ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ SiC ପ୍ରସାରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଟ୍ୟୁବ୍
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ବିକ୍ଷେପଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ତାପ ଚିକିତ୍ସା ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ପ୍ରମୁଖ ଉପାଦାନ। ଏଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ପ୍ରସାରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ କିମ୍ବା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ପାଇଁ ସମର୍ଥନ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ, ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୟକାରୀ ପରିବେଶରେ ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା, ଅକ୍ସିଡେସନ୍, ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଆନିଲିଂ ଭଳି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମ୍ପାଦନ କରେ।
VET ଏନର୍ଜି ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ଟ୍ୟୁବ୍ର ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନରେ ବିଶେଷଜ୍ଞ। ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦନ ସୁବିଧା ଏବଂ ମାଲିକାନା CVD ଏବଂ ସିଣ୍ଟରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ, ଆମେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା, ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ବିଶିଷ୍ଟ ଟ୍ୟୁବ୍ ପ୍ରଦାନ କରୁ।
VET ଏନର୍ଜିର SiC ଟ୍ୟୁବର ସୁବିଧା:
ଅତି-ଉଚ୍ଚ ପବିତ୍ରତା:ଏକ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ସିଣ୍ଟରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରି ଉତ୍ପାଦିତ ହେଲେ, କ୍ଷତିକାରକ ଧାତୁ ଅଶୁଦ୍ଧତା (ଯେପରିକି Na, K, Fe, ଏବଂ Al) ppb ସ୍ତରକୁ ହ୍ରାସ ପାଏ।
ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ଗ୍ୟାସ ନିର୍ଗତ:ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ, ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ, ଗ୍ୟାସ ନିର୍ଗମନ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ତୁଳନାରେ ବହୁତ କମ୍, ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ରୋକିଥାଏ, ଜମା ହୋଇଥିବା ପତଳା ଫିଲ୍ମ କିମ୍ବା ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧିର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନରେ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଉନ୍ନତି କରିଥାଏ (ବିଶେଷକରି SiC ଏପିଟାକ୍ସି, GaN ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶେଷ ଏକକ-ସ୍ଫଟିକ ସିଲିକନ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ)।
ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ସ୍ଥିରତା:ଦୀର୍ଘକାଳୀନ କାର୍ଯ୍ୟ ତାପମାତ୍ରା ୧୬୦୦°C (କ୍ୱାର୍ଟଜର ନରମତା ବିନ୍ଦୁଠାରୁ ପ୍ରାୟ ୧୨୦୦°C) ଅତିକ୍ରମ କରିବା ସମ୍ଭବ, ଏବଂ କ୍ଷଣସ୍ଥାୟୀ ତାପମାତ୍ରା ଆହୁରି ଅଧିକ ତାପମାତ୍ରା (ଯେପରିକି ୧୮୦୦°C) ସହ୍ୟ କରିପାରେ, ଯାହା ତୃତୀୟ ପିଢ଼ିର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଅତି-ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିଥାଏ।
ରାସାୟନିକ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ:HCl, Cl₂, ଏବଂ HF ପରି ଅତ୍ୟଧିକ କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍, ଏବଂ ତରଳିଥିବା ସିଲିକନ୍ ଏବଂ ଧାତୁ ବାଷ୍ପ ପ୍ରତି ଅତ୍ୟନ୍ତ ପ୍ରତିରୋଧୀ, CVD, ପ୍ରସାରଣ, ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଏବଂ ଏଚିଂ ଭଳି ଜଟିଳ ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ ଗଠନାତ୍ମକ ଅଖଣ୍ଡତା ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ ବଜାୟ ରଖେ, ଯାହାର ଜୀବନକାଳ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଅଧିକ।
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିବାହିତା:ଏହାର ତାପଜ ପରିବାହୀତା କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଅପେକ୍ଷା ଡଜନେ ଗୁଣ ଅଧିକ, ଯାହା ଦ୍ରୁତ ଏବଂ ଅଧିକ ସମାନ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ତାପମାତ୍ରା ବଣ୍ଟନକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଏକରୂପତା ଏବଂ ପୁନରାବୃତ୍ତିକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ। ଏହା ବିଶେଷ ଭାବରେ ବୃହତ-କ୍ଷେତ୍ର, ମଲ୍ଟି-ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ (ଯଥା, ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ ପ୍ରସାରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଏବଂ MOCVD ରିଆକ୍ଟର) ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
ମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା:ଏହାର ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ବାରମ୍ବାର ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନର ସମ୍ମୁଖୀନ ହେଲେ ମଧ୍ୟ ଅତ୍ୟନ୍ତ ସ୍ଥିର ଜ୍ୟାମିତି ବଜାୟ ରଖେ, ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ସଂକୋଚନ ଯୋଗୁଁ ସିଲ୍ ବିଫଳତା କିମ୍ବା ଚାପ ଘନତାକୁ ରୋକିଥାଏ।
ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ:ଏହାର ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ଶକ୍ତି ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍କୁ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଏହାକୁ ବିକୃତି ଏବଂ କ୍ଷତି ପ୍ରତି ପ୍ରତିରୋଧୀ କରିଥାଏ।
ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ:
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ:SiC/GaN ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧି (MOCVD, HTCVD), ସିଲିକନ୍-ଆଧାରିତ ଏପିଟାକ୍ସୀ, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରସାରଣ/ଅକ୍ସିଡେସନ୍/ଆନିଲିଂ (RTP), ଏବଂ LPCVD।
ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍ ଶିଳ୍ପ:ସ୍ଫଟିକୀୟ ସିଲିକନ୍ ସୌର କୋଷର ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରସାରଣ (ଫସଫରସ୍/ବୋରନ୍ ପ୍ରସାରଣ) ଏବଂ ଆନିଲିଂ।
| 重结晶碳化硅物理特性 ପୁନଃକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇଜ୍ଡ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡର ଭୌତିକ ଗୁଣ | |
| 性质 / ସମ୍ପତ୍ତି | 典型数值 / ସାଧାରଣ ମୂଲ୍ୟ |
| 使用温度/ କାମ କରୁଥିବା ତାପମାତ୍ରା (°C) | ୧୬୦୦°C (ଅମ୍ଳଜାନ ସହିତ), ୧୭୦୦°C (ପରିବେଶ ହ୍ରାସ କରିବା) |
| ସି.ଆଇ.ସି.含量/ SiC ବିଷୟବସ୍ତୁ | > ୯୯.୯୬% |
| 自由Si 含量/ ମାଗଣା Si ବିଷୟବସ୍ତୁ | < ୦.୧% |
| 体积密度/ବହୁତ ଘନତ୍ୱ | ୨.୬୦-୨.୭୦ ଗ୍ରାମ/ସେମି3 |
| 气孔率/ ସ୍ପଷ୍ଟ ଛିଦ୍ରତା | < ୧୬% |
| 抗压强度/ ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | > 600ଏମପିଏ |
| 常温抗弯强度/ଥଣ୍ଡା ବଙ୍କାଇବା ଶକ୍ତି | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度ଗରମ ବଙ୍କାଇବା ଶକ୍ତି | ୯୦-୧୦୦ ଏମ୍ପିଏ (୧୪୦୦ ଡିଗ୍ରୀ ସେଲ୍ସିୟସ୍) |
| 热膨胀系数/ ତାପଜ ବିସ୍ତାର @୧୫୦୦°C | ୪.୭୦ ୧୦-6/°ସେ. |
| 导热系数/ତାପଜ ପରିବାହୀତା @୧୨୦୦°C | ୨୩ପଶ୍ଚିମ/ମି•କେଭି |
| 杨氏模量/ ଇଲାଷ୍ଟିକ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | ୨୪୦ ଜିପିଏ |
| 抗热震性/ ତାପଜ ଆଘାତ ପ୍ରତିରୋଧ | ଅତ୍ୟନ୍ତ ଭଲ |
VET Energy ହେଉଛି ଏକ ବୃତ୍ତିଗତ ନିର୍ମାତା ଯାହା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଭଳି ଉଚ୍ଚମାନର ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀର ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ, ଏବଂ SiC ଆବରଣ, TaC ଆବରଣ, ଗ୍ଲାସି କାର୍ବନ ଆବରଣ, ପାଇରୋଲାଇଟିକ୍ କାର୍ବନ ଆବରଣ, ଇତ୍ୟାଦି ସାମଗ୍ରୀ ଚିକିତ୍ସା ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ। ଏହି ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ନୂତନ ଶକ୍ତି, ଧାତୁବିଦ୍ୟା ଇତ୍ୟାଦିରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଆମର ବୈଷୟିକ ଦଳ ଶ୍ରେଷ୍ଠ ଘରୋଇ ଗବେଷଣା ପ୍ରତିଷ୍ଠାନରୁ ଆସିଛନ୍ତି, ଆପଣଙ୍କ ପାଇଁ ଅଧିକ ବୃତ୍ତିଗତ ସାମଗ୍ରୀ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବେ।
VET ଶକ୍ତିର ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
• ନିଜସ୍ୱ କାରଖାନା ଏବଂ ବୃତ୍ତିଗତ ପରୀକ୍ଷାଗାର;
• ଶିଳ୍ପ-ଅଗ୍ରଣୀ ଶୁଦ୍ଧତା ସ୍ତର ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା;
• ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକ ମୂଲ୍ୟ ଏବଂ ଦ୍ରୁତ ବିତରଣ ସମୟ;
• ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ ବହୁବିଧ ଶିଳ୍ପ ସହଭାଗୀତା;
ଯେକୌଣସି ସମୟରେ ଆମର କାରଖାନା ଏବଂ ପରୀକ୍ଷାଗାର ଦେଖିବାକୁ ଆପଣଙ୍କୁ ସ୍ୱାଗତ କରୁଛୁ!
