సిలికాన్ కార్బైడ్ SiC వ్యాపన ప్రక్రియ ట్యూబ్
సిలికాన్ కార్బైడ్ డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లుసెమీకండక్టర్, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఉష్ణ చికిత్స, మరియు పదార్థాల తయారీ ప్రక్రియలలో ఇవి కీలకమైన భాగాలుగా ఉపయోగించబడతాయి. అధిక-ఉష్ణోగ్రత, అత్యంత క్షయకారక వాతావరణాలలో వాతావరణ చర్య, ఆక్సీకరణ, వ్యాపనం, మరియు అనీలింగ్ వంటి ప్రక్రియలను నిర్వహించే వ్యాపన కొలిమిలు లేదా ఆక్సీకరణ కొలిమిలకు ఇవి ప్రధానంగా ఆధారం మరియు చర్య గదిగా ఉపయోగించబడతాయి.
VET ఎనర్జీ అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు క్షయకారక సెమీకండక్టర్ అనువర్తనాల కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ట్యూబ్ల రూపకల్పన మరియు తయారీలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. అధునాతన ఉత్పత్తి సౌకర్యాలు మరియు మా స్వంత CVD మరియు సింటరింగ్ సాంకేతికతలతో, మేము అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితం గల ట్యూబ్లను అందిస్తాము.
VET ఎనర్జీ SiC ట్యూబ్ల ప్రయోజనాలు:
అత్యధిక స్వచ్ఛత:ఒక ప్రత్యేకమైన సింటరింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగించి ఉత్పత్తి చేయడం వల్ల, హానికరమైన లోహ మలినాలు (Na, K, Fe, మరియు Al వంటివి) ppb స్థాయికి తగ్గించబడతాయి.
అత్యంత తక్కువ వాయువుల వెలువడటం:అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక శూన్య వాతావరణాలలో, క్వార్ట్జ్తో పోలిస్తే వాయువుల వెలువడటం చాలా తక్కువగా ఉంటుంది. ఇది ప్రాసెస్ ఛాంబర్ కలుషితం కాకుండా సమర్థవంతంగా నివారిస్తుంది, నిక్షేపించబడిన పలుచని పొరలు లేదా స్ఫటిక వృద్ధి యొక్క సహజ నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది, మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది (ఇది ముఖ్యంగా SiC ఎపిటాక్సీ, GaN వృద్ధి, మరియు ఉన్నత-స్థాయి ఏక-స్ఫటిక సిలికాన్ ఉత్పత్తికి కీలకం).
అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం:1600°C మించిన దీర్ఘకాలిక నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రతలు (క్వార్ట్జ్ యొక్క మెత్తబడే స్థానం, సుమారు 1200°C కంటే చాలా ఎక్కువ) సాధ్యమవుతాయి, మరియు స్వల్పకాలిక ఉష్ణోగ్రతలు ఇంకా అధిక ఉష్ణోగ్రతలను (1800°C వంటివి) తట్టుకోగలవు, తద్వారా మూడవ తరం సెమీకండక్టర్లు మరియు క్రిస్టల్ వృద్ధి ప్రక్రియల యొక్క అత్యధిక ఉష్ణోగ్రత అవసరాలను తీరుస్తాయి.
రసాయన తుప్పు నిరోధకత:HCl, Cl₂, మరియు HF వంటి అత్యంత క్షయకారక వాయువులకు, అలాగే కరిగిన సిలికాన్ మరియు లోహ ఆవిరికి అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉండి, CVD, డిఫ్యూజన్, ఆక్సీకరణ, మరియు ఎచింగ్ వంటి సంక్లిష్ట వాతావరణాలలో నిర్మాణ సమగ్రతను మరియు ఉపరితల ముగింపును కాపాడుకుంటూ, క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ల కంటే చాలా ఎక్కువ జీవితకాలం కలిగి ఉంటుంది.
అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత:దీని ఉష్ణ వాహకత క్వార్ట్జ్ కంటే డజన్ల రెట్లు ఎక్కువ, ఇది ఫర్నేస్ ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని వేగవంతంగా మరియు మరింత ఏకరీతిగా చేయడానికి, అలాగే ప్రక్రియ ఏకరూపతను మరియు పునరావృతతను మెరుగుపరచడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. ఇది ముఖ్యంగా పెద్ద-ప్రాంత, బహుళ-వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ (ఉదాహరణకు, ఫోటోవోల్టాయిక్ డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్లు మరియు MOCVD రియాక్టర్లు)కు చాలా కీలకం.
