Silisiumkarbide SiC Diffúsjeprosesbuis
Silisiumkarbide diffúzjeovenbuizenbinne wichtige komponinten dy't brûkt wurde yn healgeleiders, hege-temperatuer waarmtebehanneling en materiaal tariedingsprosessen. Se wurde benammen brûkt as de stipe- en reaksjekeamer foar diffúzjeovens of oksidaasjeovens, en fiere prosessen út lykas atmosfearyske reaksje, oksidaasje, diffúzje en gloeien yn hege-temperatuer, tige korrosive omjouwings.
VET Energy is spesjalisearre yn it ûntwerp en de produksje fan silisiumkarbide (SiC) buizen foar hege-temperatuer en korrosive healgeleider tapassingen. Mei avansearre produksjefoarsjennings en eigen CVD- en sintertechnologyen leverje wy buizen dy't poerbêste termyske stabiliteit, oksidaasjebestriding en lange libbensdoer hawwe.
Foardielen fan SiC-buizen fan VET Energy:
Ultra-hege suverens:Produsearre mei in spesjaal sinterproses, wurde skealike metaalûnreinheden (lykas Na, K, Fe en Al) werombrocht ta it ppb-nivo.
Ekstreem lege útgassing:Under hege temperatueren en heechfakuümomjouwings is de útgassen folle leger as dy fan kwarts, wêrtroch't fersmoarging fan 'e proseskeamer effektyf foarkomt, de yntrinsyke kwaliteit fan ôfsette tinne films of kristalgroei garandearre wurdt, en de produktopbringst signifikant ferbettere wurdt (benammen kritysk foar SiC-epitaxy, GaN-groei en produksje fan high-end ienkristalsilisium).
Hege-temperatuerstabiliteit:Lange-termyn wurktemperatueren boppe 1600 °C (fier boppe it sêftingspunt fan kwarts, sawat 1200 °C) binne mooglik, en koarte-termyn temperatueren kinne noch hegere temperatueren (lykas 1800 °C) ferneare, en foldogge oan de ultra-hege temperatuereasken fan healgeleiders fan 'e tredde generaasje en kristalgroeiprosessen.
Gemyske korrosjebestriding:Heech resistint tsjin heech korrosive gassen lykas HCl, Cl₂, en HF, lykas smelten silisium en metaaldamp, behâldt strukturele yntegriteit en oerflaktefinish yn komplekse atmosfearen lykas CVD, diffúzje, oksidaasje en etsen, mei in libbensdoer dy't dy fan kwartsovenbuizen folle grutter is.
Uitstekende termyske geliedingsfermogen:De termyske geliedingsfermogen is tsientallen kearen grutter as dy fan kwarts, wêrtroch't in fluggere en unifoarmere ferdieling fan 'e oventemperatuer mooglik is en de prosesuniformiteit en werhelberens ferbetteret. Dit is benammen kritysk foar ferwurking fan grutte oerflakken mei meardere wafers (bygelyks fotovoltaïsche diffúzjeovens en MOCVD-reaktors).
Dimensjonele stabiliteit:De ekstreem lege termyske útwreidingskoëffisjint soarget derfoar dat de ovenbuis in tige stabile geometry behâldt, sels as er ûnderwurpen wurdt oan werhelle en drastyske temperatuerfluktuaasjes, wêrtroch't sealfalen of spanningskonsintraasje feroarsake troch termyske útwreiding en krimp foarkomt.
Duorsumens:Syn hege hurdens en sterkte jouwe de ovenbuis poerbêste meganyske eigenskippen, wêrtroch't it resistint is tsjin deformaasje en skea.
Typyske tapassing:
Produksje fan healgeleiders:SiC/GaN epitaksiale groei (MOCVD, HTCVD), epitaksy op basis fan silisium, diffúzje/oksidaasje/gloeien by hege temperatuer (RTP), en LPCVD.
Fotovoltaïske yndustry:Hege-temperatuerdiffúzje (fosfor/boordiffúzje) en gloeien fan kristallijne silisium sinnesellen.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysyske eigenskippen fan rekristallisearre silisiumkarbid | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typyske wearde |
| 使用温度/ Wurktemperatuer (°C) | 1600 °C (mei soerstof), 1700 °C (redusearjende omjouwing) |
| SiC含量/ SiC-ynhâld | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Fergese Si-ynhâld | < 0,1% |
| 体积密度/Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm³3 |
| 气孔率/ Skynbere porositeit | < 16% |
| 抗压强度/ Kompresjesterkte | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kâlde bûgingssterkte | 80-90 MPa (20 °C) |
| 高温抗弯强度Sterkte fan waarme bûging | 90-100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Termyske útwreiding @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Termyske geliedingsfermogen @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastyske modulus | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termyske skokbestindigens | Ekstreem goed |
VET Energy is in profesjonele fabrikant dy't him rjochtet op R&D en produksje fan high-end avansearre materialen lykas grafyt, silisiumkarbid, kwarts, en ek materiaalbehanneling lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzige koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh. De produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche enerzjy, healgeleiders, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.
Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.
Foardielen fan VET Energy omfetsje:
• Eigen fabryk en profesjoneel laboratoarium;
• Yndustryliedende suverheidsnivo's en kwaliteit;
• Kompetitive priis & Snelle levertiid;
• Meardere yndustrypartnerskippen wrâldwiid;
Wy ferwolkomje jo om ús fabryk en laboratoarium op elk momint te besykjen!
