Tabung Prosés Difusi Silikon Karbida SiC

Tabung Prosés Difusi Silikon Karbida SiC

Tabung Tungku Difusi Silikon Karbidanyaéta komponén konci anu dianggo dina semikonduktor, perlakuan panas suhu luhur, sareng prosés persiapan bahan. Éta utamina dianggo salaku rohangan pangrojong sareng réaksi pikeun tungku difusi atanapi tungku oksidasi, anu ngalaksanakeun prosés sapertos réaksi atmosfir, oksidasi, difusi, sareng anil dina lingkungan suhu luhur anu korosif pisan.
VET Energy spesialisasi dina desain sareng manufaktur tabung silikon karbida (SiC) pikeun aplikasi semikonduktor suhu luhur sareng korosif. Kalayan fasilitas produksi canggih sareng téknologi CVD sareng sintering anu dipatenkeun, kami nganteurkeun tabung anu ngagaduhan stabilitas termal anu saé, résistansi oksidasi, sareng umur panjang.

Kaunggulan tabung SiC VET Energy:

Kamurnian Ultra-Luhur:Dihasilkeun nganggo prosés sintering khusus, pangotor logam anu ngabahayakeun (sapertos Na, K, Fe, sareng Al) diréduksi kana tingkat ppb.
Outgassing Anu Saeutik Pisan:Dina lingkungan suhu luhur sareng vakum luhur, outgassing jauh langkung handap tibatan kuarsa, sacara efektif nyegah kontaminasi ruang prosés, mastikeun kualitas intrinsik pilem ipis anu diendapkeun atanapi kamekaran kristal, sareng ningkatkeun hasil produk sacara signifikan (utamina penting pikeun epitaksi SiC, kamekaran GaN, sareng produksi silikon kristal tunggal kelas luhur).
Stabilitas Suhu Luhur:Suhu operasi jangka panjang anu ngaleuwihan 1600°C (jauh di luhur titik leuleusna kuarsa, sakitar 1200°C) tiasa kahontal, sareng suhu jangka pondok tiasa tahan suhu anu langkung luhur (sapertos 1800°C), nyumponan sarat suhu ultra-luhur tina semikonduktor generasi katilu sareng prosés kamekaran kristal.
Résistansi Korosi Kimia:Tahan pisan kana gas anu korosif pisan sapertos HCl, Cl₂, sareng HF, ogé silikon cair sareng uap logam, ngajaga integritas struktural sareng hasil akhir permukaan dina atmosfir kompléks sapertos CVD, difusi, oksidasi, sareng étsa, kalayan umur anu langkung lami tibatan tabung tungku kuarsa.
Konduktivitas Termal Anu Saé:Konduktivitas termalna puluhan kali langkung ageung tibatan kuarsa, ngamungkinkeun distribusi suhu tungku anu langkung gancang sareng langkung seragam sareng ningkatkeun keseragaman sareng kabisaulangan prosés. Ieu penting pisan pikeun pamrosésan multi-wafer anu lega (contona, tungku difusi fotovoltaik sareng réaktor MOCVD).
Stabilitas Diménsi:Koéfisién ékspansi termalna anu handap pisan mastikeun tabung tungku ngajaga géométri anu stabil pisan sanajan kakeunaan fluktuasi suhu anu diulang-ulang sareng drastis, nyegah kagagalan segel atanapi konsentrasi setrés anu disababkeun ku ékspansi sareng kontraksi termal.
Daya tahan:Karasa jeung kakuatanana anu luhur méré sipat mékanis anu alus teuing kana tabung tungku, sahingga tahan kana deformasi jeung karusakan.

Aplikasi Khas:

Manufaktur Semikonduktor:Tumuwuhna épitaksial SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), épitaksi dumasar silikon, difusi/oksidasi/anil suhu luhur (RTP), sareng LPCVD.

Industri Fotovoltaik:Difusi suhu luhur (difusi fosfor/boron) sareng annealing sél surya silikon kristalin.