Usoro Mgbasa Silicon Carbide SiC

Usoro Mgbasa Silicon Carbide SiC

Ọkụ Silicon Carbide Mgbasa Ọkụbụ ihe ndị dị mkpa e ji eme semiconductor, ọgwụgwọ okpomọkụ dị elu, na usoro nkwadebe ihe. A na-ejikarị ha eme ihe dị ka ebe nkwado na ihe mmeghachi omume maka ọkụ mgbasa ozi ma ọ bụ ọkụ oxidation, na-eme usoro dị ka mmeghachi omume ikuku, oxidation, mgbasa ozi, na annealing na gburugburu okpomọkụ dị elu, nke na-emebi emebi nke ukwuu.
VET Energy bụ ọkachamara n'ịmepụta na imepụta ọkpọkọ silicon carbide (SiC) maka ngwa semiconductor dị elu na nke na-emebi emebi. Site na ụlọ ọrụ mmepụta dị elu na teknụzụ CVD na sintering pụrụ iche, anyị na-enye ọkpọkọ ndị nwere ezigbo nkwụsi ike okpomọkụ, iguzogide oxidation, na ndụ ogologo oge ọrụ.

Uru nke ọkpọkọ SiC nke VET Energy:

Ịdị ọcha dị elu nke ukwuu:A na-eji usoro pụrụ iche nke sintering emepụta ihe ndị na-emerụ ahụ (dị ka Na, K, Fe, na Al) ruo ọkwa ppb.
Mbelata dị oke ala:N'okpuru ebe okpomọkụ dị elu, ebe ikuku dị elu, ikuku na-apụ apụ dị ala karịa nke quartz, na-egbochi mmetọ ụlọ usoro nke ọma, na-ahụ na ịdị mma nke ihe nkiri dị gịrịgịrị ma ọ bụ uto kristal echekwara, ma na-eme ka mmepụta ngwaahịa ka mma nke ukwuu (karịsịa ihe dị oke mkpa maka mmepụta SiC epitaxy, uto GaN, na mmepụta silicon otu kristal dị elu).
Ịkwụsi Ike n'Okpomọkụ Dị Elu:Okpomọkụ ọrụ ogologo oge gafere 1600°C (karịa ebe quartz na-eme ka ọ dị nro, ihe dị ka 1200°C) ga-ekwe omume, okpomọkụ dị mkpirikpi nwekwara ike iguzogide okpomọkụ dị elu karịa (dịka 1800°C), na-emezu ihe achọrọ dị oke elu nke semiconductor ọgbọ nke atọ na usoro uto kristal.
Nguzogide Nrụgide Kemịkalụ:Ọ na-eguzogide gas ndị na-emebi emebi dịka HCl, Cl₂, na HF nke ukwuu, tinyere silikọn agbazere agbaze na uzuoku ígwè, na-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe na mmecha elu n'ime ikuku dị mgbagwoju anya dịka CVD, mgbasa, oxidation, na etching, na ndụ ya karịrị nke ọkpọkọ ọkụ quartz.
Ezigbo Ọgbakọ Okpomọkụ:Ọ na-eme ka okpomọkụ ya dị ọtụtụ ugboro karịa nke quartz, na-eme ka nkesa okpomọkụ ọkụ dị ngwa ngwa ma dịkwa otu, na-emekwa ka usoro nhazi na imeghachi ya dịkwuo mma. Nke a dị oke mkpa maka nhazi nnukwu mpaghara, ọtụtụ wafer (dịka ọmụmaatụ, ọkụ fotovoltaic diffusion na reactor MOCVD).
Nkwụsi ike nha:Oke obere nke mgbasawanye okpomọkụ ya na-eme ka ọkpọkọ ọkụ ahụ nọgide na-enwe ọdịdị kwụsiri ike ọbụlagodi mgbe a na-enwe mgbanwe okpomọkụ ugboro ugboro na nke siri ike, na-egbochi ọdịda akara ma ọ bụ njupụta nrụgide nke mgbasawanye okpomọkụ na mkpụmkpụ kpatara.
Ogologo oge:Ike na ike ya dị elu na-enye ọkpọkọ ọkụ ahụ ezigbo ihe eji arụ ọrụ, na-eme ka ọ ghara ịdị ike ma ọ bụ mebie.

Ngwa nkịtị:

Mmepụta Semiconductor:Uto epitaxial SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), epitaxy dabere na silicon, mgbasa okpomọkụ dị elu/oxidation/annealing (RTP), na LPCVD.

Ụlọ ọrụ fotovoltaịk:Mgbasa okpomọkụ dị elu (mgbasa phosphorus/boron) na iwepụ mkpụrụ ndụ anyanwụ silicon kristal.