Кремний карбиді SiC диффузиялық процесінің түтігі

Кремний карбиді SiC диффузиялық процесінің түтігі

Кремний карбидінің диффузиялық пешінің түтіктеріжартылай өткізгіштерде, жоғары температуралы термиялық өңдеуде және материал дайындау процестерінде қолданылатын негізгі компоненттер болып табылады. Олар негізінен диффузиялық пештер немесе тотығу пештері үшін тірек және реакция камерасы ретінде қолданылады, жоғары температуралы, жоғары коррозиялық ортада атмосфералық реакция, тотығу, диффузия және күйдіру сияқты процестерді орындайды.
VET Energy жоғары температуралы және коррозиялық жартылай өткізгіш қолданбаларға арналған кремний карбиді (SiC) түтіктерін жобалау және өндіруге маманданған. Жетілдірілген өндірістік қондырғылармен және меншікті CVD және күйдіру технологияларымен біз тамаша термиялық тұрақтылыққа, тотығуға төзімділікке және ұзақ қызмет ету мерзіміне ие түтіктерді жеткіземіз.

VET Energy компаниясының SiC түтіктерінің артықшылықтары:

Өте жоғары тазалық:Арнайы күйдіру процесін қолдану арқылы өндірілген зиянды металл қоспалары (мысалы, Na, K, Fe және Al) ppb деңгейіне дейін азаяды.
Өте төмен газ шығарындылары:Жоғары температуралы, жоғары вакуумды ортада газдан тазарту кварцқа қарағанда әлдеқайда төмен, бұл процесс камерасының ластануын тиімді түрде болдырмайды, тұндырылған жұқа қабықшалардың немесе кристалдардың өсуінің өзіндік сапасын қамтамасыз етеді және өнім өнімділігін айтарлықтай жақсартады (әсіресе SiC эпитаксиі, GaN өсуі және жоғары сапалы монокристалды кремний өндірісі үшін өте маңызды).
Жоғары температурадағы тұрақтылық:Ұзақ мерзімді жұмыс температурасы 1600°C-тан асуы мүмкін (кварцтың жұмсару нүктесінен әлдеқайда жоғары, шамамен 1200°C), ал қысқа мерзімді температура одан да жоғары температураға (мысалы, 1800°C) төтеп бере алады, бұл үшінші буын жартылай өткізгіштерінің және кристалды өсіру процестерінің аса жоғары температуралық талаптарын қанағаттандырады.
Химиялық коррозияға төзімділік:HCl, Cl₂ және HF сияқты жоғары коррозиялық газдарға, сондай-ақ балқытылған кремний мен металл буларына жоғары төзімді, CVD, диффузия, тотығу және өңдеу сияқты күрделі атмосфераларда құрылымдық тұтастықты және беткі өңдеуді сақтайды, кварц пеші түтіктерінің қызмет ету мерзімінен әлдеқайда асып түседі.
Тамаша жылу өткізгіштік:Оның жылу өткізгіштігі кварцқа қарағанда ондаған есе жоғары, бұл пеш температурасының тезірек және біркелкі таралуын қамтамасыз етеді және процестің біркелкілігі мен қайталануын жақсартады. Бұл әсіресе үлкен аумақты, көп пластиналы өңдеу үшін өте маңызды (мысалы, фотоэлектрлік диффузиялық пештер және MOCVD реакторлары).
Өлшемдік тұрақтылық:Оның өте төмен жылулық кеңею коэффициенті пеш түтігінің температураның бірнеше рет және күрт ауытқуларына ұшыраған кезде де жоғары тұрақты геометриясын сақтауын қамтамасыз етеді, бұл тығыздағыштың істен шығуына немесе жылулық кеңею мен жиырылудан туындаған кернеу концентрациясына жол бермейді.
Беріктігі:Оның жоғары қаттылығы мен беріктігі пеш түтігіне тамаша механикалық қасиеттер береді, бұл оны деформация мен зақымдануға төзімді етеді.

Әдеттегі қолданылуы:

Жартылай өткізгіш өндірісі:SiC/GaN эпитаксиалды өсуі (MOCVD, HTCVD), кремний негізіндегі эпитакси, жоғары температуралы диффузия/тотығу/күйдіру (RTP) және LPCVD.

Фотоэлектрлік өнеркәсібі:Кристалдық кремний күн батареяларын жоғары температурада диффузиялау (фосфор/бор диффузиясы) және күйдіру.