Silicon Carbide SiC Tsamaiso ea Ts'ebetso ea ho Hasana

Silicon Carbide SiC Tsamaiso ea Ts'ebetso ea ho Hasana

Liphaephe tsa Sebōpi sa Silicon Carbide tse Fapanengke dikarolo tsa bohlokwa tse sebediswang ho di-semiconductor, kalafo ya mocheso o phahameng, le mekgwa ya ho lokisa thepa. Haholo-holo di sebediswa e le kamore ya tshehetso le karabelo bakeng sa dionto tsa ho hasana kapa dionto tsa ho hasana, di etsa ditshebetso tse kang karabelo ya sepakapaka, ho hasana, ho hasana, le ho annealing dibakeng tse nang le mocheso o phahameng, tse senyang haholo.
VET Energy e ikhethile ka ho rala le ho etsa lipeipi tsa silicon carbide (SiC) bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor tse nang le mocheso o phahameng le tse senyang. Ka lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa tlhahiso le mahlale a ikhethileng a CVD le sintering, re fana ka lipeipi tse nang le botsitso bo botle ba mocheso, khanyetso ea oxidation le bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso.

Melemo ea lipeipi tsa SiC tsa VET Energy:

Bohloeki bo Phahameng ka ho Fetisisa:Ha e hlahisitsoe ka mokhoa o khethehileng oa ho sila, litšila tse kotsi tsa tšepe (tse kang Na, K, Fe, le Al) li fokotseha ho ea boemong ba ppb.
Ho Feta Khase ka ho Fetisisa:Tlas'a maemo a mocheso o phahameng, a nang le vacuum e ngata, ho ntšoa ha khase ho tlase haholo ho feta ha quartz, e leng se thibelang ka katleho tšilafalo ea kamore ea ts'ebetso, ho netefatsa boleng ba mantlha ba lifilimi tse tšesaane tse bolokiloeng kapa kholo ea kristale, le ho ntlafatsa chai ea sehlahisoa haholo (haholo-holo ea bohlokoa bakeng sa SiC epitaxy, kholo ea GaN, le tlhahiso ea silicon ea kristale e le 'ngoe ea qetello e phahameng).
Ho Tsitsisa ha Mocheso o Phahameng:Ho ka etsahala hore mocheso oa ts'ebetso oa nako e telele o fetang 1600°C (kaholimo ho ntlha ea ho nolofatsa ea quartz, hoo e ka bang 1200°C), 'me mocheso oa nako e khuts'oane o ka mamella mocheso o phahameng le ho feta (joalo ka 1800°C), o fihlelle litlhoko tsa mocheso o phahameng haholo oa li-semiconductor tsa moloko oa boraro le lits'ebetso tsa kholo ea kristale.
Khanyetso ea Ts'enyeho ea Lik'hemik'hale:E hanela haholo likhase tse senyang haholo tse kang HCl, Cl₂, le HF, hammoho le mouoane o qhibilihisitsoeng oa silicon le tšepe, e boloka botsitso ba sebopeho le qetello ea bokaholimo libakeng tse rarahaneng tse kang CVD, ho hasana, oxidation le ho shapuoa, ka nako ea bophelo e fetang hōle ea li-tubes tsa quartz.
Ho tsamaisa mocheso ka mokhoa o motle haholo:Ho tsamaisa ha yona mocheso ho feta ha quartz ka makgetlo a mangata, ho nolofalletsa kabo ya mocheso wa sebopi ka potlako le ka ho tshwana le ho ntlafatsa ho tshwana ha tshebetso le ho pheta-pheta. Sena se bohlokwa haholo bakeng sa ts'ebetso ya sebaka se seholo, ya di-wafer tse ngata (mohlala, dionto tsa diphatlalatso tsa photovoltaic le di-reactor tsa MOCVD).
Botsitso ba Tekanyo:Koefficient ea eona e tlase haholo ea katoloso ea mocheso e netefatsa hore tube ea sebōpi e boloka geometry e tsitsitseng haholo esita le ha e le tlas'a liphetoho tse pheta-phetoang le tse matla tsa mocheso, e thibela ho hloleha ha tiiso kapa khatello ea maikutlo e bakoang ke katoloso le ho honyela ha mocheso.
Ho tšoarella:Ho thatafala ha eona le matla a eona a phahameng li fa tube ea sebōpi thepa e ntle ea mechini, e leng se etsang hore e hanele ho fetoha le ho senyeha.

Tšebeliso e Tloaelehileng:

Tlhahiso ea Semiconductor:Kholo ea epitaxial ea SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), epitaxy e thehiloeng ho silicon, ho hasana/ho oxidation/ho annealing ka mocheso o phahameng (RTP), le LPCVD.

Indasteri ea Photovoltaic:Ho hasana ha mocheso o phahameng (ho hasana ha phosphorus/boron) le ho annealing ha lisele tsa letsatsi tsa silicon tse kristale.