Silicia Karbida SiC Difuza Proceza Tubo

Silicia Karbida SiC Difuza Proceza Tubo

Siliciokarbidaj Difuzaj Fornaj Tubojestas ŝlosilaj komponantoj uzataj en duonkonduktaĵoj, alt-temperatura varmotraktado kaj materialpreparaj procezoj. Ili estas ĉefe uzataj kiel subteno kaj reakcia ĉambro por difuzaj fornoj aŭ oksidigaj fornoj, plenumante procezojn kiel atmosfera reakcio, oksidado, difuzo kaj kalcinado en alt-temperaturaj, tre korodaj medioj.
VET Energy specialiĝas pri la dizajnado kaj fabrikado de tuboj el siliciokarbido (SiC) por aplikoj de alta temperaturo kaj korodo. Kun progresintaj produktadinstalaĵoj kaj proprietaj CVD kaj sintraj teknologioj, ni liveras tubojn, kiuj havas bonegan termikan stabilecon, oksidiĝan reziston kaj longan servodaŭron.

Avantaĝoj de la SiC-tuboj de VET Energy:

Ultra-Alta Pureco:Produktite per speciala sintrada procezo, damaĝaj metalaj malpuraĵoj (kiel Na, K, Fe kaj Al) estas reduktitaj ĝis la ppb-nivelo.
Ekstreme Malalta Elĵeto de Gasoj:Sub alttemperaturaj, alt-vakuaj medioj, la elgasigado estas multe pli malalta ol tiu de kvarco, efike malhelpante poluadon de la procezkamero, certigante la internan kvaliton de deponitaj maldikaj filmoj aŭ kristala kresko, kaj signife plibonigante la produktorendimenton (aparte kritika por SiC-epitaksio, GaN-kresko kaj altkvalita unu-kristala silicioproduktado).
Stabileco je alta temperaturo:Longtempaj funkciaj temperaturoj superantaj 1600 °C (multe super la moliga punkto de kvarco, proksimume 1200 °C) eblas, kaj mallongtempaj temperaturoj povas elteni eĉ pli altajn temperaturojn (kiel ekzemple 1800 °C), plenumante la ultra-altajn temperaturajn postulojn de triageneraciaj duonkonduktaĵoj kaj kristalaj kreskoprocezoj.
Kemia Koroda Rezisto:Tre rezistema al tre korodaj gasoj kiel HCl, Cl₂, kaj HF, same kiel fandita silicio kaj metalvaporo, konservante strukturan integrecon kaj surfacan finpoluron en kompleksaj atmosferoj kiel CVD, difuzo, oksidiĝo kaj gravurado, kun vivdaŭro multe superanta tiun de kvarcaj fornaj tuboj.
Bonega Termika Konduktiveco:Ĝia varmokondukteco estas dekojn da fojoj pli granda ol tiu de kvarco, ebligante pli rapidan kaj pli unuforman distribuon de fornotemperaturoj kaj plibonigante la homogenecon kaj ripeteblon de la procezo. Ĉi tio estas precipe kritika por grand-areaj, mult-vaferaj prilaboradoj (ekz., fotovoltaecaj difuzaj fornoj kaj MOCVD-reaktoroj).
Dimensia Stabileco:Ĝia ekstreme malalta koeficiento de termika ekspansio certigas, ke la forntubo konservas tre stabilan geometrion eĉ kiam submetita al ripetaj kaj drastaj temperaturfluktuoj, malhelpante sigelan fiaskon aŭ streskoncentriĝon kaŭzitan de termika ekspansio kaj kuntiriĝo.
Daŭreco:Ĝia alta malmoleco kaj forto donas al la forntubo bonegajn mekanikajn ecojn, igante ĝin rezistema al deformado kaj difekto.

Tipa Apliko:

Fabrikado de duonkonduktaĵoj:SiC/GaN epitaksia kresko (MOCVD, HTCVD), silicio-bazita epitaksio, alt-temperatura difuzo/oksidado/kalcinado (RTP), kaj LPCVD.

Fotovoltaika Industrio:Alt-temperatura difuzo (fosforo/bora difuzo) kaj kalcinado de kristalaj siliciaj sunĉeloj.