সিলিকন কার্বাইড SiC ডিফিউশন প্রসেস টিউব
সিলিকন কার্বাইড ডিফিউশন ফার্নেস টিউবসেমিকন্ডাক্টর, উচ্চ-তাপমাত্রার তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ এবং উপাদান প্রস্তুতি প্রক্রিয়ায় এগুলি মূল উপাদান হিসেবে ব্যবহৃত হয়। এগুলি প্রধানত ডিফিউশন ফার্নেস বা অক্সিডেশন ফার্নেসের জন্য সাপোর্ট এবং রিঅ্যাকশন চেম্বার হিসেবে ব্যবহৃত হয় এবং উচ্চ-তাপমাত্রার ও অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিবেশে বায়ুমণ্ডলীয় বিক্রিয়া, জারণ, ডিফিউশন এবং অ্যানিলিং-এর মতো প্রক্রিয়াগুলি সম্পাদন করে।
VET এনার্জি উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সিলিকন কার্বাইড (SiC) টিউবের নকশা ও উৎপাদনে বিশেষায়িত। উন্নত উৎপাদন সুবিধা এবং নিজস্ব CVD ও সিন্টারিং প্রযুক্তির মাধ্যমে আমরা এমন টিউব সরবরাহ করি যেগুলিতে চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা, জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন রয়েছে।
VET এনার্জির SiC টিউবের সুবিধাগুলো হলো:
অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা:একটি বিশেষ সিন্টারিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে উৎপাদিত হওয়ায়, ক্ষতিকর ধাতব অপদ্রব্য (যেমন Na, K, Fe, এবং Al) পিপিবি (ppb) স্তরে হ্রাস পায়।
অত্যন্ত কম গ্যাস নির্গমন:উচ্চ-তাপমাত্রা ও উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশে, গ্যাস নির্গমন কোয়ার্টজের তুলনায় অনেক কম হয়, যা কার্যকরভাবে প্রসেস চেম্বারের দূষণ প্রতিরোধ করে, জমা হওয়া পাতলা ফিল্ম বা ক্রিস্টালের বৃদ্ধির অন্তর্নিহিত গুণমান নিশ্চিত করে এবং পণ্যের উৎপাদন উল্লেখযোগ্যভাবে বৃদ্ধি করে (যা বিশেষত SiC এপিট্যাক্সি, GaN বৃদ্ধি এবং উচ্চমানের একক-ক্রিস্টাল সিলিকন উৎপাদনের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ)।
উচ্চ-তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা:দীর্ঘমেয়াদে ১৬০০°C-এর বেশি তাপমাত্রায় (যা কোয়ার্টজের নরম হওয়ার তাপমাত্রা, প্রায় ১২০০°C-এর চেয়ে অনেক বেশি) এটিকে পরিচালনা করা সম্ভব, এবং স্বল্পমেয়াদে এটি আরও উচ্চ তাপমাত্রাও (যেমন ১৮০০°C) সহ্য করতে পারে, যা তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর এবং ক্রিস্টাল গ্রোথ প্রক্রিয়ার অতি-উচ্চ-তাপমাত্রার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
রাসায়নিক ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা:HCl, Cl₂, এবং HF-এর মতো অত্যন্ত ক্ষয়কারী গ্যাস, সেইসাথে গলিত সিলিকন এবং ধাতব বাষ্পের বিরুদ্ধে এটি অত্যন্ত প্রতিরোধী; এবং CVD, ডিফিউশন, অক্সিডেশন, ও এচিং-এর মতো জটিল পরিবেশে এর কাঠামোগত অখণ্ডতা এবং পৃষ্ঠতলের মসৃণতা বজায় রাখে, এবং এর আয়ুষ্কাল কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবের চেয়ে অনেক বেশি।
