સિલિકોન કાર્બાઇડ SiC ડિફ્યુઝન પ્રોસેસ ટ્યુબ
સિલિકોન કાર્બાઇડ ડિફ્યુઝન ફર્નેસ ટ્યુબ્સસેમિકન્ડક્ટર, ઉચ્ચ-તાપમાન ગરમીની સારવાર અને સામગ્રી તૈયારી પ્રક્રિયાઓમાં ઉપયોગમાં લેવાતા મુખ્ય ઘટકો છે. તેઓ મુખ્યત્વે પ્રસરણ ભઠ્ઠીઓ અથવા ઓક્સિડેશન ભઠ્ઠીઓ માટે સપોર્ટ અને પ્રતિક્રિયા ચેમ્બર તરીકે ઉપયોગમાં લેવાય છે, જે ઉચ્ચ-તાપમાન, અત્યંત કાટ લાગતા વાતાવરણમાં વાતાવરણીય પ્રતિક્રિયા, ઓક્સિડેશન, પ્રસરણ અને એનિલિંગ જેવી પ્રક્રિયાઓ કરે છે.
VET એનર્જી ઉચ્ચ-તાપમાન અને કાટ લાગતા સેમિકન્ડક્ટર એપ્લિકેશનો માટે સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) ટ્યુબની ડિઝાઇન અને ઉત્પાદનમાં નિષ્ણાત છે. અદ્યતન ઉત્પાદન સુવિધાઓ અને માલિકીની CVD અને સિન્ટરિંગ તકનીકો સાથે, અમે ઉત્તમ થર્મલ સ્થિરતા, ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર અને લાંબી સેવા જીવન ધરાવતી ટ્યુબ પહોંચાડીએ છીએ.
VET એનર્જીના SiC ટ્યુબના ફાયદા:
અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા:ખાસ સિન્ટરિંગ પ્રક્રિયાનો ઉપયોગ કરીને ઉત્પાદિત, હાનિકારક ધાતુની અશુદ્ધિઓ (જેમ કે Na, K, Fe અને Al) ppb સ્તર સુધી ઘટાડવામાં આવે છે.
અત્યંત ઓછું ગેસિંગ:ઉચ્ચ-તાપમાન, ઉચ્ચ-શૂન્યાવકાશ વાતાવરણમાં, આઉટગેસિંગ ક્વાર્ટઝ કરતા ઘણું ઓછું હોય છે, જે પ્રક્રિયા ચેમ્બરના દૂષણને અસરકારક રીતે અટકાવે છે, જમા થયેલી પાતળી ફિલ્મો અથવા સ્ફટિક વૃદ્ધિની આંતરિક ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરે છે, અને ઉત્પાદન ઉપજમાં નોંધપાત્ર સુધારો કરે છે (ખાસ કરીને SiC એપિટાક્સી, GaN વૃદ્ધિ અને ઉચ્ચ-સ્તરીય સિંગલ-ક્રિસ્ટલ સિલિકોન ઉત્પાદન માટે મહત્વપૂર્ણ).
ઉચ્ચ-તાપમાન સ્થિરતા:૧૬૦૦°C (ક્વાર્ટ્ઝના નરમ બિંદુથી લગભગ ૧૨૦૦°C) કરતાં વધુ લાંબા ગાળાનું કાર્યકારી તાપમાન શક્ય છે, અને ટૂંકા ગાળાનું તાપમાન તેનાથી પણ વધુ ઊંચા તાપમાન (જેમ કે ૧૮૦૦°C)નો સામનો કરી શકે છે, જે ત્રીજી પેઢીના સેમિકન્ડક્ટર અને સ્ફટિક વૃદ્ધિ પ્રક્રિયાઓની અતિ-ઉચ્ચ-તાપમાન જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.
રાસાયણિક કાટ પ્રતિકાર:HCl, Cl₂, અને HF જેવા અત્યંત કાટ લાગતા વાયુઓ, તેમજ પીગળેલા સિલિકોન અને ધાતુના વરાળ સામે અત્યંત પ્રતિરોધક, CVD, પ્રસરણ, ઓક્સિડેશન અને એચિંગ જેવા જટિલ વાતાવરણમાં માળખાકીય અખંડિતતા અને સપાટીની પૂર્ણાહુતિ જાળવી રાખે છે, જેનું આયુષ્ય ક્વાર્ટઝ ફર્નેસ ટ્યુબ કરતા ઘણું વધારે છે.
ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા:તેની થર્મલ વાહકતા ક્વાર્ટઝ કરતા ડઝન ગણી વધારે છે, જે ઝડપી અને વધુ સમાન ભઠ્ઠી તાપમાન વિતરણને સક્ષમ કરે છે અને પ્રક્રિયા એકરૂપતા અને પુનરાવર્તિતતામાં સુધારો કરે છે. આ ખાસ કરીને મોટા-ક્ષેત્ર, મલ્ટી-વેફર પ્રોસેસિંગ (દા.ત., ફોટોવોલ્ટેઇક ડિફ્યુઝન ફર્નેસ અને MOCVD રિએક્ટર) માટે મહત્વપૂર્ણ છે.
