ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ SiC ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಟ್ಯೂಬ್
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ಗಳುಅರೆವಾಹಕ, ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ಮತ್ತು ವಸ್ತು ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ. ಅವುಗಳನ್ನು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು ಅಥವಾ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆಗಳಿಗೆ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೊಠಡಿಯಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ವಾತಾವರಣದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್ನಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
VET ಎನರ್ಜಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಅರೆವಾಹಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಟ್ಯೂಬ್ಗಳ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿದೆ. ಸುಧಾರಿತ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸೌಲಭ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ವಾಮ್ಯದ CVD ಮತ್ತು ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳೊಂದಿಗೆ, ನಾವು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಟ್ಯೂಬ್ಗಳನ್ನು ತಲುಪಿಸುತ್ತೇವೆ.
VET ಎನರ್ಜಿಯ SiC ಟ್ಯೂಬ್ಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು:
ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ:ವಿಶೇಷ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾದ ಹಾನಿಕಾರಕ ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು (Na, K, Fe, ಮತ್ತು Al ನಂತಹ) ppb ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಇಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆ:ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆಯು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಗಿಂತ ತೀರಾ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕೊಠಡಿಯ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳು ಅಥವಾ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಆಂತರಿಕ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ (ವಿಶೇಷವಾಗಿ SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, GaN ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ).
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ:ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನವು 1600°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿರಬಹುದು (ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ಮೃದುಗೊಳಿಸುವ ಬಿಂದುವಿಗಿಂತ ಸರಿಸುಮಾರು 1200°C) ಮತ್ತು ಅಲ್ಪಾವಧಿಯ ತಾಪಮಾನವು ಇನ್ನೂ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು (ಉದಾಹರಣೆಗೆ 1800°C) ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು, ಇದು ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಅತಿ-ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ:HCl, Cl₂, ಮತ್ತು HF ನಂತಹ ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ಹಾಗೂ ಕರಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಲೋಹದ ಆವಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿದೆ, CVD, ಪ್ರಸರಣ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಎಚಿಂಗ್ನಂತಹ ಸಂಕೀರ್ಣ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ:ಇದರ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಗಿಂತ ಹತ್ತಾರು ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, ಇದು ವೇಗವಾಗಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಏಕರೂಪದ ಕುಲುಮೆಯ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರದೇಶ, ಬಹು-ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ (ಉದಾ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು ಮತ್ತು MOCVD ರಿಯಾಕ್ಟರ್ಗಳು) ವಿಶೇಷವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ:ಇದರ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು, ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಮತ್ತು ತೀವ್ರವಾದ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳಿಗೆ ಒಳಗಾದಾಗಲೂ ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾದ ಜ್ಯಾಮಿತಿಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಕೋಚನದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಸೀಲ್ ವೈಫಲ್ಯ ಅಥವಾ ಒತ್ತಡದ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.
ಬಾಳಿಕೆ:ಇದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಬಲವು ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿರೂಪ ಮತ್ತು ಹಾನಿಗೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್:
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ:SiC/GaN ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ (MOCVD, HTCVD), ಸಿಲಿಕಾನ್-ಆಧಾರಿತ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಸರಣ/ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ/ಅನೆಲಿಂಗ್ (RTP), ಮತ್ತು LPCVD.
ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ:ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಸರಣ (ರಂಜಕ/ಬೋರಾನ್ ಪ್ರಸರಣ) ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸೌರ ಕೋಶಗಳ ಅನೀಲಿಂಗ್.
| 重结晶碳化硅物理特性 ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
| 性质 / ಆಸ್ತಿ | 典型数值 / ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
| 使用温度/ ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600°C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700°C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು) |
| ಸಿ.ಐ.ಸಿ.含量/ SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
| 自由Si含量/ ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
| 体积密度/ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ೨.೬೦-೨.೭೦ ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ.ಮೀ.3 |
| 气孔率/ ಸ್ಪಷ್ಟ ರಂಧ್ರಗಳು | < 16% |
| 抗压强度/ ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600ಎಂಪಿಎ |
| 常温抗弯强度/ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°ಸೆ |
| 导热系数/ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23ಪ/ಮೀ•ಕಿ |
| 杨氏模量/ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 ಜಿಪಿಎ |
| 抗热震性/ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ | ತುಂಬಾ ಚೆನ್ನಾಗಿದೆ |
VET ಎನರ್ಜಿ ಒಂದು ವೃತ್ತಿಪರ ತಯಾರಕರಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ SiC ಲೇಪನ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ ಮುಂತಾದ ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಹ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ, ನಿಮಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.
VET ಶಕ್ತಿಯ ಅನುಕೂಲಗಳು ಸೇರಿವೆ:
• ಸ್ವಂತ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ವೃತ್ತಿಪರ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ;
• ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ;
• ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕ ಬೆಲೆ & ವೇಗದ ವಿತರಣಾ ಸಮಯ;
• ವಿಶ್ವಾದ್ಯಂತ ಬಹು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಗಳು;
ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಯೋಗಾಲಯವನ್ನು ಯಾವುದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೇಟಿ ನೀಡಲು ನಾವು ನಿಮ್ಮನ್ನು ಸ್ವಾಗತಿಸುತ್ತೇವೆ!