పరిమాణ స్థిరత్వం:దీని అత్యంత తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం, పదేపదే మరియు తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులకు గురైనప్పటికీ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ అత్యంత స్థిరమైన జ్యామితిని కొనసాగించేలా చేస్తుంది, తద్వారా ఉష్ణ వ్యాకోచ సంకోచం వలన కలిగే సీల్ వైఫల్యం లేదా ఒత్తిడి కేంద్రీకరణను నివారిస్తుంది.
మన్నిక:దాని అధిక కాఠిన్యం మరియు బలం ఫర్నేస్ ట్యూబ్కు అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలను అందించి, దానిని వైకల్యం మరియు నష్టానికి నిరోధకంగా చేస్తాయి.
సాధారణ అప్లికేషన్:
సెమీకండక్టర్ తయారీ:SiC/GaN ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ (MOCVD, HTCVD), సిలికాన్-ఆధారిత ఎపిటాక్సీ, అధిక-ఉష్ణోగ్రత డిఫ్యూజన్/ఆక్సీకరణ/అనీలింగ్ (RTP), మరియు LPCVD.
ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ:స్ఫటికాకార సిలికాన్ సౌర ఘటాల అధిక-ఉష్ణోగ్రత వ్యాపనం (ఫాస్ఫరస్/బోరాన్ వ్యాపనం) మరియు అనీలింగ్.
| 重结晶碳化硅物理特性 పునఃస్ఫటికీకరించిన సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |
| 性质 ఆస్తి | 典型数值 / సాధారణ విలువ |
| 使用温度/ పనిచేసే ఉష్ణోగ్రత (°C) | 1600°C (ఆక్సిజన్తో), 1700°C (క్షయకరణ వాతావరణం) |
| SiC含量SiC కంటెంట్ | > 99.96% |
| 自由Si含量ఉచిత Si కంటెంట్ | < 0.1% |
| 体积密度/స్థూల సాంద్రత | 2.60-2.70 గ్రా/సెం.మీ3 |
| 气孔率/ స్పష్టమైన సచ్ఛిద్రత | < 16% |
| 抗压强度/ సంపీడన బలం | 600 కంటే ఎక్కువఎంపిఎ |
| 常温抗弯强度/కోల్డ్ బెండింగ్ బలం | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度వేడి వంపు బలం | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数1500°C వద్ద ఉష్ణ వ్యాకోచం | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/1200°C వద్ద ఉష్ణ వాహకత | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ స్థితిస్థాపక గుణకం | 240 GPa |
| 抗热震性ఉష్ణ షాక్ నిరోధకత | చాలా బాగుంది |
VET ఎనర్జీ అనేది గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, క్వార్ట్జ్ వంటి ఉన్నత శ్రేణి అధునాతన పదార్థాల పరిశోధన, అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక వృత్తిపరమైన తయారీ సంస్థ. అలాగే SiC కోటింగ్, TaC కోటింగ్, గ్లాసీ కార్బన్ కోటింగ్, పైరోలిటిక్ కార్బన్ కోటింగ్ మొదలైన పదార్థ శుద్ధి ప్రక్రియలను కూడా ఇది నిర్వహిస్తుంది. ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, నూతన శక్తి, లోహశాస్త్రం మొదలైన రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.
మా సాంకేతిక బృందం దేశంలోని అగ్రశ్రేణి పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది, మీకు మరింత వృత్తిపరమైన మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.
VET ఎనర్జీ ప్రయోజనాలలో ఇవి ఉన్నాయి:
• సొంత ఫ్యాక్టరీ మరియు వృత్తిపరమైన ప్రయోగశాల;
• పరిశ్రమలో అగ్రగామి స్వచ్ఛత స్థాయిలు మరియు నాణ్యత;
పోటీ ధర మరియు వేగవంతమైన డెలివరీ సమయం;
• ప్రపంచవ్యాప్తంగా బహుళ పరిశ్రమ భాగస్వామ్యాలు;
మీరు ఎప్పుడైనా మా ఫ్యాక్టరీ మరియు ప్రయోగశాలను సందర్శించవచ్చు!
