Difúzna procesná trubica z karbidu kremíka SiC

Difúzna procesná trubica z karbidu kremíka SiC

Difúzne pece z karbidu kremíkasú kľúčovými komponentmi používanými v polovodičových procesoch, procesoch tepelného spracovania pri vysokých teplotách a prípravy materiálov. Používajú sa predovšetkým ako nosná a reakčná komora pre difúzne pece alebo oxidačné pece, kde sa vykonávajú procesy, ako sú atmosférické reakcie, oxidácia, difúzia a žíhanie vo vysokoteplotnom a vysoko korozívnom prostredí.
Spoločnosť VET Energy sa špecializuje na návrh a výrobu trubíc z karbidu kremíka (SiC) pre vysokoteplotné a korozívne polovodičové aplikácie. Vďaka pokročilým výrobným zariadeniam a vlastným technológiám CVD a spekania dodávame trubice, ktoré sa vyznačujú vynikajúcou tepelnou stabilitou, odolnosťou voči oxidácii a dlhou životnosťou.

Výhody SiC trubíc od spoločnosti VET Energy:

Ultra vysoká čistota:Vďaka špeciálnemu procesu spekania sa škodlivé kovové nečistoty (ako sú Na, K, Fe a Al) redukujú na úroveň ppb.
Extrémne nízke odplyňovanie:V prostredí s vysokou teplotou a vysokým vákuom je odplyňovanie oveľa nižšie ako u kremeňa, čo účinne zabraňuje kontaminácii procesnej komory, zabezpečuje vnútornú kvalitu nanesených tenkých vrstiev alebo rastu kryštálov a výrazne zlepšuje výťažok produktu (obzvlášť dôležité pre epitaxiu SiC, rast GaN a výrobu vysoko kvalitných monokryštálov kremíka).
Stabilita pri vysokých teplotách:Dlhodobé prevádzkové teploty presahujúce 1600 °C (výrazne nad bodom mäknutia kremeňa, približne 1200 °C) sú možné a krátkodobé teploty znesú ešte vyššie teploty (napríklad 1800 °C), čím spĺňajú požiadavky na ultravysoké teploty polovodičov tretej generácie a procesov rastu kryštálov.
Chemická odolnosť voči korózii:Vysoko odolné voči vysoko korozívnym plynom, ako sú HCl, Cl₂ a HF, ako aj voči roztavenému kremíku a kovovým parám, pričom zachovávajú štrukturálnu integritu a povrchovú úpravu v zložitých prostrediach, ako je CVD, difúzia, oxidácia a leptanie, s životnosťou ďaleko presahujúcou životnosť kremenných pecí.
Vynikajúca tepelná vodivosť:Jeho tepelná vodivosť je desiatkykrát väčšia ako u kremeňa, čo umožňuje rýchlejšie a rovnomernejšie rozloženie teploty v peci a zlepšuje rovnomernosť a opakovateľnosť procesu. Toto je obzvlášť dôležité pre spracovanie viacerých doštičiek s veľkou plochou (napr. fotovoltaické difúzne pece a MOCVD reaktory).
Rozmerová stabilita:Jeho extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti zaisťuje, že rúra pece si zachováva vysoko stabilnú geometriu aj pri opakovaných a drastických teplotných výkyvoch, čím sa zabraňuje zlyhaniu tesnenia alebo koncentrácii napätia spôsobenej tepelnou rozťažnosťou a sťahovaním.
Trvanlivosť:Vďaka vysokej tvrdosti a pevnosti má rúra pece vynikajúce mechanické vlastnosti, vďaka čomu je odolná voči deformácii a poškodeniu.

Typická aplikácia:

Výroba polovodičov:Epitaxný rast SiC/GaN (MOCVD, HTCNVD), epitaxia na báze kremíka, vysokoteplotná difúzia/oxidácia/žíhanie (RTP) a LPCVD.

Fotovoltaický priemysel:Vysokoteplotná difúzia (difúzia fosforu/bóru) a žíhanie kryštalických kremíkových solárnych článkov.