Силициево-карбидна дифузионна технологична тръба SiC

Силициево-карбидна дифузионна технологична тръба SiC

Силициево-карбидни дифузионни пещни тръбиса ключови компоненти, използвани в полупроводниковата, високотемпературната термична обработка и процесите на подготовка на материали. Те се използват предимно като опорна и реакционна камера за дифузионни пещи или окислителни пещи, извършващи процеси като атмосферна реакция, окисление, дифузия и отгряване във високотемпературни, силно корозивни среди.
VET Energy е специализирана в проектирането и производството на силициево-карбидни (SiC) тръби за високотемпературни и корозивни полупроводникови приложения. С модерни производствени съоръжения и патентовани CVD и синтерователни технологии, ние доставяме тръби, които се отличават с отлична термична стабилност, устойчивост на окисляване и дълъг експлоатационен живот.

Предимства на SiC тръбите на VET Energy:

Ултрависока чистота:Произведени чрез специален процес на синтероване, вредните метални примеси (като Na, K, Fe и Al) се редуцират до ниво ppb.
Изключително ниско отделяне на газове:При високотемпературни среди с висок вакуум, отделянето на газове е далеч по-ниско от това на кварца, което ефективно предотвратява замърсяването на технологичната камера, осигурява присъщото качество на отложените тънки филми или растежа на кристали и значително подобрява добива на продукта (особено критично за SiC епитаксия, растеж на GaN и производство на висок клас монокристален силиций).
Стабилност при висока температура:Възможни са дългосрочни работни температури над 1600°C (значително над точката на омекване на кварца, приблизително 1200°C), а краткосрочните температури могат да издържат на дори по-високи температури (като 1800°C), отговаряйки на изискванията за ултрависоки температури на полупроводниците от трето поколение и процесите на растеж на кристали.
Устойчивост на химическа корозия:Високоустойчив на силно корозивни газове като HCl, Cl₂ и HF, както и на разтопен силиций и метални пари, поддържайки структурна цялост и повърхностно покритие в сложни атмосфери като CVD, дифузия, окисление и ецване, с живот, далеч надвишаващ този на кварцовите пещни тръби.
Отлична топлопроводимост:Топлопроводимостта му е десетки пъти по-голяма от тази на кварца, което позволява по-бързо и по-равномерно разпределение на температурата в пещта и подобрява еднородността и повторяемостта на процеса. Това е особено важно за обработката на многопластови пластини с голяма площ (напр. фотоволтаични дифузионни пещи и MOCVD реактори).
Размерна стабилност:Изключително ниският коефициент на термично разширение гарантира, че тръбата на пещта поддържа високостабилна геометрия, дори когато е подложена на повтарящи се и драстични температурни колебания, предотвратявайки повреда на уплътнението или концентрация на напрежение, причинена от термично разширение и свиване.
Издръжливост:Високата твърдост и здравина придават на тръбата на пещта отлични механични свойства, което я прави устойчива на деформация и повреди.

Типично приложение:

Производство на полупроводници:SiC/GaN епитаксиален растеж (MOCVD, HTCNVD), епитаксия на силициева основа, високотемпературна дифузия/окисление/отгряване (RTP) и LPCVD.

Фотоволтаична индустрия:Високотемпературна дифузия (дифузия на фосфор/бор) и отгряване на кристални силициеви слънчеви клетки.