Difuzní trubice z karbidu křemíku SiC

Difuzní trubice z karbidu křemíku SiC

Difuzní pecní trubice z karbidu křemíkujsou klíčovými komponenty používanými v polovodičových procesech, procesech vysokoteplotního tepelného zpracování a přípravy materiálů. Používají se především jako nosná a reakční komora pro difuzní pece nebo oxidační pece, kde provádějí procesy, jako jsou atmosférické reakce, oxidace, difúze a žíhání ve vysokoteplotním a vysoce korozivním prostředí.
Společnost VET Energy se specializuje na návrh a výrobu trubic z karbidu křemíku (SiC) pro vysokoteplotní a korozivní polovodičové aplikace. Díky pokročilým výrobním zařízením a vlastním technologiím CVD a spékání dodáváme trubice, které se vyznačují vynikající tepelnou stabilitou, odolností proti oxidaci a dlouhou životností.

Výhody SiC trubic od VET Energy:

Ultra vysoká čistota:Vyrábí se speciálním slinovacím procesem, při kterém se škodlivé kovové nečistoty (jako je Na, K, Fe a Al) redukují na úroveň ppb.
Extrémně nízké odplyňování:V prostředí s vysokou teplotou a vysokým vakuem je odplyňování mnohem nižší než u křemene, což účinně zabraňuje kontaminaci procesní komory, zajišťuje vnitřní kvalitu nanesených tenkých vrstev nebo růstu krystalů a výrazně zlepšuje výtěžek produktu (což je obzvláště důležité pro epitaxi SiC, růst GaN a výrobu vysoce kvalitních monokrystalických křemíkových materiálů).
Stabilita při vysokých teplotách:Dlouhodobé provozní teploty přesahující 1600 °C (výrazně nad bodem měknutí křemene, přibližně 1200 °C) jsou možné a krátkodobé teploty vydrží i vyšší teploty (například 1800 °C), což splňuje požadavky na ultravysoké teploty polovodičů třetí generace a procesů růstu krystalů.
Chemická odolnost proti korozi:Vysoce odolné vůči vysoce korozivním plynům, jako je HCl, Cl₂ a HF, a také vůči roztavenému křemíku a kovovým párám, zachovávají strukturální integritu a povrchovou úpravu ve složitých atmosférách, jako je CVD, difúze, oxidace a leptání, s životností daleko přesahující životnost křemenných pecí.
Vynikající tepelná vodivost:Jeho tepelná vodivost je desítkykrát vyšší než u křemene, což umožňuje rychlejší a rovnoměrnější rozložení teploty v peci a zlepšuje uniformitu a opakovatelnost procesu. To je obzvláště důležité pro velkoplošné zpracování více destiček (např. fotovoltaické difuzní pece a MOCVD reaktory).
Rozměrová stabilita:Jeho extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti zajišťuje, že si trubka pece zachovává vysoce stabilní geometrii i při opakovaných a drastických teplotních výkyvech, čímž zabraňuje selhání těsnění nebo koncentraci napětí způsobené tepelnou roztažností a smršťováním.
Trvanlivost:Díky vysoké tvrdosti a pevnosti má trubka pece vynikající mechanické vlastnosti, díky čemuž je odolná vůči deformaci a poškození.

Typická aplikace:

Výroba polovodičů:Epitaxní růst SiC/GaN (MOCVD, HTCBD), epitaxe na bázi křemíku, vysokoteplotní difúze/oxidace/žíhání (RTP) a LPCVD.

Fotovoltaický průmysl:Vysokoteplotní difúze (difúze fosforu/boru) a žíhání krystalických křemíkových solárních článků.