પરિમાણીય સ્થિરતા:તેનો થર્મલ વિસ્તરણનો અત્યંત ઓછો ગુણાંક ખાતરી કરે છે કે વારંવાર અને તીવ્ર તાપમાનના વધઘટ છતાં પણ ફર્નેસ ટ્યુબ ખૂબ જ સ્થિર ભૂમિતિ જાળવી રાખે છે, જે થર્મલ વિસ્તરણ અને સંકોચનને કારણે સીલ નિષ્ફળતા અથવા તાણ સાંદ્રતાને અટકાવે છે.
ટકાઉપણું:તેની ઉચ્ચ કઠિનતા અને મજબૂતાઈ ફર્નેસ ટ્યુબને ઉત્તમ યાંત્રિક ગુણધર્મો આપે છે, જે તેને વિકૃતિ અને નુકસાન સામે પ્રતિરોધક બનાવે છે.
લાક્ષણિક એપ્લિકેશન:
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન:SiC/GaN એપિટેક્સિયલ ગ્રોથ (MOCVD, HTCVD), સિલિકોન-આધારિત એપિટેક્સિ, ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રસરણ/ઓક્સિડેશન/એનિલિંગ (RTP), અને LPCVD.
ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ:ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રસાર (ફોસ્ફરસ/બોરોન પ્રસાર) અને સ્ફટિકીય સિલિકોન સૌર કોષોનું એનેલીંગ.
| 重结晶碳化硅物理特性 રિક્રિસ્ટલાઈઝ્ડ સિલિકોન કાર્બાઈડના ભૌતિક ગુણધર્મો | |
| 性质 / મિલકત | 典型数值 / લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| 使用温度/ કાર્યકારી તાપમાન (°C) | ૧૬૦૦°C (ઓક્સિજન સાથે), ૧૭૦૦°C (ઘટાડતું વાતાવરણ) |
| સી.આઈ.સી.含量/ SiC સામગ્રી | > ૯૯.૯૬% |
| 自由Si含量/ મફત Si સામગ્રી | < ૦.૧% |
| 体积密度/જથ્થાબંધ ઘનતા | ૨.૬૦-૨.૭૦ ગ્રામ/સેમી3 |
| 气孔率/ દેખીતી છિદ્રાળુતા | < ૧૬% |
| 抗压强度/ સંકોચન શક્તિ | > ૬૦૦એમપીએ |
| 常温抗弯强度/ઠંડા બેન્ડિંગ તાકાત | ૮૦-૯૦ એમપીએ (૨૦° સે) |
| 高温抗弯强度ગરમ બેન્ડિંગ તાકાત | ૯૦-૧૦૦ એમપીએ (૧૪૦૦° સે) |
| 热膨胀系数/ થર્મલ વિસ્તરણ @ ૧૫૦૦°C | ૪.૭૦ ૧૦-6/°C |
| 导热系数/થર્મલ વાહકતા @ ૧૨૦૦°C | ૨૩પશ્ચિમ/મી•કે |
| 杨氏模量/ સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ | ૨૪૦ જીપીએ |
| 抗热震性/ થર્મલ શોક પ્રતિકાર | ખૂબ જ સારું |
VET એનર્જી એક વ્યાવસાયિક ઉત્પાદક છે જે ગ્રેફાઇટ, સિલિકોન કાર્બાઇડ, ક્વાર્ટઝ જેવી ઉચ્ચ-સ્તરીય અદ્યતન સામગ્રીના સંશોધન અને વિકાસ અને ઉત્પાદન પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, તેમજ SiC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ વગેરે જેવી સામગ્રીની સારવાર પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે. આ ઉત્પાદનોનો ફોટોવોલ્ટેઇક, સેમિકન્ડક્ટર, નવી ઊર્જા, ધાતુશાસ્ત્ર વગેરેમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.
અમારી ટેકનિકલ ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, જે તમારા માટે વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છે.
VET એનર્જીના ફાયદાઓમાં શામેલ છે:
• પોતાની ફેક્ટરી અને વ્યાવસાયિક પ્રયોગશાળા;
• ઉદ્યોગ-અગ્રણી શુદ્ધતા સ્તર અને ગુણવત્તા;
• સ્પર્ધાત્મક કિંમત અને ઝડપી ડિલિવરી સમય;
• વિશ્વભરમાં બહુવિધ ઉદ્યોગ ભાગીદારી;
કોઈપણ સમયે અમારી ફેક્ટરી અને પ્રયોગશાળાની મુલાકાત લેવા માટે અમે તમારું સ્વાગત કરીએ છીએ!
