Tube-ga Habka Faafinta Silicon Carbide SiC

Tube-ga Habka Faafinta Silicon Carbide SiC

Tuubooyinka Foornada ee Faafinta Silikoon Carbidewaa qaybo muhiim ah oo loo isticmaalo semiconductor-ka, daaweynta kulaylka heerkulka sare, iyo hababka diyaarinta agabka. Waxaa ugu horreyn loo isticmaalaa sidii qolka taageerada iyo falcelinta ee foornada faafinta ama foornada oksaydhka, iyagoo fulinaya hababka sida falcelinta jawiga, oksaydhka, faafinta, iyo dab-shidka deegaannada heerkulka sare iyo kuwa aadka u daxalka badan.
VET Energy waxay ku takhasustay naqshadeynta iyo soo saarista tuubooyinka silicon carbide (SiC) ee loogu talagalay codsiyada semiconductor-ka heerkulka sare iyo kuwa daxalka leh. Iyada oo la adeegsanayo xarumo wax soo saar oo horumarsan iyo teknoolojiyada CVD iyo sintering-ka gaarka ah, waxaanu keenaynaa tuubooyin leh xasillooni kuleyl oo aad u fiican, iska caabin oksaydh, iyo cimri dheer.

Faa'iidooyinka tuubooyinka SiC ee VET Energy:

Nadiifin Aad u Sareysa:Iyadoo la adeegsanayo habka sintering gaar ah, wasakhda birta ee waxyeelada leh (sida Na, K, Fe, iyo Al) ayaa hoos loogu dhigaa heerka ppb.
Gaaska oo aad u Yar:Deegaannada heerkulka sare leh, oo leh faaruq sare, gaaska ka baxaya ayaa aad uga hooseeya kan quartz, taasoo si wax ku ool ah uga hortagta wasakhowga qolka geeddi-socodka, hubinta tayada gudaha ee filimada khafiifka ah ee la keydiyay ama koritaanka kiristaalka, iyo si weyn u hagaajinaysa wax-soo-saarka wax-soo-saarka (gaar ahaan muhiim u ah SiC epitaxy, koritaanka GaN, iyo wax-soo-saarka silikoon-hal-kristaal ah oo heer sare ah).
Xasilloonida Heerkulka Sare:Heerkulka hawlgalka muddada dheer oo ka sarreeya 1600°C (oo ka sarreeya barta jilicsan ee quartz, qiyaastii 1200°C) ayaa suurtagal ah, heerkulka muddada gaabanna wuxuu u adkeysan karaa heerkul aad u sarreeya (sida 1800°C), isagoo buuxinaya shuruudaha heerkulka aadka u sarreeya ee semiconductor-ka jiilka saddexaad iyo hababka koritaanka kiristaalka.
Iska caabbinta Daxalka Kiimikada:Aad ayuu ugu adkaystaa gaasaska aadka u daxalka badan sida HCl, Cl₂, iyo HF, iyo sidoo kale silikoon dhalaalay iyo uumiga birta, isagoo ilaalinaya hufnaanta qaab-dhismeedka iyo dhammaystirka dusha sare ee jawiga adag sida CVD, faafinta, oksaydhka, iyo xoqidda, iyadoo cimrigiisu ka badan yahay kan tuubooyinka foornada quartz.
Qaboojinta Kulaylka oo Aad u Fiican:Daba-galkeeda kulaylka ayaa tobanaan jeer ka weyn kan quartz, taasoo suurtogalinaysa qaybinta heerkulka foornada oo dhakhso badan oo isku mid ah iyo hagaajinta isku-dhafka habka iyo ku celcelinta. Tani waxay si gaar ah muhiim ugu tahay habaynta dhul ballaaran, oo leh wafer badan (tusaale ahaan, foornooyinka faafinta sawirka iyo falgalayaasha MOCVD).
Xasiloonida Cabbirka:Isugeynteeda aadka u hooseysa ee ballaarinta kulaylka waxay hubineysaa in tuubada foornadu ay ilaaliso joomatari aad u deggan xitaa marka ay la kulanto isbeddellada heerkulka ee soo noqnoqda oo daran, taasoo ka hortageysa cillad shaabad ama uruurinta walbahaarka oo ay keento ballaarinta kulaylka iyo isku-soo-ururinta.
Waarta:Adkaynteeda iyo xooggeeda sare waxay siiyaan tuubada foornada sifooyin farsamo oo heer sare ah, taasoo ka dhigaysa mid u adkaysata isbeddelka iyo dhaawaca.

Codsiga Caadiga ah:

Soo saarista Semiconductor-ka:Kobaca epitaxial ee SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), epitaxy ku salaysan silikoon, faafinta heerkulka sare/oksaydhaynta/ka-buuxinta (RTP), iyo LPCVD.

Warshadaha Foornada-foornada:Faafinta heerkulka sare (faafinta fosfooraska/boron) iyo baabi'inta unugyada qorraxda ee silikoon-ka kristaliga ah.