Tube Tsarin Yaɗawa na Silicon Carbide SiC

Tube Tsarin Yaɗawa na Silicon Carbide SiC

Bututun Tanderu na Silicon Carbidemuhimman abubuwan da ake amfani da su a fannin semiconductor, maganin zafi mai zafi, da kuma tsarin shirya kayan aiki. Ana amfani da su ne a matsayin ɗakin tallafi da amsawa don tanderun watsawa ko tanderun shara, suna aiwatar da ayyuka kamar amsawar yanayi, iskar shara, yaɗuwa, da kuma annealing a cikin yanayi mai zafi da kuma mai lalata.
VET Energy ta ƙware a fannin ƙira da ƙera bututun silicon carbide (SiC) don aikace-aikacen semiconductor masu zafi da lalata. Tare da ci gaba da kayan aiki da fasahar CVD da sintering ta mallaka, muna samar da bututu waɗanda ke da kyakkyawan kwanciyar hankali na zafi, juriya ga iskar shaka, da tsawon rai na aiki.

Fa'idodin bututun SiC na VET Energy:

Tsarkakakken Maɗaukaki:Ana samar da su ta amfani da tsarin tsaftacewa na musamman, ƙazanta masu cutarwa na ƙarfe (kamar Na, K, Fe, da Al) ana rage su zuwa matakin ppb.
Rashin fitar da iska sosai:A ƙarƙashin yanayin zafi mai yawa, mai yawan iskar gas, fitar da iskar gas ya yi ƙasa da na quartz, yana hana gurɓatar ɗakin aiki yadda ya kamata, yana tabbatar da ingancin siraran fina-finai ko girman lu'ulu'u, kuma yana inganta yawan amfanin samfura sosai (musamman mahimmin mahimmanci ga SiC epitaxy, haɓakar GaN, da samar da silicon mai yawan lu'ulu'u ɗaya).
Kwanciyar Hankali Mai Girma:Zafin aiki na dogon lokaci wanda ya wuce 1600°C (sama da wurin laushi na quartz, kimanin 1200°C) yana yiwuwa, kuma yanayin zafi na ɗan gajeren lokaci zai iya jure yanayin zafi mafi girma (kamar 1800°C), yana biyan buƙatun zafin jiki mai yawa na na'urorin semiconductor na ƙarni na uku da hanyoyin haɓaka lu'ulu'u.
Juriyar Tsabtace Sinadarai:Yana da juriya sosai ga iskar gas mai lalata abubuwa kamar HCl, Cl₂, da HF, da kuma narkakken silicon da tururin ƙarfe, yana kiyaye daidaiton tsari da kuma ƙarewar saman a cikin yanayi mai rikitarwa kamar CVD, yaɗuwa, oxidation, da etching, tare da tsawon rai fiye da na bututun tanderu na quartz.
Kyakkyawan watsa wutar lantarki ta thermal:Lantarkin zafinsa ya fi na quartz sau da dama, wanda hakan ke ba da damar rarraba zafin tanderu cikin sauri da daidaito, tare da inganta daidaiton tsari da kuma maimaituwa. Wannan yana da matuƙar muhimmanci musamman ga manyan yankuna, sarrafa wafer mai yawa (misali, tanderun watsawa na photovoltaic da reactors na MOCVD).
Kwanciyar Hankali:Ƙananan ƙarfin faɗaɗa zafi yana tabbatar da cewa bututun wutar lantarki yana riƙe da yanayin da ya dace koda lokacin da ake fuskantar sauyi mai tsanani da kuma canjin zafin jiki, yana hana lalacewar hatimi ko yawan damuwa da faɗaɗa zafi da matsewa ke haifarwa.
Dorewa:Babban taurinsa da ƙarfinsa suna ba wa bututun wutar lantarki kyawawan halaye na injiniya, wanda hakan ke sa shi ya jure wa nakasa da lalacewa.

Aikace-aikacen da aka saba:

Masana'antar Semiconductor:Girman epitaxial na SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), epitaxy mai tushen silicon, yaduwar zafi mai yawa/haɗari/annealing (RTP), da LPCVD.

Masana'antar ɗaukar hoto:Yaɗuwar zafin jiki mai yawa (yaɗuwar phosphorus/boron) da kuma lalata ƙwayoyin hasken rana na silicon mai lu'ulu'u.