Rura procesowa dyfuzyjna z węglika krzemu SiC

Rura procesowa dyfuzyjna z węglika krzemu SiC

Rury pieca dyfuzyjnego z węglika krzemuSą kluczowymi komponentami stosowanymi w procesach półprzewodnikowych, wysokotemperaturowej obróbce cieplnej i przygotowywaniu materiałów. Służą głównie jako podpora i komora reakcyjna w piecach dyfuzyjnych lub piecach utleniających, gdzie przeprowadzane są procesy takie jak reakcja atmosferyczna, utlenianie, dyfuzja i wyżarzanie w środowiskach o wysokiej temperaturze i silnym działaniu korozyjnym.
Firma VET Energy specjalizuje się w projektowaniu i produkcji rur z węglika krzemu (SiC) do zastosowań w półprzewodnikach wysokotemperaturowych i korozyjnych. Dzięki zaawansowanym zakładom produkcyjnym i opatentowanym technologiom CVD i spiekania dostarczamy rury charakteryzujące się doskonałą stabilnością termiczną, odpornością na utlenianie i długą żywotnością.

Zalety rur SiC firmy VET Energy:

Ultrawysoka czystość:Dzięki specjalnemu procesowi spiekania szkodliwe zanieczyszczenia metalami (takimi jak Na, K, Fe i Al) zostają zredukowane do poziomu ppb.
Bardzo niskie wydzielanie gazów:W środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokiej próżni odgazowywanie jest znacznie niższe niż w przypadku kwarcu, co skutecznie zapobiega zanieczyszczeniu komory procesowej, zapewnia wewnętrzną jakość osadzonych cienkich warstw lub wzrostu kryształów i znacząco poprawia wydajność produktu (co jest szczególnie istotne w przypadku epitaksji SiC, wzrostu GaN i produkcji wysokiej jakości monokryształów krzemu).
Stabilność w wysokich temperaturach:Możliwe są długotrwałe temperatury robocze przekraczające 1600°C (znacznie wyższe niż temperatura mięknienia kwarcu, wynosząca około 1200°C), a krótkotrwałe temperatury mogą wytrzymać nawet wyższe temperatury (na przykład 1800°C), spełniając tym samym wymagania dotyczące ultrawysokich temperatur dla półprzewodników trzeciej generacji i procesów wzrostu kryształów.
Odporność na korozję chemiczną:Wysoka odporność na silnie korozyjne gazy, takie jak HCl, Cl₂ i HF, a także na stopiony krzem i opary metalu, zachowanie integralności strukturalnej i wykończenia powierzchni w złożonych atmosferach, takich jak CVD, dyfuzja, utlenianie i trawienie, przy czym żywotność tych rur piecowych znacznie przekracza żywotność rur kwarcowych.
Doskonała przewodność cieplna:Jego przewodność cieplna jest dziesiątki razy większa niż kwarcu, co umożliwia szybszy i bardziej równomierny rozkład temperatury w piecu oraz poprawia jednorodność i powtarzalność procesu. Jest to szczególnie istotne w przypadku przetwarzania wielowarstwowego na dużych powierzchniach (np. w piecach dyfuzyjnych fotowoltaicznych i reaktorach MOCVD).
Stabilność wymiarowa:Niezwykle niski współczynnik rozszerzalności cieplnej gwarantuje, że rura pieca zachowuje bardzo stabilną geometrię nawet w przypadku narażenia na powtarzające się i drastyczne wahania temperatury, zapobiegając uszkodzeniom uszczelnienia lub koncentracji naprężeń wywołanych przez rozszerzalność i kurczliwość cieplną.
Trwałość:Wysoka twardość i wytrzymałość nadają rurze pieca doskonałe właściwości mechaniczne, dzięki czemu jest ona odporna na odkształcenia i uszkodzenia.

Typowe zastosowanie:

Produkcja półprzewodników:Epitaksjalny wzrost SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), epitaksja na bazie krzemu, dyfuzja/utlenianie/wyżarzanie w wysokiej temperaturze (RTP) i LPCVD.

Przemysł fotowoltaiczny:Dyfuzja wysokotemperaturowa (dyfuzja fosforu/boru) i wyżarzanie ogniw słonecznych z krzemu krystalicznego.