολογίες CVD και πυροσυσσωμάτωσης, παραδίδουμε σωλήνες που διαθέτουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα, αντοχή στην οξείδωση και μεγάλη διάρκεια ζωής.

Πλεονεκτήματα των σωλήνων SiC της VET Energy:

Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα:Παραγόμενο με ειδική διαδικασία σύντηξης, οι επιβλαβείς μεταλλικές ακαθαρσίες (όπως Na, K, Fe και Al) ανάγονται στο επίπεδο ppb.
Εξαιρετικά χαμηλή απαγωγή αερίων:Υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας και υψηλού κενού, η απαγωγή αερίων είναι πολύ χαμηλότερη από αυτή του χαλαζία, αποτρέποντας αποτελεσματικά τη μόλυνση του θαλάμου διεργασίας, διασφαλίζοντας την εγγενή ποιότητα των εναποτιθέμενων λεπτών μεμβρανών ή της ανάπτυξης κρυστάλλων και βελτιώνοντας σημαντικά την απόδοση του προϊόντος (ιδιαίτερα κρίσιμη για την επιταξία SiC, την ανάπτυξη GaN και την παραγωγή μονοκρυσταλλικού πυριτίου υψηλής ποιότητας).
Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία:Είναι δυνατές μακροπρόθεσμες θερμοκρασίες λειτουργίας που υπερβαίνουν τους 1600°C (πολύ πάνω από το σημείο μαλάκυνσης του χαλαζία, περίπου 1200°C), και οι βραχυπρόθεσμες θερμοκρασίες μπορούν να αντέξουν ακόμη υψηλότερες θερμοκρασίες (όπως 1800°C), ικανοποιώντας τις απαιτήσεις εξαιρετικά υψηλών θερμοκρασιών των ημιαγωγών τρίτης γενιάς και των διεργασιών ανάπτυξης κρυστάλλων.
Αντοχή στη χημική διάβρωση:Υψηλή αντοχή σε εξαιρετικά διαβρωτικά αέρια όπως HCl, Cl₂ και HF, καθώς και σε τηγμένο πυρίτιο και μεταλλικούς ατμούς, διατηρώντας τη δομική ακεραιότητα και το φινίρισμα της επιφάνειας σε σύνθετες ατμόσφαιρες όπως CVD, διάχυση, οξείδωση και χάραξη, με διάρκεια ζωής που υπερβαίνει κατά πολύ αυτή των σωλήνων κλιβάνου χαλαζία.
Άριστη θερμική αγωγιμότητα:Η θερμική του αγωγιμότητα είναι δεκάδες φορές μεγαλύτερη από αυτή του χαλαζία, επιτρέποντας ταχύτερη και πιο ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας του κλιβάνου και βελτιώνοντας την ομοιομορφία και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας. Αυτό είναι ιδιαίτερα κρίσιμο για την επεξεργασία μεγάλων επιφανειών, πολλαπλών πλακιδίων (π.χ., φωτοβολταϊκοί φούρνοι διάχυσης και αντιδραστήρες MOCVD).
Διαστατική σταθερότητα:Ο εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής διασφαλίζει ότι ο σωλήνας του κλιβάνου διατηρεί εξαιρετικά σταθερή γεωμετρία ακόμη και όταν υπόκειται σε επαναλαμβανόμενες και δραστικές διακυμάνσεις της θερμοκρασίας, αποτρέποντας την αστοχία της στεγανοποίησης ή τη συγκέντρωση τάσεων που προκαλείται από θερμική διαστολή και συστολή.
Αντοχή:Η υψηλή σκληρότητα και αντοχή του προσδίδουν στον σωλήνα του κλιβάνου εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες, καθιστώντας τον ανθεκτικό σε παραμόρφωση και ζημιές.

Τυπική εφαρμογή:

Κατασκευή ημιαγωγών:Επιταξιακή ανάπτυξη SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), επιταξία με βάση το πυρίτιο, διάχυση/οξείδωση/ανόπτηση σε υψηλή θερμοκρασία (RTP) και LPCVD.

Φωτοβολταϊκή Βιομηχανία:Διάχυση σε υψηλή θερμοκρασία (διάχυση φωσφόρου/βορίου) και ανόπτηση ηλιακών κυψελών κρυσταλλικού πυριτίου.