سلیکن کاربائیڈ SiC ڈفیوژن پروسیس ٹیوب

سلیکن کاربائیڈ SiC ڈفیوژن پروسیس ٹیوب

سلیکن کاربائیڈ ڈفیوژن فرنس ٹیوبزسیمی کنڈکٹر، اعلی درجہ حرارت گرمی کے علاج، اور مواد کی تیاری کے عمل میں استعمال ہونے والے کلیدی اجزاء ہیں۔ وہ بنیادی طور پر پھیلاؤ والی بھٹیوں یا آکسیکرن بھٹیوں کے لیے سپورٹ اور ری ایکشن چیمبر کے طور پر استعمال ہوتے ہیں، جو کہ ماحولیاتی رد عمل، آکسیکرن، بازی، اور اعلی درجہ حرارت، انتہائی سنکنرن ماحول میں اینیلنگ جیسے عمل کو انجام دیتے ہیں۔
VET Energy اعلی درجہ حرارت اور corrosive سیمک کنڈکٹر ایپلی کیشنز کے لیے سلکان کاربائیڈ (SiC) ٹیوبوں کے ڈیزائن اور مینوفیکچرنگ میں مہارت رکھتی ہے۔ جدید پیداواری سہولیات اور ملکیتی CVD اور sintering ٹیکنالوجیز کے ساتھ، ہم ایسی ٹیوبیں فراہم کرتے ہیں جو بہترین تھرمل استحکام، آکسیڈیشن مزاحمت اور طویل مدتی سروس کی خصوصیات رکھتی ہیں۔

VET انرجی کی SiC ٹیوبوں کے فوائد:

انتہائی اعلی طہارت:ایک خاص sintering کے عمل کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا جاتا ہے، نقصان دہ دھاتی نجاست (جیسے Na، K، Fe، اور Al) کو ppb سطح تک کم کر دیا جاتا ہے۔
انتہائی کم اخراج:اعلی درجہ حرارت، ہائی ویکیوم ماحول میں، آؤٹ گیسنگ کوارٹج کے مقابلے میں بہت کم ہے، مؤثر طریقے سے عمل کے چیمبر کی آلودگی کو روکتا ہے، جمع شدہ پتلی فلموں یا کرسٹل کی ترقی کے اندرونی معیار کو یقینی بناتا ہے، اور مصنوعات کی پیداوار میں نمایاں طور پر بہتری لاتا ہے (خاص طور پر SiC ایپیٹیکسی، GaNic-ہائی پروڈکشن، اور سنگل پروڈکشن کے لیے اہم)۔
اعلی درجہ حرارت استحکام:طویل مدتی آپریٹنگ درجہ حرارت 1600 ° C سے زیادہ (کوارٹج کے نرمی کے نقطہ سے اچھی طرح سے اوپر، تقریباً 1200 ° C) ممکن ہے، اور قلیل مدتی درجہ حرارت اس سے بھی زیادہ درجہ حرارت (جیسے 1800 ° C) کو برداشت کر سکتا ہے، تیسری نسل کی ترقی اور سیمی کنکشن کے عمل کی انتہائی اعلی درجہ حرارت کی ضروریات کو پورا کرتا ہے۔
کیمیائی سنکنرن مزاحمت:انتہائی سنکنرن گیسوں جیسے HCl، Cl₂، اور HF، نیز پگھلے ہوئے سلیکون اور دھاتی بخارات کے لیے انتہائی مزاحم، پیچیدہ ماحول جیسے CVD، بازی، آکسیڈیشن، اور ایچنگ میں ساختی سالمیت اور سطح کی تکمیل کو برقرار رکھتا ہے، جس کی عمر کوارٹز ٹیوب سے کہیں زیادہ ہے۔
بہترین تھرمل چالکتا:اس کی تھرمل چالکتا کوارٹز کے مقابلے میں درجنوں گنا زیادہ ہے، جو بھٹی کے درجہ حرارت کی تیز اور یکساں تقسیم کو قابل بناتی ہے اور عمل کی یکسانیت اور دہرانے کی صلاحیت کو بہتر بناتی ہے۔ یہ خاص طور پر بڑے ایریا، ملٹی ویفر پروسیسنگ (مثلاً فوٹو وولٹک ڈفیوژن فرنس اور MOCVD ری ایکٹر) کے لیے اہم ہے۔
جہتی استحکام:اس کا تھرمل توسیع کا انتہائی کم گتانک اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ فرنس ٹیوب انتہائی مستحکم جیومیٹری کو برقرار رکھتی ہے یہاں تک کہ جب بار بار اور سخت درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کا نشانہ بنتا ہے، مہر کی ناکامی یا تھرمل توسیع اور سنکچن کی وجہ سے تناؤ کے ارتکاز کو روکتا ہے۔
استحکام:اس کی اعلی سختی اور طاقت فرنس ٹیوب کو بہترین مکینیکل خصوصیات دیتی ہے، جس سے یہ اخترتی اور نقصان کے خلاف مزاحم ہوتی ہے۔

عام درخواست:

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ:SiC/GaN ایپیٹیکسیل گروتھ (MOCVD، HTCVD)، سلکان پر مبنی ایپیٹیکسی، ہائی ٹمپریچر ڈفیوژن/آکسیڈیشن/اینیلنگ (RTP)، اور LPCVD۔

فوٹو وولٹک صنعت:اعلی درجہ حرارت کا پھیلاؤ (فاسفورس/بوران بازی) اور کرسٹل لائن سلکان شمسی خلیوں کی اینیلنگ۔