Silikon karbid SiC diffuziya jarayoni naychasi

Silikon karbid SiC diffuziya jarayoni naychasi

Silikon karbid diffuziya pechining quvurlariyarimo'tkazgichlarda, yuqori haroratli issiqlik bilan ishlov berish va material tayyorlash jarayonlarida ishlatiladigan asosiy komponentlardir. Ular asosan diffuziya pechlari yoki oksidlanish pechlari uchun tayanch va reaksiya kamerasi sifatida ishlatiladi, yuqori haroratli, yuqori korroziyali muhitda atmosfera reaksiyasi, oksidlanish, diffuziya va tavlash kabi jarayonlarni amalga oshiradi.
VET Energy yuqori haroratli va korroziyali yarimo'tkazgichli dasturlar uchun kremniy karbid (SiC) naychalarini loyihalash va ishlab chiqarishga ixtisoslashgan. Ilg'or ishlab chiqarish quvvatlari va patentlangan CVD va sinterlash texnologiyalari bilan biz ajoyib issiqlik barqarorligi, oksidlanishga chidamliligi va uzoq xizmat qilish muddatiga ega naychalarni yetkazib beramiz.

VET Energy kompaniyasining SiC quvurlarining afzalliklari:

Ultra yuqori poklik:Maxsus sinterlash jarayoni yordamida ishlab chiqarilgan zararli metall aralashmalari (masalan, Na, K, Fe va Al) ppb darajasiga tushiriladi.
Juda past gaz chiqishi:Yuqori haroratli, yuqori vakuumli muhitda gazni chiqarib yuborish kvartsga qaraganda ancha past bo'ladi, bu jarayon kamerasining ifloslanishini samarali ravishda oldini oladi, cho'ktirilgan yupqa plyonkalar yoki kristall o'sishining ichki sifatini ta'minlaydi va mahsulot hosildorligini sezilarli darajada yaxshilaydi (ayniqsa SiC epitaksiyasi, GaN o'sishi va yuqori darajadagi monokristalli kremniy ishlab chiqarish uchun juda muhimdir).
Yuqori harorat barqarorligi:1600°C dan yuqori uzoq muddatli ish harorati (kvartsning yumshatish nuqtasidan ancha yuqori, taxminan 1200°C) mumkin va qisqa muddatli haroratlar undan ham yuqori haroratlarga (masalan, 1800°C) bardosh bera oladi, bu esa uchinchi avlod yarimo'tkazgichlari va kristall o'sish jarayonlarining juda yuqori harorat talablariga javob beradi.
Kimyoviy korroziyaga chidamlilik:HCl, Cl₂ va HF kabi yuqori darajada korroziyali gazlarga, shuningdek, erigan kremniy va metall bug'lariga yuqori darajada chidamli bo'lib, CVD, diffuziya, oksidlanish va o'yib ishlov berish kabi murakkab atmosferalarda strukturaviy yaxlitlikni va sirt qoplamasini saqlab qoladi, kvarts pech quvurlaridan ancha uzoq umr ko'radi.
Ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi:Uning issiqlik o'tkazuvchanligi kvartsnikidan o'nlab marta yuqori, bu esa pech haroratini tezroq va bir xil taqsimlash imkonini beradi va jarayonning bir xilligi va takrorlanishini yaxshilaydi. Bu, ayniqsa, katta maydonli, ko'p plastinkali ishlov berish uchun juda muhimdir (masalan, fotovoltaik diffuziya pechlari va MOCVD reaktorlari).
O'lchovli barqarorlik:Uning juda past issiqlik kengayish koeffitsienti pech naychasining takroriy va keskin harorat o'zgarishlariga duchor bo'lganda ham yuqori darajada barqaror geometriyani saqlab qolishini ta'minlaydi, bu esa issiqlik kengayishi va qisqarishi natijasida yuzaga keladigan muhrning ishdan chiqishi yoki stress kontsentratsiyasining oldini oladi.
Chidamlilik:Uning yuqori qattiqligi va mustahkamligi pech naychasiga ajoyib mexanik xususiyatlarni beradi, bu esa uni deformatsiya va shikastlanishga chidamli qiladi.

Odatda qo'llanilishi:

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish:SiC/GaN epitaksial o'sishi (MOCVD, HTCVD), kremniy asosidagi epitaksiya, yuqori haroratli diffuziya/oksidlanish/yumshatish (RTP) va LPCVD.

Fotovoltaik sanoat:Kristall kremniyli quyosh batareyalarini yuqori haroratda diffuziya qilish (fosfor/bor diffuziyasi) va tavlash.