চমৎকার তাপ পরিবাহিতা:এর তাপ পরিবাহিতা কোয়ার্টজের তুলনায় কয়েক ডজন গুণ বেশি, যা চুল্লির তাপমাত্রা দ্রুততর ও আরও সুষমভাবে বিতরণ করতে সক্ষম করে এবং প্রক্রিয়ার সমরূপতা ও পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা উন্নত করে। এটি বিশেষত বৃহৎ-ক্ষেত্রফল বিশিষ্ট, বহু-ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের (যেমন, ফটোভোল্টাইক ডিফিউশন ফার্নেস এবং এমওসিভিডি রিঅ্যাক্টর) জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
মাত্রিক স্থিতিশীলতা:এর অত্যন্ত কম তাপীয় প্রসারণ সহগ নিশ্চিত করে যে, বারবার ও তীব্র তাপমাত্রার ওঠানামার মধ্যেও চুল্লির নলটি অত্যন্ত স্থিতিশীল জ্যামিতি বজায় রাখে, যা তাপীয় প্রসারণ ও সংকোচনের কারণে সৃষ্ট সীল বিকল হওয়া বা পীড়ন কেন্দ্রীভবন প্রতিরোধ করে।
স্থায়িত্ব:এর উচ্চ কাঠিন্য ও শক্তি চুল্লির নলটিকে চমৎকার যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য প্রদান করে, যা এটিকে বিকৃতি ও ক্ষতি প্রতিরোধী করে তোলে।
সাধারণ প্রয়োগ:
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন:SiC/GaN এপিটেক্সিয়াল গ্রোথ (MOCVD, HTCVD), সিলিকন-ভিত্তিক এপিটেক্সি, উচ্চ-তাপমাত্রার ডিফিউশন/অক্সিডেশন/অ্যানিলিং (RTP), এবং LPCVD।
ফটোভোল্টাইক শিল্প:ক্রিস্টালাইন সিলিকন সোলার সেলের উচ্চ-তাপমাত্রার ডিফিউশন (ফসফরাস/বোরন ডিফিউশন) এবং অ্যানিলিং।
| 重结晶碳化硅物理特性 পুনঃস্ফটিকায়িত সিলিকন কার্বাইডের ভৌত বৈশিষ্ট্য | |
| 性质 সম্পত্তি | 典型数值 সাধারণ মান |
| 使用温度/ কার্যকরী তাপমাত্রা (°C) | ১৬০০°সে (অক্সিজেন সহ), ১৭০০°সে (বিজারক পরিবেশ) |
| SiC含量SiC বিষয়বস্তু | ৯৯.৯৬% |
| 自由Si含量বিনামূল্যে Si বিষয়বস্তু | < ০.১% |
| 体积密度/স্থূল ঘনত্ব | ২.৬০-২.৭০ গ্রাম/সেমি3 |
| 气孔率আপাত ছিদ্রতা | ১৬% এর কম |
| 抗压强度সংকোচন শক্তি | ৬০০এমপিএ |
| 常温抗弯强度/ঠান্ডা নমন শক্তি | ৮০-৯০ মেগাপ্যাসকেল (২০°সে.) |
| 高温抗弯强度গরম অবস্থায় বাঁকানোর শক্তি | ৯০-১০০ মেগাপ্যাসকেল (১৪০০°সে.) |
| 热膨胀系数তাপীয় প্রসারণ @১৫০০°C | ৪.৭০ ১০-6/°C |
| 导热系数/১২০০°C তাপমাত্রায় তাপ পরিবাহিতা | ২৩W/m•K |
| 杨氏模量স্থিতিস্থাপক মডুলাস | ২৪০ জিপিএ |
| 抗热震性তাপীয় অভিঘাত প্রতিরোধ | অত্যন্ত ভালো |
VET এনার্জি একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক প্রতিষ্ঠান, যা গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, কোয়ার্টজের মতো উচ্চমানের উন্নত উপকরণের গবেষণা ও উন্নয়ন (R&D) এবং উৎপাদনের পাশাপাশি SiC কোটিং, TaC কোটিং, গ্লাসি কার্বন কোটিং, পাইরোলিটিক কার্বন কোটিং ইত্যাদির মতো উপকরণ প্রক্রিয়াকরণে বিশেষজ্ঞ। এই পণ্যগুলি ফটোভোল্টাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা ইত্যাদি ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের কারিগরি দল দেশের শীর্ষস্থানীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে এসেছেন এবং তারা আপনাকে আরও পেশাদার মানের উপকরণগত সমাধান প্রদান করতে পারেন।
VET এনার্জির সুবিধাগুলোর মধ্যে রয়েছে:
• নিজস্ব কারখানা এবং পেশাদার পরীক্ষাগার;
• শিল্পে শীর্ষস্থানীয় বিশুদ্ধতার মাত্রা ও গুণমান;
• প্রতিযোগিতামূলক মূল্য ও দ্রুত ডেলিভারি;
• বিশ্বজুড়ে একাধিক শিল্প অংশীদারিত্ব;
যেকোনো সময় আমাদের কারখানা ও গবেষণাগার পরিদর্শনে আপনাকে স্বাগত জানাই!
