සිලිකන් කාබයිඩ් SiC විසරණ ක්රියාවලි නළය
සිලිකන් කාබයිඩ් විසරණ උදුන නලඅර්ධ සන්නායක, අධි-උෂ්ණත්ව තාප පිරියම් කිරීම සහ ද්රව්ය සකස් කිරීමේ ක්රියාවලීන්හි භාවිතා වන ප්රධාන සංරචක වේ. ඒවා ප්රධාන වශයෙන් විසරණ ඌෂ්මක හෝ ඔක්සිකරණ ඌෂ්මක සඳහා ආධාරක සහ ප්රතික්රියා කුටිය ලෙස භාවිතා කරයි, ඉහළ උෂ්ණත්ව, අධික විඛාදන පරිසරයන්හි වායුගෝලීය ප්රතික්රියාව, ඔක්සිකරණය, විසරණය සහ ඇනීලිං වැනි ක්රියාවලීන් සිදු කරයි.
VET Energy ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ විඛාදන අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) නල සැලසුම් කිරීම සහ නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා විශේෂිත වේ. උසස් නිෂ්පාදන පහසුකම් සහ හිමිකාර CVD සහ සින්ටර් කිරීමේ තාක්ෂණයන් සමඟින්, අපි විශිෂ්ට තාප ස්ථායිතාව, ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය සහ දිගු සේවා කාලය ඇතුළත් නල ලබා දෙන්නෙමු.
VET බලශක්තියේ SiC නල වල වාසි:
අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය:විශේෂ සින්ටර් කිරීමේ ක්රියාවලියක් භාවිතයෙන් නිපදවන ලද හානිකර ලෝහ අපද්රව්ය (Na, K, Fe සහ Al වැනි) ppb මට්ටමට අඩු කරනු ලැබේ.
ඉතා අඩු වායු විමෝචනය:ඉහළ උෂ්ණත්ව, ඉහළ රික්තක පරිසරයන් යටතේ, වායු පිටකිරීම ක්වාර්ට්ස් වලට වඩා බෙහෙවින් අඩු වන අතර, ක්රියාවලි කුටීර දූෂණය ඵලදායී ලෙස වළක්වයි, තැන්පත් කරන ලද තුනී පටලවල හෝ ස්ඵටික වර්ධනයේ අභ්යන්තර ගුණාත්මකභාවය සහතික කරයි, සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරයි (විශේෂයෙන් SiC එපිටැක්සි, GaN වර්ධනය සහ ඉහළ මට්ටමේ තනි-ස්ඵටික සිලිකන් නිෂ්පාදනය සඳහා ඉතා වැදගත් වේ).
ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව:1600°C ඉක්මවන දිගුකාලීන මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වයන් (ක්වාර්ට්ස් මෘදු කිරීමේ ස්ථානයට වඩා බොහෝ ඉහළින්, ආසන්න වශයෙන් 1200°C) සිදුවිය හැකි අතර, කෙටි කාලීන උෂ්ණත්වයන්ට ඊටත් වඩා ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට (1800°C වැනි) ඔරොත්තු දිය හැකි අතර, තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක සහ ස්ඵටික වර්ධන ක්රියාවලීන්හි අතිශය ඉහළ උෂ්ණත්ව අවශ්යතා සපුරාලයි.
රසායනික විඛාදන ප්රතිරෝධය:HCl, Cl₂, සහ HF වැනි අධික විඛාදන වායුවලට මෙන්ම උණු කළ සිලිකන් සහ ලෝහ වාෂ්පවලටද ඉහළ ප්රතිරෝධයක් දක්වයි, CVD, විසරණය, ඔක්සිකරණය සහ කැටයම් කිරීම වැනි සංකීර්ණ වායුගෝලවල ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව සහ මතුපිට නිමාව පවත්වා ගනිමින්, ක්වාර්ට්ස් උදුන නලවල ආයු කාලයට වඩා බෙහෙවින් වැඩි ආයු කාලයක් ඇත.
විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය:එහි තාප සන්නායකතාවය ක්වාර්ට්ස් වලට වඩා දුසිම් ගුණයකින් වැඩි වන අතර, වේගවත් හා වඩාත් ඒකාකාර උදුන උෂ්ණත්ව ව්යාප්තිය සක්රීය කරන අතර ක්රියාවලි ඒකාකාරිත්වය සහ පුනරාවර්තන හැකියාව වැඩි දියුණු කරයි. මෙය විශාල ප්රදේශ, බහු-වේෆර් සැකසුම් සඳහා විශේෂයෙන් වැදගත් වේ (උදා: ප්රකාශ වෝල්ටීයතා විසරණ උදුන් සහ MOCVD ප්රතික්රියාකාරක).
මාන ස්ථායිතාව:එහි අතිශය අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය, උදුන නළය නැවත නැවතත් සහ දැඩි උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්ට ලක් වූ විට පවා ඉහළ ස්ථායී ජ්යාමිතිය පවත්වා ගැනීම සහතික කරයි, තාප ප්රසාරණය සහ හැකිලීම නිසා ඇතිවන මුද්රා අසාර්ථක වීම හෝ ආතති සාන්ද්රණය වළක්වයි.
කල්පැවැත්ම:එහි ඉහළ දෘඪතාව සහ ශක්තිය උදුන නළයට විශිෂ්ට යාන්ත්රික ගුණාංග ලබා දෙන අතර එමඟින් එය විරූපණයට හා හානිවලට ප්රතිරෝධී වේ.
සාමාන්ය යෙදුම:
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය:SiC/GaN එපිටැක්සියල් වර්ධනය (MOCVD, HTCVD), සිලිකන් මත පදනම් වූ එපිටැක්සි, අධි-උෂ්ණත්ව විසරණය/ඔක්සිකරණය/ඇනීලිං (RTP), සහ LPCVD.
ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය:ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් සූර්ය කෝෂවල අධි-උෂ්ණත්ව විසරණය (පොස්පරස්/බෝරෝන් විසරණය) සහ ඇනීල් කිරීම.
| 重结晶碳化硅物理特性 නැවත ස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් වල භෞතික ගුණාංග | |
| 性质 / දේපළ | 典型数值 / සාමාන්ය අගය |
| 使用温度/ වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (°C) | 1600°C (ඔක්සිජන් සමඟ), 1700°C (පරිසරය අඩු කිරීම) |
| සික්含量/ SiC අන්තර්ගතය | > 99.96% |
| 自由Si含量/ නොමිලේ Si අන්තර්ගතය | < 0.1% |
| 体积密度/තොග ඝනත්වය | 2.60-2.70 ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| 气孔率/ පෙනෙන සිදුරු බව | < 16% |
| 抗压强度/ සම්පීඩන ශක්තිය | > 600එම්පීඒ |
| 常温抗弯强度/සීතල නැමීමේ ශක්තිය | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度උණුසුම් නැමීමේ ශක්තිය | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ තාප ප්රසාරණය @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/තාප සන්නායකතාවය @1200°C | 23 වන දිනමීටර්/ප/කි |
| 杨氏模量/ ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය | ගිගා පැස්කල් 240 |
| 抗热震性/ තාප කම්පන ප්රතිරෝධය | අතිශයින්ම හොඳයි. |
VET Energy යනු ග්රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, ක්වාර්ට්ස් වැනි උසස් ද්රව්ය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කටයුතු මෙන්ම SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි ද්රව්ය ප්රතිකාර කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන වෘත්තීය නිෂ්පාදකයෙකි. නිෂ්පාදන ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්රව්යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
VET බලශක්ති වාසි අතර:
• තමන්ගේම කර්මාන්ත ශාලාවක් සහ වෘත්තීය රසායනාගාරයක්;
• කර්මාන්තයේ ප්රමුඛ පිරිසිදු මට්ටම් සහ ගුණාත්මකභාවය;
• තරඟකාරී මිල සහ වේගවත් බෙදාහැරීමේ කාලය;
• ලොව පුරා බහු කර්මාන්ත හවුල්කාරිත්වයන්;
ඕනෑම වේලාවක අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව සහ රසායනාගාරය නැරඹීමට අපි ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු!
