Tabung Proses Difusi Silikon Karbida SiC
Tabung Tungku Difusi Silikon Karbidaminangka komponen kunci sing digunakake ing semikonduktor, perawatan panas suhu dhuwur, lan proses persiapan materi. Iki utamane digunakake minangka ruang pendukung lan reaksi kanggo tungku difusi utawa tungku oksidasi, sing nindakake proses kayata reaksi atmosfer, oksidasi, difusi, lan anil ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif banget.
VET Energy spesialisasine ing desain lan manufaktur tabung silikon karbida (SiC) kanggo aplikasi semikonduktor suhu dhuwur lan korosif. Kanthi fasilitas produksi canggih lan teknologi CVD lan sintering sing dipatenake, kita ngasilake tabung sing nduweni stabilitas termal sing apik banget, tahan oksidasi, lan umur layanan sing dawa.
Kauntungan saka tabung SiC VET Energy:
Kemurnian Ultra-Dhuwur:Diprodhuksi nggunakake proses sintering khusus, rereged logam sing mbebayani (kayata Na, K, Fe, lan Al) dikurangi nganti tekan tingkat ppb.
Outgassing sing sithik banget:Ing lingkungan suhu dhuwur lan vakum dhuwur, outgassing luwih murah tinimbang kuarsa, kanthi efektif nyegah kontaminasi ruang proses, njamin kualitas intrinsik film tipis sing diendapke utawa pertumbuhan kristal, lan ningkatake asil produk kanthi signifikan (utamane penting kanggo epitaksi SiC, pertumbuhan GaN, lan produksi silikon kristal tunggal kelas atas).
Stabilitas Suhu Dhuwur:Suhu operasi jangka panjang sing ngluwihi 1600°C (luwih saka titik pelunakan kuarsa, kira-kira 1200°C) bisa ditindakake, lan suhu jangka pendek bisa tahan suhu sing luwih dhuwur (kayata 1800°C), nyukupi syarat suhu ultra-dhuwur saka semikonduktor generasi katelu lan proses pertumbuhan kristal.
Ketahanan Korosi Kimia:Tahan banget marang gas korosif banget kayata HCl, Cl₂, lan HF, uga silikon cair lan uap logam, njaga integritas struktural lan lapisan permukaan ing atmosfer kompleks kayata CVD, difusi, oksidasi, lan etsa, kanthi umur sing ngluwihi tabung tungku kuarsa.
Konduktivitas Termal sing Apik Banget:Konduktivitas termalé puluhan kali luwih gedhé tinimbang kuarsa, saéngga distribusi suhu tungku luwih cepet lan luwih seragam sarta ningkatake keseragaman lan kemampuan pengulangan proses. Iki penting banget kanggo pangolahan multi-wafer kanthi area sing amba (kayata, tungku difusi fotovoltaik lan reaktor MOCVD).
Stabilitas Dimensi:Koefisien ekspansi termal sing sithik banget njamin tabung tungku njaga geometri sing stabil banget sanajan kena fluktuasi suhu sing bola-bali lan drastis, nyegah kegagalan segel utawa konsentrasi stres sing disebabake dening ekspansi lan kontraksi termal.
Kekuwatan:Kekerasan lan kekuwatane sing dhuwur menehi sifat mekanik sing apik banget kanggo tabung tungku, saengga tahan deformasi lan kerusakan.
Aplikasi Khas:
Manufaktur Semikonduktor:Pertumbuhan epitaksial SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), epitaksi berbasis silikon, difusi/oksidasi/annealing suhu tinggi (RTP), lan LPCVD.
Industri Fotovoltaik:Difusi suhu dhuwur (difusi fosfor/boron) lan anil sel surya silikon kristalin.
| 重结晶碳化硅物理特性 Sifat fisik Silikon Karbida sing Direkristalisasi | |
| 性质 / Properti | 典型数值 / Nilai Khas |
| 使用温度/ Suhu kerja (°C) | 1600°C (karo oksigen), 1700°C (lingkungan sing nyuda) |
| SiC含量/ Isi SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Konten Si gratis | < 0,1% |
| 体积密度/Kapadhetan massal | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Porositas sing katon | < 16% |
| 抗压强度/ Kekuwatan kompresi | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kekuwatan lentur adhem | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Kekuwatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Konduktivitas termal @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量Modulus elastis | 240 GPa |
| 抗热震性/ Tahan kejut termal | Apik banget |
VET Energy minangka produsen profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kelas atas kayata grafit, silikon karbida, kuarsa, uga perawatan bahan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.
Kauntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian lan kualitas sing unggul ing industri;
• Rega kompetitif & wektu pangiriman cepet;
• Pirang-pirang kemitraan industri ing saindenging jagad;
Kita ngajak sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kapan wae!
